保管装置及び同保管装置を備えた計測装置
【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被検物の３次元形状を測定する検出手段をその不使用時に保管する保管装置及び同保管装置を備えた計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検物の３次元形状を測定する計測装置として、例えば基盤上に水平一方向に移動するＸステージとこれと直交する水平他方向に移動するＹステージからなる移動テーブルを設け、また基盤上に垂直方向に移動するＺステージにセンサヘッドを設けて、このセンサヘッドに移動テーブル上に載置された被検物に向けて測定光を発する光源と被検物から反射した測定光の反射光画像を取得するテレビカメラを内蔵した装置が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
上記装置では非接触式のセンサヘッドを使用しているが、被検物の表面に接触する探針で計測する接触式のセンサヘッドを使用する計測装置がある。また、非接触式のセンサヘッドと接触式のセンサヘッドの両方式のセンサヘッドを使用する計測装置もあり、この計測装置では、これら２つのセンサヘッドを交換可能な装置と、これらセンサヘッドのうち不使用時にあるセンサヘッドを一時格納しておく棚装置とが設けられている。
【特許文献１】特開平１１−１２５５０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記計測装置では、棚装置は開放されており、格納されているセンサヘッドは計測装置が設置される雰囲気中に曝されている。センサヘッドが棚装置に格納されている時間が長いと、雰囲気中に塵やオイルミストが浮遊している場合、これら塵やオイルミストがセンサヘッドに付着するおそれがある。
【０００５】
生産性向上の観点から計測装置を被検物の加工機械（例えば旋盤など）のそばに設置することで、加工機械と計測装置との間を行き来する時間のロスを可及的に少なくすることができる。しかし、計測装置が設置された雰囲気中に浮遊する塵やオイルミストの量は非常多く、これにより塵やオイルミストがセンサヘッドに付着する量も多い。このため、長期間棚装置に格納されていたセンサヘッドを棚装置から取り出して被検物の形状測定に使用すると、付着して堆積した塵やオイルミストの厚さの量だけ誤って計測されることがあり、この結果、計測精度が悪化する課題があった。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置及び同保管装置を備えた計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の保管装置は、被検物の形状情報を採取するための検出手段をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の保管装置は、前記保護手段が、前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の保管装置は、前記保護手段が、前記検出手段を覆って該検出手段の周囲の雰囲気から隔てるカバー部材と、該カバー部材の内部に前記雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体供給部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の保管装置は、前記カバー部材に前記気体供給部から供給された気体を前記保護手段の外界に放出する開口部を設け、前記開口部に気体フィルタを配置してなることを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の保管装置は、前記カバー部材の前記気体供給部との接続箇所に気体フィルタを配置していることを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項６に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項１又は３乃至５の何れか一項に記載の保管装置と、を備えてなることを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項７に記載の計測装置は、更に前記検出手段と前記保管装置とを相対的に移動可能にする移動機構を有し、前記移動機構の移動範囲内に前記保管装置が配置されることを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項８に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項２に記載の保管装置と、を備え、前記保管装置に具備された前記気体流形成手段が、前記保管装置に具備された前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体ポンプを備え、前記気体ポンプが前記使用中の検出手段に振動が伝わらないように配置されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項９に記載の計測装置は、前記気体供給部が、使用時の前記検出手段に振動が伝わらないように配置された気体ポンプを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下本発明の保管装置とこの保管装置を備えた計測装置の一実施形態について図１乃至図４を参照して説明する。
