【課題】レンズの偏心を測定できる形状測定装置を簡易的に、かつ高精度に校正できる校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正用冶具１００は、中心が円周上を３等分し、計測用基準球を接するように設置できる３個の基準球２を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第１プローブと、校正用冶具に対して第１プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第２プローブと、第１プローブ及び第２プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第１測定結果及び第２測定結果を求める測定部と、第１測定結果及び第２測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の測定位置を測定センサに対して正確かつ簡単に位置決めすることができる測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１は、焼結部品２の寸法を測定する測定センサ３，３と、測定センサ３，３が取り付けられた固定部１０と、焼結部品２を保持する治具２０とを有する。固定部１０には、治具２０を測定ポイントへ案内するためのガイド溝１３を二次元平面上に形成すると共に、焼結部品２の測定位置Ａ〜Ｐ，Ａ〜Ｐを測定ポイントに一致させるように治具２０を固定部１０に対して位置合わせする位置決め溝１４を、ガイド溝１３の溝幅及び溝深さより大きくガイド溝１３上に形成する。そして、ガイド溝１３の溝幅より大きく、位置決め溝１４より小さいボール２６を、固定部１０側へ付勢する圧縮ばね２５を、治具２０に設ける。 （もっと読む）

【課題】長尺の断面直線形状や面形状の測定における水準器と多点法の利点だけを有効に使い、大面積の被測定面を迅速に高精度に測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】被測定試料の置かれたステージと多点法プローブを保持するセンサホルダが互いに相対的に移動をして直線形状を走査測定する装置において、移動する側のセンサホルダまたはステージの走査方向の傾斜角を測定することの出来る水準器を備えていて、前記水準器によって走査移動の開始点と終了点での前記移動側物体の傾斜を測定することで、多点法プローブのゼロ点調整誤差をその場校正する。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】１Ｋｇ程度の飼育ケース内に存在する１０〜３０ｇ程度と軽量な小動物の位置情報を、安価に収集するシステムを提供する
【解決手段】重心の変化を求める荷重計とは別に、重量を支える支柱２を用意することにより、広いダイナミックレンジの荷重計を用いる必要が無くなり、システムを低コストで提供することが可能となる。安価なシステムを提供できれば、これまで容易に評価できなかった開発機関でも導入がすすみ、より多くの研究者が積極的に研究できる体制を整備することが可能となる。また、医薬品や機能性食品等の研究開発における学術レベルの向上に貢献できる。 （もっと読む）

【課題】所定の基準面と直角の方向における位置を測定する形状測定において、従来よりも簡易な構成によって、基準面に対して大きな傾斜角をなしかつ任意の方向を向いた測定面における測定を可能とする。
【解決手段】形状測定装置１を、少なくとも２軸方向（Ｘ、Ｙ）に試料Ｗとプローブ２０とを相対運動させて試料Ｗの表面をプローブ２０で走査させる多次元移動手段（１１、３０）と、試料Ｗを置くための、２軸方向（Ｘ、Ｙ）に対して直角な軸Ｚに対して傾斜した傾斜面を有する試料台１２と、傾斜面の垂直軸Ａを回転軸として試料台１２を回転させる回転手段とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】センサのサンプリング・ポイント付近の物理量データの微細な変化の推定を容易に行う。
【解決手段】（ｘ，ｙ）＝（Ｘ，Ｙ）であるポイントを中心として、その周りを取り囲む、９個のサンプリング・ポイント中の６個のポイントを選択して、（Ｘ，Ｙ）ポイントと当該６個のポイントから得られる６個の三角形中の任意のポイントのＺ軸上の値を推定するための方法であって、
当該方法が、前記９個のポイントの最外周によって画定される矩形上の、ほぼ対角線上の２ポイントを選択し、当該２ポイントを除外した、６ポイントで前記６個の三角形を構成するものである方法。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータでは高精度測定ができない長さが１ｍ以上の長尺状物の表面形状（真直度）を複数の変位センサを用いて測定する。
