【課題】ウエハの平坦度検査を高精度かつスループットの高い方法で実現する。
【解決手段】回転運動および直線運動機構の運動誤差を補正することの可能な３点法を、ウエハ１０１と検出器９の相対的な回転運動によるウエハ外周の形状測定と、ウエハ１０１と検出器９の相対的な直線運動によるウエハ直径方向の形状測定に適用し、両者の組み合わせによりウエハ全体の形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、振動の影響を大幅に低減することのできる機械装置を提供することにある。
【解決手段】アクティブ制振機構１８として、被制振部１４に設けられ、該被制振部１４の振動方向に振動を発生するアクチェイタ２６と、該被制振部１４に設けられ、該被制振部１４の振動成分を含む加速度信号を出力する加速度センサ２８と、予め得ておいた該被制振部１４の固有振動情報に基づき、該加速度センサ２８よりの加速度信号に含まれる成分のうち、該被制振部１４の振動成分を検出し、該検出された振動成分の逆位相の信号を発生する信号処理手段３８と、該信号処理手段３８よりの逆位相信号に基づき、該被制振部１４の振動に対して逆位相の振動を該アクチェイタ２６に発生させる制御手段４０と、を備えたことを特徴とする機械装置１０。 （もっと読む）

【課題】適切に車両の傾きの状態を検出することができる自動二輪車を提供する。
【解決手段】自動二輪車には、車体の進行方向左右の路面Ｒまでの距離を測定するセンサであって、モーターサイクルの下方向に向けて取付けられる下方距離センサ（左）ＬＬ、および下方距離センサ（右）ＬＲと、進行方向左右の路面Ｒまでの距離を測定するセンサであって、下方距離センサＬＬ，ＬＲよりも外側に向けて取付けられる側方距離センサ（左）ＳＬ、および側方距離センサ（右）ＳＲとが設けられている。下方距離センサ（左）ＬＬ、および下方距離センサ（右）ＬＲの測定値に基づいて、車両のバンク角θ_Ｂが算出される。バンク角θ_Ｂが所定範囲内になければ、側方距離センサ（左）ＳＬ、および側方距離センサ（右）ＳＲにより転倒の可能性が判定される。 （もっと読む）

【課題】水車におけるステーベン５の欠陥を高い精度で効率的に求める。
【解決手段】 先端部１９の三次元位置と向きとを読取る三次元デジタイザ７の先端部１９に距離計８を取付けて、先端部をステーベン５に対する倣い操作を行なうことによって、ステーベンの三次元形状を測定する。次に、三次元デジタイザの先端部に超音波探触子９を取付けて、ステーベンの表面の各位置へ超音波探触子を順次当接していくことによって、ステーベンに対して超音波パルスを送信してエコーを受信する。そして、超音波探触子のステーベンにおける各当接位置、エコー受信情報、及び測定した三次元形状に基づいてステーベンにおける欠陥の３次元位置と欠陥規模とを算出する。算出した三次元欠陥を三次元グラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】ステージのガイドの真直度誤差、テーブルの運動誤差をリアルタイムで補正することができ、これらの誤差による形状測定への影響を最小限に抑えた高精度の形状測定を実現することができ、しかも構造が簡単で、比較的安価に実施できる形状測定用測長装置を提供する。
【解決手段】接触式又は非接触式のプローブを用い、測定物またはプローブのいずれかを可動テーブルに搭載して相対移動させることで、測定物を測長する装置において、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、測定物をスキャンする第１のプローブと、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、平面基準面をスキャンする第2のプローブと、前記第2のプローブからの測定情報と第１のプローブからの測定情報を処理して可動テーブルのガイドの真直度誤差および可動テーブルの運動誤差を補正する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】薄片状の被測定物の厚さ分布および反り形状を同時にかつ高精度に測定できる形状測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】対向する一対の静電容量センサ２，２’を、被測定物Ｓを挟んで昇降可能に配置し、上部の静電容量センサ２を昇降させて被測定物Ｓとの間隙を略一定に保持するとともに、下部の静電容量センサ２’を、上部の静電容量センサ２の前記移動に追随させて移動させ、一対の静電容量センサ２，２’間の距離を一定に保持する。そして、上部の静電容量センサ２の移動量および一対の静電容量センサ２，２’で検出された被測定物Ｓとの間隙に基づいて前記被測定物の厚さおよび反り形状を求める。 （もっと読む）