【００１８】
本発明の保管装置とこの保管装置を備えた計測装置は塵やオイルミストが浮遊する雰囲気の中、例えば旋盤のそばに設置される。計測装置は被検物の３次元形状を計測する装置である。
【００１９】
図１は本発明の保管装置を備えた計測装置の一実施形態を示す概略図である。
【００２０】
計測装置は、被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段として利用できる不使用状態にある非接触センサ２０ａ（又はタッチプローブ２０ｂ）をその周囲の雰囲気から隔てるプローブボックス３０を装備している。プローブボックス３０の内部にプローブボックス３０の外界の雰囲気（計測装置が設置されている雰囲気）よりも不純物の少ない気体であるクリーンエアーを供給する気体供給部としてのエアーポンプ４０が設けられている。
【００２１】
非接触センサ２０ａは被検物Ｍの形状を光切断法によって計測するセンサで、タッチプローブ２０ｂは被検物Ｍの表面に探針を接触させて被検物Ｍの形状を計測するセンサである。
【００２２】
エアーポンプ４０は、その駆動時に発生する振動が計測装置本体１０（使用中の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂ）に伝わるのを可及的に少なくするため、計測装置本体１０から離して設置される。また、エアーポンプ４０は、加工機械等が設置された建屋の戸外の空気を吸入するようにしている。
【００２３】
計測装置本体１０は、床１１に設置された除振台１２上にベース１３を配置し、このベース１３上に、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５及びＺステージ１６とが配置される。
【００２４】
除振台１２は、エアーポンプ４０で発生して床１１を通じてベース１３に伝わる振動の殆どを吸収する装置である。したがって、使用中にある非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂはエアーポンプ３０が発生する振動の影響を殆ど受けることがない。
【００２５】
Ｘステージ１４は、被検物Ｍを載置する機構で、載置した被検物Ｍと上述したプローブボックス３０をベース１３上で水平一方向（図１の矢印Ｘ方向参照）に平行移動させる。
【００２６】
Ｙステージ１５は、ベース１３上でＸステージ１４と直交する水平他方向（図１の矢印Ｙ方向参照）に移動する水平部分１５ａと、この水平部分１５ａ上に垂直に起立して設けられた垂直部分１５ｂとを有している。この垂直部分１５ｂにはＺステージ１６が移動可能に支持されている。
【００２７】
Ｚステージ１６は、Ｙステージ１５の垂直部分１５ｂに沿いベース１３に対して垂直方向（図１の矢印Ｚ方向参照）に移動可能な基部１６ａと、この基部１６ａからベース１３に対して平行に延びるアーム部１６ｂとを有している。アーム部１６ｂの先端部にはヘッド１７を介して被検物Ｍと対向するようにして非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂが着脱自在に取り付けられる。
【００２８】
Ｙステージ１５とＺステージ１６はベース１３上で非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂを移動可能に支持搬送する支持機構として機能する。例えば、Ｘステージ１４を駆動してプローブボックス３０を所定の位置に搬送する一方、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６を駆動して非接触センサ２０ａを搬送し、該位置でヘッド１７から非接触センサ２０ａを取り外してプローブボックス３０内に格納する。一方、プローブボックス３０内に格納されている別のタッチプローブ２０ｂを、ヘッド１７を介して取り付けてＸステージ１４に載置された被検物Ｍ上の位置まで各ステージを駆動して位置決めする。
【００２９】
ヘッド１７は、非接触センサ２０ａとタッチプローブ２０ｂとを交換可能に保持する装置で、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６によってベース１３上を移動する。ヘッド１７に取り付けられた、使用中にある非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂの位置は、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６それぞれの位置の合成された位置である。非接触センサ２０ａは、図３に示すように、測定光を被検物Ｍに投影する投影ユニット２１と、測定光が照射された被検物Ｍの像を撮像する撮像ユニット２２とを有する。そして、撮像された画像データを出力する。一方、タッチプローブ２０ｂはタッチプローブ２０ｂの先端に接触したか否かに応じて所定の信号が出力される。なお、非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂから出力される形状情報は図示しない計測回路によって被検物Ｍの形状データに変換され、ＣＡＤなどの装置に出力される。
【００３０】
