【課題】披検出物までの距離が10μm以下の短い距離になってしまうと、背圧が上昇完了するまでに多くの時間が必要になり距離の判別に時間がかかる。
【解決手段】検出圧力を設定するレギュレータ１を内部または外部に設け、供給空気を遮断するための２ポート電磁弁２を設け、この二次側に圧力変換器（圧力センサ・圧力スイッチ・圧力トランデューサなど）３を設け、２ポート電磁弁２と圧力変換器３を制御する制御回路を設ける。検出物の検出面に用意した検出オリフィスまでの間の配管を行い、検出オリフィス５より被検出物に対し空気を流出させる。尚、２ポート電磁弁２はノーマルオープン又はノーマルクローズのどちらを使用しても良いが、この場合制御回路上で検出を行なう時に空気を遮断するよう制御すれば良い。尚、配管の内部に空気温度センサ、外部に温度センサを設けて圧力変換器３の温度による誤差に対し補正をかけても良い。 （もっと読む）

【課題】 イニシャルコストやランニングコストを削減できると共に、現場での作業を減らす。
【解決手段】 炉本体３の天井壁に昇降自在に設けた主電極４先端から炉本体３内に不活性ガスＧを供給しつつ、炉本体３内の被溶融物を溶融して炉本体３内に溶融メタル層Ｍ及び溶融スラグ層Ｓを形成する灰溶融炉２に於いて、主電極４を降下させながら炉本体３内に供給している不活性ガスＧの背圧を測定し、背圧の増加率の変化から主電極４の先端が溶融スラグ面及び溶融メタル面にあるときの主電極４の位置を検出すると共に、溶融スラグ面及び溶融メタル面の検出時に於ける主電極４の位置から溶融スラグ層Ｓの厚みＬ１を算出し、又、炉本体３に設けた非接触式の距離計１４により当該距離計１４から溶融スラグ面までの距離Ｌ３を測定し、前記溶融スラグ層Ｓの厚みＬ１と測定距離Ｌ３とから溶融メタル層Ｍの厚みＬ２つまり溶融メタルレベルＭＬを算出する。 （もっと読む）

【課題】
従来この種の装置としては不動部として気中に張力をかけた基準線を懸架することで構成しているが、基準線は自重による弛みと風圧による揺動の他、温度変化による伸縮変化が起こり本来不動点であるべき基準線の位置変化が発生して計測精度が著しく低下するという問題がある。
【解決手段】
変位計測部位を中間に位置する不動点間に設置された液路と、この液路内に貯留された液体と、この液体に浸かって且つ前期液路に沿って非接触収納され両端部をそれぞれ前記不動点に支持された浮梁構造体と、前記変位計測部位に設けられ前記浮梁構造体の中間部に対応位置し前記変位計測部位と浮梁構造体との間の変位を計測する非接触変位センサとから構成する。 （もっと読む）

【課題】寸法安定性も呈するガスゲージ近接覚センサによって、精確なナノメートル規模の測定を提供することである。
【解決手段】対象物への距離を感知するガスゲージは、ガス供給システムと、ガス供給システムからノズルと対象物の間の空間にガスを供給するノズルとを含む。例えば、ガス供給システムは、層流と乱流の間の遷移領域の流れに対応する流量でガスを供給する。表面の摩擦係数を増加させるように、ノズルの表面を粗くすることができ、これはガスの圧力低下を増加させ、ノズルの利得も増加させる。増加した流量によって発生したノイズは、１つ又は複数の戦略的に配置されたヘルムホルツ減衰器及び／又は緩衝器を使用して減衰することができる。 （もっと読む）

【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】 実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供する。
【解決手段】 検出圧通路１３に設ける検出オリフィス１６と、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段１７と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブル１０と被検出体Ｗとの間の隙間量ｈを演算する演算処理部１８とを備え、この演算処理部は、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する。 （もっと読む）

