【課題】機械上の被加工物を工作機械の制御器に保存されたプログラムを利用して、高速に、正確に、且つ容易に被加工物を測定することを可能にする工作機械上の被加工物を測定する方法を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。 （もっと読む）

【課題】球体の実際の移動状態に近いデータを獲得可能な球体移動経路の測定方法を提供する。
【解決手段】操作ユニットおよび三軸加速度計Ｃを用意し、三軸加速度計Ｃと操作ユニットとを接続させ、三軸加速度計Ｃで測定したデータを操作ユニットに伝送し、測定対象物Ｏの内部に三軸加速度計Ｃを置き、三軸加速度計ＣでＸＹＺ三軸の空間座標を定義し、第一測定時点に三軸の初期位置を確認し、第二測定時点に比較位置を確認し、データを操作ユニットに伝送する。ＸＹＺ三軸のそれぞれの比較位置と初期位置との間の角度を比較し、ＸＹＺ三軸の軸方向上の力を受けた後の加速度データと、それぞれ軸方向の分力のベクトルと、それぞれ軸に対する旋転力とを算出する。三つの軸方向の加速度値と、測定対象物Ｏの重量およびサイズとに基づいて、測定対象物Ｏの初期速度、飛行時間、飛行高度、飛行距離および旋転速度のうちの少なくとも一つのデータを求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】３次元座標測定システムのコントローラで使用するプログラムを顧客にネットワークを介して配信する方法を提供する。
【解決手段】顧客から実行可能プログラムの作成要求を受信するステップ１００と、顧客のプログラム実行に係わる経験レベル等の情報を入力するステップとを具備する。作成される実行可能プログラムは３次元座標測定システムで実行される多数の測定ステップをオペレータに示すものである。実行可能プログラムはネットワークを介して顧客に配達される。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ＳＴ２と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線Ｌ１および軸部の傾きを示すプローブ軸線Ｌ２を抽出する工程ＳＴ３と、抽出された基準直線Ｌ１に対するプローブ軸線Ｌ２の傾きを演算して求める工程ＳＴ４と、求められたプローブ軸線Ｌ２の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ＳＴ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工対象のうねり量を取得し、そのうねり量に基づいて光学系に設けられた焦点調整機構を制御して加工対象上に焦点を合わせる焦点調整方法において、よりスムーズに焦点調整機構を動作させる。
【解決手段】加工対象１５０上に焦点を合わせる焦点調整機構を有する複数の光学系１６２および加工対象１５０との距離を測定する距離測定手段１８４と加工対象１５０とを相対的に移動させ、その移動により距離測定手段１８４によって上記移動方向に沿って測定された測定データに基づいて、各光学系１６２の位置における加工対象１５０のうねり量を取得し、その取得したうねり量を上記移動方向について補間することによって各光学系１６２の焦点調整機構の制御データを生成し、その生成した制御データに基づいて焦点調整機構を制御する。 （もっと読む）

本発明は、空間内の対象物の位置を測定かつ／または較正する方法およびそのための装置に関し、そのような実施形態においては、装置は、一端においてフレームに嵌合され、他端においてプラットフォームに嵌合された、少なくとも１つの移動アームを含み、プラットフォームは、測定または較正される対象物に取り付けられることができ、プラットフォームを取り付けられた対象物が動いている間に、少なくとも１つの移動アームの個々の部材、フレームおよびプラットフォームの相対的な位置が読み取られ、測定されたデータは、対象物の位置を決定するために、または対象物を較正するために使用される。測定および／または較正装置のプラットフォームを測定または較正対象物に取り付けると直ちに、これらの接合された部分は、対象物の駆動装置によって起動され、対象物の作動空間の範囲内で任意の動きを行い、その一方で、装置の個々の部材の相対的な位置に対応する量が収集され、空間内の対象物の位置の決定または較正のために使用される。測定または較正対象物を有するプラットフォームが動いている間に測定された量の数は、装置の自由度の数より少なくとも１大きい。
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【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 製品ばらつきが小さく、製品歩留まりが高い櫛歯型プローブを提供すること。
【解決手段】 櫛歯型プローブ１０は、静止部１、可動部２、探針３および支持部４を備えている。櫛歯ドライブ１０ａは、静止部１の櫛歯状凹凸部と可動部２の櫛歯状凹凸部とが非接触で噛合し、交流電源７によって与えられる静電力により可動部２がＺ方向に振動する。櫛歯型プローブ１０は、可動部２を励振するのに圧電体層のような機能性薄膜を用いないので、製品歩留まりが高い。可動部２が外力（探針３−試料Ｓ間の原子間力）の影響を受けると、櫛歯ドライブ１０ａのアドミッタンスが変化する。アドミッタンス検出器２０によりアドミッタンスを検出し、この検出値から可動部２の変位量を求める。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針１と、探針１の位置を検出する位置検出器２と、探針１を試料Ｓに対して直交する方向に変位させる変位機構３と、変位機構３をＺ軸に対して直交するＸ軸方向に移動させる走査機構４と、変位機構３をＺ軸及びＸ軸に対して相互に直交するＹ軸方向に移動させる走査機構５とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構３をＺ軸方向に伸縮する圧電素子１０にて構成する。走査機構４を、Ｙ軸方向に伸縮する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮をＸ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１２にて構成する。走査機構５を、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１３と、圧電素子１３の伸縮をＹ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１４にて構成する。 （もっと読む）