プローブボックス３０は、図２に示すように、吸気口３１と排気口３２とが設けられ、不使用状態にあるタッチプローブ２０ｂ又は非接触センサ２０ａが図示しない保管部材によって、一時格納されている。吸気口３１にはエアーホース４１が接続されている。プローブボックス３０の内部の空間には、エアーホース４１でクリーンエアーがエアーポンプ４０から供給される。エアーホース４１は弾性に富むゴムで構成され、エアーポンプ４０が発生する振動を吸収して、その振動をプローブボックス３０に伝えない役目を果たしている。
【００３１】
吸気口３１にはエアーフィルタ３３が設けられ、エアーホース４１から出るクリーンエアーに含まれる塵やオイルミストなどの不純物を更に取り除いて、プローブボックス３０内の空間に送り出している。
【００３２】
プローブボックス３０には、図示しない扉とその開閉装置が設けられ、その扉が閉じているときには、その内部の空間にタッチプローブ２０ｂや非接触センサ２０ａを格納して、それらを雰囲気から隔離する。この格納中、吸気口３１からエアーフィルタ３３を通ってこの空間内に送り出されたクリーンエアーは、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとの周囲を通って、排気口３２に設けられたエアーフィルタ３４を通って排気口３２から雰囲気中に流れ出す。クリーンエアーは、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとの周囲に、塵やオイルミストのない空気の層を形成する。
【００３３】
このように、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとがプローブボックス３０に格納されているときには、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとはプローブボックス３０に覆われているので、雰囲気に含まれる塵やオイルミストが付着することがない。
【００３４】
従って、塵やオイルミストが付着していないタッチプローブ２０ｂ又は非接触センサ２０ａで被検物Ｍの形状を計測することが出来る。また、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａが長時間プローブボックス３０に保管されていた後でも、被検物Ｍの形状を高精度に計測できる。
【００３５】
タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａがプローブボックス３０に格納された後、図示しない電源が遮断されると、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとは長時間プローブボックス３０に格納されることになる。しかし、プローブボックス３０の吸気口３１と排気口３２とには、それぞれエアーフィルタ３３、３４が設けられているので、雰囲気中のエアーが排気口３２からプローブボックス３０内に流入しても、これらエアーフィルタ３４によって塵やオイルミストが除去されるので、プローブボックス３０内に塵やオイルミストが入り込むことはない。
【００３６】
このように、電源が遮断されているときでも、プローブボックス３０内のタッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａには、塵やオイルミストが付着しないので、電源投入直後でも、被検物Ｍの形状を高精度に計測できる。
【００３７】
また、エアーポンプ４０から供給されるクリーンエアーはエアーホース４２を介して使用中（計測中）の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂにも供給され、非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂに雰囲気中の塵やオイルミストが付着するのを防止している。エアーホース４２は弾性に富むゴムで構成され、エアーポンプ４０が発生する振動を吸収して、その振動が使用中（計測中）の非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂに伝えない役目を果たしている。なお、エアーポンプ４０のエアー供給口には流量調整弁４３が設けられていて、この流量調整弁４３によってエアーホース４１を介してプローブボックス３０に供給されるクリーンエアー量とエアーホース４２を介して非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂに供給されるクリーンエアー量との調整を行うようにしてある。
【００３８】
図３はヘッド１７に取り付けられた非接触センサ２０ａにクリーンエアーを供給する状態を示している。非接触センサ２０ａを構成する投影ユニット２１と撮像ユニット２２の周囲にはそれぞれ気体流供給路２０ｃが形成され、エアーホース４２から送られたクリーンエアーが気体流供給路２０ｃの開口から噴出することによって空気の層（エアーカーテン）が形成され、周囲の環境と隔てられて、雰囲気中の塵やオイルミストが投影ユニット２１、撮像ユニット２２の光学部品に付着するのを防止している。
【００３９】
