【課題】 簡単な構成で、効率的に平面度を求めることができる平面度測定方法と装置を提供する。
【解決手段】 互いに直交する方向の傾斜を検知する傾斜計１２と、傾斜計１２が取り付けられた本体１４と、本体１４の下面１４ａから突出した３点の測定子１５，１６，１７と、傾斜計１２により検知した傾斜を記憶しその傾斜の測定子間の距離から測定対象部位の変位を求めるコンピュータ等の演算手段とを備える。傾斜計１２は、傾斜により動く電極間の静電容量の変化を２方向同時に検知する。３点の測定子１５，１６，１７を測定対象面２０に載置し、測定子１５，１６，１７のうちの１点に対する他の２点の平面上での位置と傾斜を検知し、次に本体１４を移動させて、先に検知した２点のうちの少なくとも１点に測定子１６を合わせて、測定対象面２０の他の点の変位を検知する。 （もっと読む）

【課題】 原器を被測定物の形状の種類分用意することなく、また、形状が異なる度に補正のための測定を行うことなく、衝となる測定機と機上形状測定機の機差を補償する。
【解決手段】 任意の設計式にて面形状を定義できる被測定物である被測定原器１７を、衝となる外部形状測定機１２にて測定して形状を明らかにする工程と、超精密加工用旋盤１に設置された形状測定機３にて被測定原器１７を測定して形状を明らかにする工程と、外部形状測定機１２により明らかにされた形状と形状測定機３により明らかにされた形状との誤差を求める工程と、誤差に基づいて加工機上に設置された形状測定機３の測定結果に補正を与える工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡の試料台の上に試料の被観察部である中心部がプローブの深針に近接するように設置し、試料の両端部を対向する一対の把持具で把持し、対向位置にある一対の把持具が反対方向に移動可能であり、試料の被観察部である中心部が静止状態を保つように試料に歪みを与えることができる走査型プローブ顕微鏡用試料延伸ホルダーおよび該試料延伸ホルダーを用いた試料の表面状態の観察方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡に設置された試料１０を延伸させる試料延伸ホルダー１であって、試料１０の両端部を把持する一対の把持具９と、一対の把持具９を移動可能に支持する支持部材４と、対向位置にある一対の把持具９を互いに離間する方向に移動させる移動機構７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 研削される工具を測定のつど着脱することなく、工具の所要寸法を測定できるスコープ装置、工具の研削装置、工具の製造方法及び工具の検査方法を提供する。
【解決手段】 工作機械４のテーブル６に着脱自在とされており、テーブル６に着脱可能とされたベース２１と、工具１の被測定部に対向して位置するようにベース２１に取り付けられたスコープ本体２５とを備えてなり、被測定部の中心を通り、スコープ本体２５側へ延びるように測定基準線Ｙを設定したときに、スコープ本体２５が、測定基準線Ｙの方向に移動自在であって、このＹを含む平面上において、Ｙに直交する方向Ｘに移動自在であって、且つ、このＹを通り、前記平面に直交する方向Ｚに移動自在に支持されると共に、スコープ本体２５の方向Ｘへの移動量を計測する計測手段２３を備えた。 （もっと読む）