【課題】間欠ラスター走査に生じる振動ノイズが低減された走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】Ｙ走査信号の振幅値は、画像データを取得する画像取得時間Ｔｙｕの間だけ直線的に増加し、画像データの取得終了後直ちにほぼ０に戻る。一方、Ｘ走査信号の振幅値は常に一定で、画像データの取得時の振幅値のままである。 （もっと読む）

【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 探針１３をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる探針側スキャナ１０と試料１２をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる試料側スキャナ１１の２つのスキャナを設ける。探針側スキャナ１０として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ１１として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ１０で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ１１によって観察視野を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ２１１を移動させる方向に対して平行に設けられた２組の駆動軸機構（２０５Ａ，２０６Ａ−１，２０５Ｂ，２０６Ｂ−１等）と、これらの２組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構（２１３Ａ，２１３Ｂ）と、２組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ３３等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、２組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差ｄを維持するように２組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の良否を高速に検査できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象である液晶パネル（ガラス基板）１０の上部にセンサ１を固定して、その検査対象１０をエアフローにより浮上させて非接触検査を行う際,測長部４によるレーザ測長によりセンサ１と液晶パネル１０間の距離を計測し、その結果をもとにセンサ側からも、エアー噴出部１１によるエアー噴出を行ってセンサ１と液晶パネル１０間の間隔（ギャップ）を制御する。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

本発明は、固定した光センサ（３）を通過する対象物を３次元スキャンするための装置であって、当該装置はスキャンすべき対象物を受容する機能を有し、ヘキサポッドとして構成された６脚の対象物キャリア（２）を有する装置に関する。構成の観点から経済的なだけでなく、スキャンプロセスを実行する際の容易な操作を可能にする装置を作るために、対象物がヘキサポッドに担持されたターンテーブル（５）に位置決めされることが発案される。
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【課題】 プラスチックシートに貫通形成された微小孔の形成状態の良否判断を行う場合、電子顕微鏡等を用いての高倍率での観察が必要である。この場合、観察が容易でなく、また良否判断をするには形成状態を熟知している必要がある。
【解決手段】 穿孔前のプラスチックシートに薄膜を設け、プラスチックシートに穿孔して微小孔を貫通形成する。この後、プラスチックシートの薄膜を設けた面を観察面として、穿孔して貫通形成された孔部の周辺の皺や亀裂を観察することにより、微小孔の形状の検査をする。 （もっと読む）

【課題】 プローブ等の測定系に対する被測定物の基準平面及び座標を短時間で検出することができる被測定物保持装置を提供すること。
【解決手段】 保持治具１は、測定系に対してレンズ等の光学部品（被測定物）１５を保持するものであって、保持治具本体１６と、測定光学系に対する保持治具本体１６の傾きを表すオプティカルパラレル（角度基準部）１７と、保持治具本体１６の原点位置を表す位置基準部１８とを備え、オプティカルパラレル１７と位置基準部１８とが保持治具本体１６に別々に配されている。 （もっと読む）