図４はヘッド１７に取り付けられたタッチプローブ２０ｂにクリーンエアーを供給する状態を示している。タッチプローブ２０ｂにも周囲から噴出されるクリーンエアーが流れる気体流供給路２０ｃが形成されている。エアーホース４２から送られたクリーンエアーは気体流供給路２０ｃから噴出し、タッチプローブ２０ｂの周囲に沿い、タッチプローブ２０ｂの先端で合流するようにして流れる。それ故、タッチプローブ２０ｂを包み込むように円錐形状の空気の層（エアーカーテン）を形成し、タッチプローブ２０ｂを周囲の環境から隔てて、雰囲気中の塵やオイルミストがタッチプローブ２０ｂに付着するのを防止している。
【００４０】
従って、計測中においても非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂに塵やオイルミストが付着せず、高精度な計測が可能となる。
【００４１】
なお、上述した計測装置には、操作卓５０が装備され、この操作卓５０から入力された指令などが中央制御装置（ＣＰＵ）５１で処理され、ＣＰＵ５１からＸステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６の駆動部に制御信号が送られ、またエアーポンプ４０の駆動部に制御信号が送られる。Ｘステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６、エアーポンプ４０は送られた制御信号に基づいて動作する。
【００４２】
上述したように本実施形態の計測装置は、生産性向上のために旋盤などの加工機械のそばに設置しても、不使用時の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂはプローブボックス３０とその内部に流れるクリーンエアーによって雰囲気中の塵やオイルミストが付着することがなく、また使用中の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂもクリーンエアーによって雰囲気中の塵やオイルミストが付着することがなく、被検物Ｍの形状を高精度に計測することが可能になる。
【００４３】
本発明は上記実施形態で示したものに限定されるものではない。例えば保護手段としてプローブボックス３０の代わりに、非接触センサ２０ａやタッチプローブ２０ｂにクリーンエアーを吹き付けるか、あるいは、非接触センサ２０ａやタッチプローブ２０ｂを包む気体（空気）の層を形成するなどして、非接触センサ２０ａやタッチプローブ２０ｂを雰囲気から隔てるようにしてもよい。
【００４４】
また、クリーンエアーを流すことなく、プローブボックス３０を密閉型にするなどして雰囲気中の塵やオイルミストが流入しないようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の保管装置を備えた計測装置の一実施形態を示す概略図である。
【図２】図１の計測装置に装備される保管装置の概略図である。
【図３】図１の非接触センサにクリーンエアーを流した状態の説明図である。
【図４】図１のタッチプローブにクリーンエアーを流した状態の説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０ 計測装置本体
１１ 床
１２ 除振台
１３ ベース
１４ Ｘステージ
１５ Ｙステージ
１６ Ｚステージ
２０ａ 非接触センサ（検出手段）
２０ｂ タッチプローブ（検出手段）
３０ プローブボックス（カバー部材）
３１ 吸気口
３２ 排気口
３３，３４ フィルタ
４０ エアーポンプ
【技術分野】
【０００１】
本発明は被検物の３次元形状を測定する検出手段をその不使用時に保管する保管装置及び同保管装置を備えた計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検物の３次元形状を測定する計測装置として、例えば基盤上に水平一方向に移動するＸステージとこれと直交する水平他方向に移動するＹステージからなる移動テーブルを設け、また基盤上に垂直方向に移動するＺステージにセンサヘッドを設けて、このセンサヘッドに移動テーブル上に載置された被検物に向けて測定光を発する光源と被検物から反射した測定光の反射光画像を取得するテレビカメラを内蔵した装置が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
上記装置では非接触式のセンサヘッドを使用しているが、被検物の表面に接触する探針で計測する接触式のセンサヘッドを使用する計測装置がある。また、非接触式のセンサヘッドと接触式のセンサヘッドの両方式のセンサヘッドを使用する計測装置もあり、この計測装置では、これら２つのセンサヘッドを交換可能な装置と、これらセンサヘッドのうち不使用時にあるセンサヘッドを一時格納しておく棚装置とが設けられている。
【特許文献１】特開平１１−１２５５０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記計測装置では、棚装置は開放されており、格納されているセンサヘッドは計測装置が設置される雰囲気中に曝されている。センサヘッドが棚装置に格納されている時間が長いと、雰囲気中に塵やオイルミストが浮遊している場合、これら塵やオイルミストがセンサヘッドに付着するおそれがある。
【０００５】
