【課題】計測器を用いて車両に対するエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定できるエンジンマウント変位測定方法を提供する。
【解決手段】車両１を定盤１１の上に配置して、車両１の車軸方向に基づいて車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）を決定し、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）における計測器２１、５１の原点位置と、計測器基準の座標系Ｑ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置とを用いて所定の座標変換行列式により、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置を算出する。これにより、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える被測定面の測定方法を提供する。
【解決手段】被測定面を回転させる場合における回転軸線の振れに相当するティルトモーション誤差は、被測定面を高精度に測定する上で除去すべきでものである。従来技術によれば、かかるティルトモーション誤差を簡易に除去する方法がなかった、これに対し本発明によれば、前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第１の２次元角度センサにより前記第１の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第２の２次元角度センサにより前記第２の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第１の２次元角度センサの測定値に基づいて、前記第２の２次元角度センサの測定値からティルトモーション誤差を排除することができる。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 部品の仮想の支持面として機能する３点を精度良く抽出して、検査精度を高める。
【解決手段】検査対象の部品の各端子につき、それぞれ代表点の３次元座標を求めた後、各代表点を３個ずつ順に組み合わせながら、組み合わせにかかる３点が第１、第２の各条件を満たしているかどうかを判別する。第１の条件は、３点による三角形平面に部品中心部を投影できるという条件であり、第２の条件は、三角形平面が３点以外のすべての代表点よりも下方に位置するという条件である。双方の条件を満たす３点の組み合わせが見つかると、これら３点を含む仮想平面と各代表点との距離Ｄを求め、その距離Ｄを用いて各端子の浮き上がりの有無を判別する。 （もっと読む）

走査方法が開示され、それは、試料ホルダ（１４）および相対移動可能な走査デバイス（１８）を有する走査システム（１０）を備え、試料ホルダ（１４）に配置された対象（２２）の少なくとも一部の走査を行い、試料ホルダの向きを確定し、その向きを使用して走査からのデータを解釈する工程を含み、それによって、その向きは、試料ホルダの表面の走査からのデータを使用して確定される。その向きは、試料ホルダの面（５６ｂ）を画定することによって確定でき、この面は、境界（７６ａ、７６ｂ）によって制限されてもよい。

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【課題】 プローブカードとテストヘッドとの距離の経時変化を検出する。
【解決手段】 ウエハプローバ１のプローブカード３と半導体集積回路試験装置のテストヘッド２との距離を検出する距離センサ６と、該距離センサ６の距離検出値を時系列的な距離データとして順次記憶するメモリ７ａと、該メモリ７ａに記憶された距離データを時系列順に一覧表示するディスプレイ７ｃとを具備する。 （もっと読む）