【課題】従来にない画期的な流量式空気マイクロメータを提供する。
【解決手段】空気供給源１と連結する供給側継手２と、測定ヘッド３ａを有する測定部３と連結する排出側継手４とを供えた本体部Ａに、フロート14を内設したテーパ管５を、上流側を下側に下流側を上側にして立設し、このテーパ管５の上流側を供給側空気路６を介して供給側継手２と連通し下流側を排出側空気路７を介して排出側継手４と連通した流量式空気マイクロメータにおいて、前記テーパ管５より径大にして天部が閉塞した外管８をこのテーパ管５に被嵌状態にして本体部Ａに立設してこの外管８とテーパ管５間に空隙部ｓを形成し、この空隙部ｓの上流側にして上部を前記テーパ管５の下流側である上部と連通し、この空隙部ｓの下流側にして下部を本体部Ａに設けた排出側継手連通路９を介して排出側継手４と連通して、この空隙部ｓ及び排出側継手連通路９を前記排出側空気路７として構成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの浮上量を空気圧制御のみに依存すること無く安定化させることにより測定精度を向上するとともに応答性を高めることができる非接触寸法測定器を提供する。
【解決手段】 上部加圧室１３及び下部加圧室１４に安定化された一定圧を供給し、下部加圧室１４に供給された空気をノズル４１の吹出口４５から測定対象４６の対象箇所へ向けて噴出する。ピストン１２から延出した検出用ロッド３１の変位量をデジタルスケール３２で検出し、カウンタ３３を介してデジタル演算部３４に入力する。ノズル４１に設けられた静電容量センサ５１から測定対象４６までの離間距離を非接触で測定して、静電容量センサ５１からの静電容量測定値５３を静電容量アンプ５２及びＡ／Ｄ変換部６１を介してデジタル演算部３４に入力し、デジタル演算部３４においてピストン１２の変位量を浮上量５４で補正した測定値を出力する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの浮上量を空気圧制御のみに依存すること無く安定化させることにより測定精度を向上することができる非接触寸法測定器を提供する。
【解決手段】 上部加圧室１３に安定化された一定圧を供給し、下部加圧室１４に電空レギュレータ２２で制御された制御圧を供給する。下部加圧室１４に供給された空気を、ノズル４１下端の吹出口４５から測定対象４６の対象箇所へ向けて噴出する。ノズル４１に静電容量センサ５１を設け、静電容量センサ５１から測定対象４６までの離間距離を非接触で測定する。静電容量センサ５１からの静電容量測定値５３を静電容量アンプ５２及び圧力コントローラ６１を介して電空レギュレータ２２に戻し、静電容量測定値５３に応じて下部加圧室１４への供給圧を制御するフィードバック回路７１を構成する。 （もっと読む）

比較的長くかつ薄いオリフィスを備えた細長いノズルを有する測定プローブの間の極めて小さな距離を正確に検出するためのシステム及び方法。近接センサは、一定ガス流を使用し、極めて小さな距離を検出するためにニューマチックブリッジ内の質量流量を検出する。システム及び方法は、多孔質材料から形成された流れ制限器及び／又はスナッバ、及び／又は質量流量制御装置を使用し、これらは、様々な組み合わせにおいてナノメートルからサブナノメートルの範囲での極めて小さな距離の検出を可能にする。
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【課題】本発明の課題は、加工品の表面上のレジストの種類または露光波長に関係なくどのような環境でも使用でき、かつ外部ノイズに対して実質的に影響を受けない流体ゲージ近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、変調された単方向の流体の流れまたは交番的な流体の流れのソース、およびノズルと流量センサまたは圧力センサとを有する少なくとも１つの経路が設けられており、該流体はノズルとターゲットとの間のギャップに存在し、該流量センサまたは圧力センサは、該ギャップの大きさにしたがって変化する振幅変調された信号を出力することを特徴とする流体フロー近接ゲージによって解決される。 （もっと読む）

【課題】就寝者の体位を有効に変換させて、就寝者のいびきを効果的に防止する。
【解決手段】就寝者の頭部を受ける左体位変換用空気袋９Ｌおよび右体位変換用空気袋９Ｒの前方下部に、それぞれ、左位置検知用空気袋１０Ｌおよび右位置検知用空気袋１０Ｒを対応付けて配置する。左位置検知用空気袋１０Ｌ内および右位置検知用空気袋１０Ｒ内の空気を、それぞれ配管１２Ｌ，１２Ｒを介して適宜圧力センサに導いて、その位置検知用空気袋１０Ｌ，１０Ｒ内の空気の圧力を検知する。
【効果】位置検知用空気袋１０Ｌ，１０Ｒ内の空気の圧力に基づいて就寝者の位置を検知し、その検知結果に基づいて、１対の体位変換用空気袋９Ｌ，９Ｒに対する給気または排気を行うことができる。 （もっと読む）