生産性向上の観点から計測装置を被検物の加工機械（例えば旋盤など）のそばに設置することで、加工機械と計測装置との間を行き来する時間のロスを可及的に少なくすることができる。しかし、計測装置が設置された雰囲気中に浮遊する塵やオイルミストの量は非常多く、これにより塵やオイルミストがセンサヘッドに付着する量も多い。このため、長期間棚装置に格納されていたセンサヘッドを棚装置から取り出して被検物の形状測定に使用すると、付着して堆積した塵やオイルミストの厚さの量だけ誤って計測されることがあり、この結果、計測精度が悪化する課題があった。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置及び同保管装置を備えた計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の保管装置は、被検物の形状情報を採取するための検出手段をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の保管装置は、前記保護手段が、前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の保管装置は、前記保護手段が、前記検出手段を覆って該検出手段の周囲の雰囲気から隔てるカバー部材と、該カバー部材の内部に前記雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体供給部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の保管装置は、前記カバー部材に前記気体供給部から供給された気体を前記保護手段の外界に放出する開口部を設け、前記開口部に気体フィルタを配置してなることを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の保管装置は、前記カバー部材の前記気体供給部との接続箇所に気体フィルタを配置していることを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項６に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項１又は３乃至５の何れか一項に記載の保管装置と、を備えてなることを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項７に記載の計測装置は、更に前記検出手段と前記保管装置とを相対的に移動可能にする移動機構を有し、前記移動機構の移動範囲内に前記保管装置が配置されることを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項８に記載の計測装置は、被検物の形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項２に記載の保管装置と、を備え、前記保管装置に具備された前記気体流形成手段が、前記保管装置に具備された前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体ポンプを備え、前記気体ポンプが前記使用中の検出手段に振動が伝わらないように配置されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項９に記載の計測装置は、前記気体供給部が、使用時の前記検出手段に振動が伝わらないように配置された気体ポンプを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下本発明の保管装置とこの保管装置を備えた計測装置の一実施形態について図１乃至図４を参照して説明する。
【００１８】
本発明の保管装置とこの保管装置を備えた計測装置は塵やオイルミストが浮遊する雰囲気の中、例えば旋盤のそばに設置される。計測装置は被検物の３次元形状を計測する装置である。
【００１９】
図１は本発明の保管装置を備えた計測装置の一実施形態を示す概略図である。
【００２０】
計測装置は、被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段として利用できる不使用状態にある非接触センサ２０ａ（又はタッチプローブ２０ｂ）をその周囲の雰囲気から隔てるプローブボックス３０を装備している。プローブボックス３０の内部にプローブボックス３０の外界の雰囲気（計測装置が設置されている雰囲気）よりも不純物の少ない気体であるクリーンエアーを供給する気体供給部としてのエアーポンプ４０が設けられている。
【００２１】
非接触センサ２０ａは被検物Ｍの形状を光切断法によって計測するセンサで、タッチプローブ２０ｂは被検物Ｍの表面に探針を接触させて被検物Ｍの形状を計測するセンサである。
【００２２】
エアーポンプ４０は、その駆動時に発生する振動が計測装置本体１０（使用中の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂ）に伝わるのを可及的に少なくするため、計測装置本体１０から離して設置される。また、エアーポンプ４０は、加工機械等が設置された建屋の戸外の空気を吸入するようにしている。
【００２３】
計測装置本体１０は、床１１に設置された除振台１２上にベース１３を配置し、このベース１３上に、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５及びＺステージ１６とが配置される。
【００２４】