【解決手段】３本の変位センサＡ，Ｂ，Ｃをピッチ間隔ｐ毎に直列にアーム３１１に固定し、テーブル上に固定された被測定物の真直度を、オートコリメータが高精度に測定できる作動範囲ではオートコリメータにより測定される値を用いて２本の変位センサＡ，Ｂにより２点法で検出された真直度値のピッチングの補正を行って初期真直度値データ列を得、オートコリメータが高精度に測定できない作動範囲における真直度の測定においては第三の変位センサＣより検出される真直度値で測定基準を作り、この測定基準の測定点の値を基準にして変位センサＡ，Ｂによる２点法の出力からピッチングを検出し、それを使用してピッチング補正しながら次々に繰り返して測定範囲を広げて延長真直度値データ列を得、真直度曲線を出力する。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡測定の障害となる半導体ウエハ内部に蓄積された電荷を、確実に取り除き、走査型プローブ顕微鏡の探針の破壊を防止し、安定した表面形状測定を行うことができる測定システムおよび測定方法を提供すること。
【解決手段】第１プローブ１３６と、被測定物ＳＰを第１プローブ１３６に対して進退および走査可能に相対的に移動させる第１試料位置制御手段１２０と第１プローブ１３６および被測定物ＳＰの表面を観察可能な光学顕微鏡部１５０とを有する走査型プローブ顕微鏡部１００と、導電性の第２プローブ２３２と、被測定物ＳＰの特定部位を第２プローブ２３２に対して進退および走査可能に相対的に移動させる第２試料位置制御手段２２０と第２プローブ２３２および被測定物ＳＰの表面を観察可能な光学顕微鏡部１５０とを有する除電部２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な形状測定を行う微細形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】固定端１４ｂに保持された状態でワーク４０をなぞるスタイラス３４を自由端１４ａに持つ可撓性カンチレバー１４と、該固定端１４ｂを上下動する駆動手段２０と、該ワーク４０に対する位置及び姿勢が変化しない基準部材２２と、該基準部材２２とスタイラス３４との上下方向の相対変位を測定し、自由端変位情報を出力する自由端変位計２４と、該基準部材２２と固定端１４ｂとの上下方向の相対変位を測定し、固定端変位情報を出力する固定端変位計２６と、該自由端変位情報及び固定端変位情報に基づきカンチレバー１４の上下方向のたわみ量を求める演算手段２８とを備え、該たわみ量が所定値となるように該固定端１４ｂを上下させつつ該ワーク４０を走査して得られた、該自由端変位情報に基づき、該ワーク４０の形状を把握することを特徴とする微細形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な測定を行うことのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】測定時において、ワーク２０に対して位置及び姿勢が変化しないように保持された基準部材１２と、該ワーク２０表面を走査しながら、該ワーク２０表面の凹凸に応じて上下方向に変位するスタイラス１４と、該スタイラス１４の特定部位３６の変位を該基準部材１２との比較において測定する変位計１６と、該スタイラス１４を該ワーク２０表面に沿って走査させる走査手段１８と、を備え、該基準部材１２は該走査によっても該ワーク２０に対する位置及び姿勢が変化せず、該スタイラス１４の特定部位３６の上下方向への変位を該基準部材１２を基準にして測定し、該測定されたスタイラス１４の特定部位３６の変位に基づき該ワーク２０の微細な形状を把握することを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つのスライド方向に沿って移動可能な物体の位置を計測するための装置に関し、各スライド方向に対応して、当該の空間方向に沿った物体の位置を測定するための測長器が配備されており、当該の測長器（２，３）の第一の構成部品として、測定すべき物体（１０）のスライド方向（ｘ，ｙ）に沿って延びる少なくとも一つの基準尺（２０，３０）が配備され、当該の測長器（２，３）の第二の構成要素として、基準尺（２０，３０）を走査するための走査ヘッド（２５，３５）が配備されており、その結果測定すべき物体（１０）の当該のスライド方向（ｘ，ｙ）に沿った走査ヘッド（２５，３５）に対する基準尺（２０，３０）の位置の変化を検出することが可能であり、当該の測長器（２，３）の二つの構成要素（２０，２５；３０，３５）の中の一方が、測定すべき物体（１０）が動いた場合に、その物体と一緒に当該のスライド方向（ｘ，ｙ）に沿って動かされ、当該の測長器（２，３）の測定方向（ｘ，ｙ）に沿った測定すべき物体（１０）と一緒に移動可能な当該の測長器（２，３）の構成部品（２０，３０）と測定すべき物体（１０）との距離を計測するための機器（１２，２３；１３，３３）が配備されている。本発明では、測定すべき物体（１０）と一緒に移動可能な当該の測長器（２，３）の構成部品（２０，３０）と測定すべき物体（１０）との距離を計測するための機器（１２，２３；１３，３３）が、第一の構造グループとしての測定目盛（１２，１３）と、それに対応する第二の構造グループとしての測定ヘッド（２３，３３）とを備えており、二つの構造グループ（１２，２３；１３，３３）の中の一方が、測定すべき物体（１０）に配備されており、二つの構造グループ（１２，２３；１３，３３）の中の他方が、測定すべき物体（１０）と一緒に移動可能な測長器（２，３）の構成部品（２０，３０）に配備されている。