【課題】塗装の補修により発生する微小傷群を、作業者が確実に視認することが可能であって、作業者の官能に頼らず客観的に塗装の良否を判断できる装置を提案する。
【解決手段】塗装面Ｆの検査部位Ｆａに光を照射する照明手段１１と、検査部位Ｆａの表面での反射光を撮像する撮像手段１２と、該撮像手段１２から信号を受けて画像処理を行う画像処理手段２１と、検査部位Ｆａの表面と撮像手段１２との距離を検出する変位検出手段１３Ａと、検査部位Ｆａの表面と撮像手段１２の光軸との垂直度を検出する垂直度判定手段１３Ｂと、変位検出手段１３Ａ・垂直度判定手段１３Ｂからの信号を受けて撮像手段１２と検査部位Ｆａの表面との距離及び角度が検査可能な状態であるか否かの判定を行う判定手段１３とを、塗装検査装置８に備えた。変位検出手段１３Ａ及び垂直度判定手段１３Ｂとして超音波式変位センサを採用し、距離と同時に垂直度を検出可能とした。 （もっと読む）

【課題】紙葉類全面の厚さを搬送状態の影響を受けることなく常に安定かつ高精度に検知することができる紙葉類の厚さ検知装置を提供する。
【解決手段】有価証券等の紙葉類を搬送しながら検査したり仕分けしたりする紙葉類処理装置等において、搬送される紙葉類の厚さを検知する紙葉類の厚さ検知装置において、紙葉類の全面にわたって厚さを検知するために、複数の厚さ検知器を紙葉類の搬送路に対し搬送方向と直交方向に並設する場合、紙葉類の搬送状態（スキューやスライド等）に対する不安定さに対して、両外側の厚さ検知器の各出力を相補的に用いることによって高精度な処理を実現する。 （もっと読む）

【課題】 操業に支障を来すことなく、且つ、問題となる曲がりの発生を見逃すことなく検出可能な管材の曲がり検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る管材の曲がり検出方法を実施するための曲がり検出装置１００は、継目無鋼管の製造ラインに配置された定径圧延機Ｍ１及び／又は曲がり矯正機Ｍ２の出側に配設され、管材Ｐの外径を複数の径方向について測定するための外径計１ａ、１ｂと、前記外径計による各径方向についての各外径測定位置に基づいて管材の中心位置を算出し、管材の軸方向に沿った前記中心位置の変動量に基づいて管材の曲がりを検出する演算装置２とを備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光体ペースト塗布工程直後に塗布工程の状態を検査することで塗布工程に発生した連続欠陥の原因となる不具合を迅速に発見し、不良品となりロスとなる基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】高さ測定手段を有し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状材料と交差する方向へ、基板、または高さ測定手段を移動させながら、液状材料塗布部を含む基板面の高さ測定を離散的に行い、得られた離散高さ形状信号間を補間して求められた高さ形状信号から液状材料毎の高さを抜き出して連ねた高さ信号を検査信号とし、検査信号より液状材料毎の塗布量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査方法、および検査装置並びにそれらを用いた製造方法。 （もっと読む）

【課題】多数の被測定物の回転中心線に沿った方向の厚みを効率良く測定することが可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】この寸法測定装置１は、薄型リング状磁石（ワーク）１００を転がり運動させるための傾斜したベース部材５２と、ワーク１００がベース部材５２上を転がり運動する間に、ワーク１００の転がり運動の回転中心線に直交する方向からワーク１００の厚みを測定するレーザ投光器５５およびレーザ受光器５６とを備えている。 （もっと読む）