除振台１２は、エアーポンプ４０で発生して床１１を通じてベース１３に伝わる振動の殆どを吸収する装置である。したがって、使用中にある非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂはエアーポンプ３０が発生する振動の影響を殆ど受けることがない。
【００２５】
Ｘステージ１４は、被検物Ｍを載置する機構で、載置した被検物Ｍと上述したプローブボックス３０をベース１３上で水平一方向（図１の矢印Ｘ方向参照）に平行移動させる。
【００２６】
Ｙステージ１５は、ベース１３上でＸステージ１４と直交する水平他方向（図１の矢印Ｙ方向参照）に移動する水平部分１５ａと、この水平部分１５ａ上に垂直に起立して設けられた垂直部分１５ｂとを有している。この垂直部分１５ｂにはＺステージ１６が移動可能に支持されている。
【００２７】
Ｚステージ１６は、Ｙステージ１５の垂直部分１５ｂに沿いベース１３に対して垂直方向（図１の矢印Ｚ方向参照）に移動可能な基部１６ａと、この基部１６ａからベース１３に対して平行に延びるアーム部１６ｂとを有している。アーム部１６ｂの先端部にはヘッド１７を介して被検物Ｍと対向するようにして非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂが着脱自在に取り付けられる。
【００２８】
Ｙステージ１５とＺステージ１６はベース１３上で非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂを移動可能に支持搬送する支持機構として機能する。例えば、Ｘステージ１４を駆動してプローブボックス３０を所定の位置に搬送する一方、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６を駆動して非接触センサ２０ａを搬送し、該位置でヘッド１７から非接触センサ２０ａを取り外してプローブボックス３０内に格納する。一方、プローブボックス３０内に格納されている別のタッチプローブ２０ｂを、ヘッド１７を介して取り付けてＸステージ１４に載置された被検物Ｍ上の位置まで各ステージを駆動して位置決めする。
【００２９】
ヘッド１７は、非接触センサ２０ａとタッチプローブ２０ｂとを交換可能に保持する装置で、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６によってベース１３上を移動する。ヘッド１７に取り付けられた、使用中にある非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂの位置は、Ｘステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６それぞれの位置の合成された位置である。非接触センサ２０ａは、図３に示すように、測定光を被検物Ｍに投影する投影ユニット２１と、測定光が照射された被検物Ｍの像を撮像する撮像ユニット２２とを有する。そして、撮像された画像データを出力する。一方、タッチプローブ２０ｂはタッチプローブ２０ｂの先端に接触したか否かに応じて所定の信号が出力される。なお、非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂから出力される形状情報は図示しない計測回路によって被検物Ｍの形状データに変換され、ＣＡＤなどの装置に出力される。
【００３０】
プローブボックス３０は、図２に示すように、吸気口３１と排気口３２とが設けられ、不使用状態にあるタッチプローブ２０ｂ又は非接触センサ２０ａが図示しない保管部材によって、一時格納されている。吸気口３１にはエアーホース４１が接続されている。プローブボックス３０の内部の空間には、エアーホース４１でクリーンエアーがエアーポンプ４０から供給される。エアーホース４１は弾性に富むゴムで構成され、エアーポンプ４０が発生する振動を吸収して、その振動をプローブボックス３０に伝えない役目を果たしている。
【００３１】
吸気口３１にはエアーフィルタ３３が設けられ、エアーホース４１から出るクリーンエアーに含まれる塵やオイルミストなどの不純物を更に取り除いて、プローブボックス３０内の空間に送り出している。
【００３２】
プローブボックス３０には、図示しない扉とその開閉装置が設けられ、その扉が閉じているときには、その内部の空間にタッチプローブ２０ｂや非接触センサ２０ａを格納して、それらを雰囲気から隔離する。この格納中、吸気口３１からエアーフィルタ３３を通ってこの空間内に送り出されたクリーンエアーは、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとの周囲を通って、排気口３２に設けられたエアーフィルタ３４を通って排気口３２から雰囲気中に流れ出す。クリーンエアーは、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとの周囲に、塵やオイルミストのない空気の層を形成する。
【００３３】
このように、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとがプローブボックス３０に格納されているときには、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとはプローブボックス３０に覆われているので、雰囲気に含まれる塵やオイルミストが付着することがない。
【００３４】