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【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の計測を高精度化することができ、触針を簡易に支持することによって小型の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ＸＹステージ装置８２に設けたＸ駆動装置５０がエアスライドによって可動部５２を非接触で支持しリニアモータ５１ａ，５１ｂによって可動部５２を駆動するので、載置台８２ａのＸＹ軸方向に関する運動が滑らかで高精度になる。よって、光学素子ＯＥをＸＹ面内で移動させる際にＺ軸方向の微小変位が生じにくくなり、触針１１の変位量計測を正確にすることができ、光学素子ＯＥの表面形状の計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の所望の位置を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】顕微鏡システムにおいて、使用者は、原子間力顕微鏡の試料載置台上に試料を載置し（ステップＳ１）、光学顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ２）。使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に光学顕微鏡の倍率の調整を行う（ステップＳ２ａ）。また、使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域の探索も行う（ステップＳ２ｂ）。続いて、使用者は、ステップＳ２ｂにおいて探索した観察対象領域の中から、さらに原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域を指定する（ステップＳ３）。その後、使用者は、ステップＳ３において指定した観察対象領域について原子間力顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】様々な厚みの測定試料の表面形状を測定する場合でも、事前の校正作業工数の増大を伴うことなく、高い測定精度を確保して測定できること。
【解決手段】変位計２で測定位置を２次元方向に走査させつつ得られる計測値から測定ウェハ４の表面形状を測定する場合に、測定ウェハ４と厚みが異なるが材料及び平面視した形状が同じ基準ウェハの厚み、及びそれが支持部１で支持された場合の自重による撓み量、並びに走査手段３の走査ぶれ量を予め記憶し、対向配置した変位計２ａ，２ｂによる測定ウェハ４の厚み計測、変位計２による測定ウェハ４の表面変位計測を行い、計算機７により、予め記憶された基準ウェハの厚み及び自重撓み量と測定ウェハの厚み計測値とにより、測定ウェハ４の自重撓み量を算出し、走査ぶれ量と測定ウェハ４の自重撓み量及び表面変位計測値とにより測定ウェハ４の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法に関し、探針と試料とが接触することを確実に回避することを目的としている。
【解決手段】 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行する。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ短時間にウエハの面上の異常を検出する。
【解決手段】パラメータｍｕｌｔｉに１がセットされていた場合、所定枚数のウエハＷの同一箇所での面位置の計測値の絶対値｜Ｈ_t（ｘ_i，ｙ_i）｜が閾値以上となると、ウエハＷとウエハホルダＷＨとの間に異物が挟まれていると判断して面異常フラグｆ［ｉ］をセットし（ステップ４０４→４０６→４０８→４１０→４１２）、パラメータｍｕｌｔｉに０がセットされていた場合には、ウエハＷのある地点（ｘ_i，ｙ_i）での面位置の計測値の絶対値｜Ｈ_t（ｘ_i，ｙ_i）｜が閾値以上となると、ウエハＷとウエハホルダＷＨとの間に異物が挟まれていると判断して面異常フラグｆ［ｉ］をセットする（ステップ４０４→４０６→４１２）。 （もっと読む）

【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針１と、探針１の位置を検出する位置検出器２と、探針１を試料Ｓに対して直交する方向に変位させる変位機構３と、変位機構３をＺ軸に対して直交するＸ軸方向に移動させる走査機構４と、変位機構３をＺ軸及びＸ軸に対して相互に直交するＹ軸方向に移動させる走査機構５とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構３をＺ軸方向に伸縮する圧電素子１０にて構成する。走査機構４を、Ｙ軸方向に伸縮する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮をＸ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１２にて構成する。走査機構５を、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１３と、圧電素子１３の伸縮をＹ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１４にて構成する。 （もっと読む）