【課題】エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ１３と測定具１４の間に電磁弁４１を設ける。空気源１１に第二レギュレータ５３を介して接続されたエアセンサ５５は、通流するエアの変化を検出して電磁弁４１へ伝達する。例えばエアセンサ５５の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁４１へ出力すると、電磁弁４１は閉弁して測定具１４へのエアの供給を遮断する。測定具１４の支持板上面にジェットノズル１０１を設け、エアセンサ５５からのエアをジェットノズル１０１の吹出口１０２からワークの下端面へ吹き付ける。測定具１４からワークが取り外されて吹出口１０２が開放されると、エアセンサ５５のエア流量が増大するので、電磁弁４１が測定ヘッドの噴出口８４へのエアの供給を遮断する。 （もっと読む）

【課題】計測ヘッド（計測ヘッド先端部）の軸芯とマスタ穴の軸芯を確実に一致させることができる構成のエアマイクロメータ用較正装置を提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ用較正装置９１を、小径のマスタ穴９５と、大径のマスタ穴９６と、計測ヘッド先端部４３が小径のマスタ穴９５に挿入されたときには計測ヘッド先端部４３の軸芯と小径のマスタ穴の軸芯とを一致させ、計測ヘッド先端部４３が大径のマスタ穴９６に挿入されたときには計測ヘッド先端部４３の軸芯と大径のマスタ穴９６の軸芯とを一致させる位置決め手段とを有してなる構成とし、且つ、前記位置決め手段は、圧油供給路９８と、クランピングスリーブ９３と、このクランピングスリーブ９３の周囲を囲む油圧室９７とを有してなり、クランピングスリーブ９３が、圧油供給路９８から油圧室９７へ供給される圧油の圧力によって計測ヘッド本体部４２（ケース４６）をクランプする構成とする。 （もっと読む）

【課題】主軸とブッシュ穴の偏芯量を計測することができるエアマイクロメータの計測ヘッドを提供する。
【解決手段】計測ヘッド４１を、例えば、計測ヘッド本体部４２と計測ヘッド先端部４３とを有し、計測ヘッド先端部には第１計測用エアノズル５１Ａと第２計測用エアノズル５１Ｂが、計測ヘッド先端部の径方向に沿って形成され且つ互いに計測ヘッド先端部の周方向に１８０度の角度を有するように形成される一方、計測ヘッド本体部には各計測用エアノズルに対応した個別の計測用エア供給路（第１計測用エア供給路５３Ａ，５５Ａ，６３Ａ及びホース６４Ａからなる供給路と、第１計測用エア供給路５３Ｂ，５５Ｂ，６３Ｂ及びホース６４Ｂからなる供給路）が形成されており、各計測用エアノズルに対してそれぞれ個別の計測用エア供給路から計測用エアが供給される構成とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供する。
【解決手段】底側に開口部を有する筒状の空間と空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、空間に連通する通気孔を有し、通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、テーパー部を空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、第１の部材と第２の部材との間隙および第２の部材とテーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 輸送時や取り付け時等に外力が作用しても、検出精度に影響を及ぼすことがなく、しかも低コスト化を実現する位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_３と三方切換弁Ａ_１〜Ａ_３とを連結する連結ブロックＸを設けるとともに、この連結ブロックＸには、エア供給源Ｐに接続する接続ポート１５と、この接続ポート１５に連通する２以上の連結ポート１６ａ，１６ｂとを設け、上記連結ポート１６ａには供給通路１を接続した状態で連結ブロックＸと圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_３とを一体的に連結するとともに、他の連結ポート１６ｂにはブロー通路３を接続した状態で当該連結ブロックＸと三方切換弁Ａ_１〜Ａ_３とを一体的に連結する。 （もっと読む）

【課題】 ブローを停止してからワークの着座状況を検出するまでに要する時間を短くし、しかも誤信号を出力しない位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧縮検出エアを導く検出流路２２と、圧縮ブローエアを導くブロー流路２３と、テーブルに形成した噴出口に接続する共通流路２８と、検出流路２２およびブロー流路２３のいずれか一方を共通流路２８に連通させ、いずれか他方を共通流路２８から遮断する切換弁２９と、検出流路２２の圧力を検出する圧力検出部Ｓと、検出流路２２、ブロー流路２３および共通流路２８のいずれか１または複数を大気に連通するとともに、当該流路内に滞留する圧縮ブローエアを大気に排出する排気手段３０とを備えた位置確認装置において、上記切換弁２９を、制御機器からの信号に応じて切り換え動作する電磁切換弁で構成する。 （もっと読む）

【課題】マイクロインジェクションシステムで使用するキャピラリの先端内径を精度良く計測すること。
【解決手段】第二の圧力室３にキャピラリ１を接続し、レギュレータユニット１０によって所定の圧力に調整された圧縮空気または圧縮窒素を第一の圧力室７および第二の圧力室３に充填した後に電磁弁５を閉鎖した状態で、差圧センサ４が二つの圧力室の間の差圧を測定し、内径算出装置１２が差圧の変化率からキャピラリ１の先端内径を算出する。 （もっと読む）

【課題】電気的なセンサとは異なる構造によってアクチュエータの動作を検出できる動作検出センサを提供する。
【解決手段】変形動作するバルーンアクチュエータ１２に検出用流路２が設けられている。検出用流路２は、動作するバルーンアクチュエータ１２の動作に応じて変形することで、通過させる流体の流路抵抗が変化する。そして、流路抵抗の変化による前記検出用流路２を通る流体の流量の変化を測定手段３が測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、近接センサヘッドのドリフトが該近接センサの精度に及ぼす影響を低減するための自己補償メカニズムを含む格納式の近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、基準面スタンドオフと測定面スタンドオフとの間の差を検出する格納式の近接センサを、近接センサハウジングが支持する構成によって解決される。 （もっと読む）

比較的長くかつ薄いオリフィスを備えた細長いノズルを有する測定プローブの間の極めて小さな距離を正確に検出するためのシステム及び方法。近接センサは、一定ガス流を使用し、極めて小さな距離を検出するためにニューマチックブリッジ内の質量流量を検出する。システム及び方法は、多孔質材料から形成された流れ制限器及び／又はスナッバ、及び／又は質量流量制御装置を使用し、これらは、様々な組み合わせにおいてナノメートルからサブナノメートルの範囲での極めて小さな距離の検出を可能にする。
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