従って、塵やオイルミストが付着していないタッチプローブ２０ｂ又は非接触センサ２０ａで被検物Ｍの形状を計測することが出来る。また、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａが長時間プローブボックス３０に保管されていた後でも、被検物Ｍの形状を高精度に計測できる。
【００３５】
タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａがプローブボックス３０に格納された後、図示しない電源が遮断されると、タッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａとは長時間プローブボックス３０に格納されることになる。しかし、プローブボックス３０の吸気口３１と排気口３２とには、それぞれエアーフィルタ３３、３４が設けられているので、雰囲気中のエアーが排気口３２からプローブボックス３０内に流入しても、これらエアーフィルタ３４によって塵やオイルミストが除去されるので、プローブボックス３０内に塵やオイルミストが入り込むことはない。
【００３６】
このように、電源が遮断されているときでも、プローブボックス３０内のタッチプローブ２０ｂと非接触センサ２０ａには、塵やオイルミストが付着しないので、電源投入直後でも、被検物Ｍの形状を高精度に計測できる。
【００３７】
また、エアーポンプ４０から供給されるクリーンエアーはエアーホース４２を介して使用中（計測中）の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂにも供給され、非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂに雰囲気中の塵やオイルミストが付着するのを防止している。エアーホース４２は弾性に富むゴムで構成され、エアーポンプ４０が発生する振動を吸収して、その振動が使用中（計測中）の非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂに伝えない役目を果たしている。なお、エアーポンプ４０のエアー供給口には流量調整弁４３が設けられていて、この流量調整弁４３によってエアーホース４１を介してプローブボックス３０に供給されるクリーンエアー量とエアーホース４２を介して非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂに供給されるクリーンエアー量との調整を行うようにしてある。
【００３８】
図３はヘッド１７に取り付けられた非接触センサ２０ａにクリーンエアーを供給する状態を示している。非接触センサ２０ａを構成する投影ユニット２１と撮像ユニット２２の周囲にはそれぞれ気体流供給路２０ｃが形成され、エアーホース４２から送られたクリーンエアーが気体流供給路２０ｃの開口から噴出することによって空気の層（エアーカーテン）が形成され、周囲の環境と隔てられて、雰囲気中の塵やオイルミストが投影ユニット２１、撮像ユニット２２の光学部品に付着するのを防止している。
【００３９】
図４はヘッド１７に取り付けられたタッチプローブ２０ｂにクリーンエアーを供給する状態を示している。タッチプローブ２０ｂにも周囲から噴出されるクリーンエアーが流れる気体流供給路２０ｃが形成されている。エアーホース４２から送られたクリーンエアーは気体流供給路２０ｃから噴出し、タッチプローブ２０ｂの周囲に沿い、タッチプローブ２０ｂの先端で合流するようにして流れる。それ故、タッチプローブ２０ｂを包み込むように円錐形状の空気の層（エアーカーテン）を形成し、タッチプローブ２０ｂを周囲の環境から隔てて、雰囲気中の塵やオイルミストがタッチプローブ２０ｂに付着するのを防止している。
【００４０】
従って、計測中においても非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂに塵やオイルミストが付着せず、高精度な計測が可能となる。
【００４１】
なお、上述した計測装置には、操作卓５０が装備され、この操作卓５０から入力された指令などが中央制御装置（ＣＰＵ）５１で処理され、ＣＰＵ５１からＸステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６の駆動部に制御信号が送られ、またエアーポンプ４０の駆動部に制御信号が送られる。Ｘステージ１４、Ｙステージ１５、Ｚステージ１６、エアーポンプ４０は送られた制御信号に基づいて動作する。
【００４２】
上述したように本実施形態の計測装置は、生産性向上のために旋盤などの加工機械のそばに設置しても、不使用時の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂはプローブボックス３０とその内部に流れるクリーンエアーによって雰囲気中の塵やオイルミストが付着することがなく、また使用中の非接触センサ２０ａ又はタッチプローブ２０ｂもクリーンエアーによって雰囲気中の塵やオイルミストが付着することがなく、被検物Ｍの形状を高精度に計測することが可能になる。
【００４３】
本発明は上記実施形態で示したものに限定されるものではない。例えば保護手段としてプローブボックス３０の代わりに、非接触センサ２０ａやタッチプローブ２０ｂにクリーンエアーを吹き付けるか、あるいは、非接触センサ２０ａやタッチプローブ２０ｂを包む気体（空気）の層を形成するなどして、非接触センサ２０ａやタッチプローブ２０ｂを雰囲気から隔てるようにしてもよい。
【００４４】
また、クリーンエアーを流すことなく、プローブボックス３０を密閉型にするなどして雰囲気中の塵やオイルミストが流入しないようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の保管装置を備えた計測装置の一実施形態を示す概略図である。
【図２】図１の計測装置に装備される保管装置の概略図である。
【図３】図１の非接触センサにクリーンエアーを流した状態の説明図である。
【図４】図１のタッチプローブにクリーンエアーを流した状態の説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０ 計測装置本体
１１ 床
１２ 除振台
１３ ベース
１４ Ｘステージ
１５ Ｙステージ
１６ Ｚステージ
２０ａ 非接触センサ（検出手段）
２０ｂ タッチプローブ（検出手段）
３０ プローブボックス（カバー部材）
３１ 吸気口
３２ 排気口
３３，３４ フィルタ
４０ エアーポンプ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物の形状情報を採取するための検出手段をその不使用時に保管する保管装置であって、
前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段を備えたことを特徴とする保管装置。
【請求項２】
請求項１に記載の保管装置において、
前記保護手段は、前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段であることを特徴とする保管装置。
【請求項３】
請求項１に記載の保管装置において、
前記保護手段は、前記検出手段を覆って該検出手段の周囲の雰囲気から隔てるカバー部材と、該カバー部材の内部に前記雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体供給部とを備えることを特徴とする保管装置。
【請求項４】
請求項３に記載の保管装置において、
前記カバー部材に前記気体供給部から供給された気体を前記保護手段の外界に放出する開口部を設け、
前記開口部に気体フィルタを配置してなることを特徴とする保管装置。
【請求項５】
請求項４に記載の保管装置において、
前記カバー部材の前記気体供給部との接続箇所に気体フィルタを配置していることを特徴とする保管装置。
【請求項６】
被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項１又は３乃至５の何れか一項に記載の保管装置と、
を備えてなることを特徴とする計測装置。
【請求項７】
請求項６に記載の計測装置において、
更に前記検出手段と前記保管装置とを相対的に移動可能にする移動機構を有し、前記移動機構の移動範囲内に前記保管装置が配置されることを特徴とする計測装置。
【請求項８】
被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項２に記載の保管装置と、を備え、
前記保管装置に具備された前記気体流形成手段は、前記保管装置に具備された前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体ポンプを備え、
前記気体ポンプは前記使用中の検出手段に振動が伝わらないように配置されていることを特徴とする計測装置。
【請求項９】
請求項６に記載の計測装置において、
前記気体供給部は、使用時の前記検出手段に振動が伝わらないように配置された気体ポンプを備えることを特徴とする計測装置。
【請求項１】
被検物の形状情報を採取するための検出手段をその不使用時に保管する保管装置であって、
前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段を備えたことを特徴とする保管装置。
【請求項２】
請求項１に記載の保管装置において、
前記保護手段は、前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段であることを特徴とする保管装置。
【請求項３】
請求項１に記載の保管装置において、
前記保護手段は、前記検出手段を覆って該検出手段の周囲の雰囲気から隔てるカバー部材と、該カバー部材の内部に前記雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体供給部とを備えることを特徴とする保管装置。
【請求項４】
請求項３に記載の保管装置において、
前記カバー部材に前記気体供給部から供給された気体を前記保護手段の外界に放出する開口部を設け、
前記開口部に気体フィルタを配置してなることを特徴とする保管装置。
【請求項５】
請求項４に記載の保管装置において、
前記カバー部材の前記気体供給部との接続箇所に気体フィルタを配置していることを特徴とする保管装置。
【請求項６】
被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項１又は３乃至５の何れか一項に記載の保管装置と、
を備えてなることを特徴とする計測装置。
【請求項７】
請求項６に記載の計測装置において、
更に前記検出手段と前記保管装置とを相対的に移動可能にする移動機構を有し、前記移動機構の移動範囲内に前記保管装置が配置されることを特徴とする計測装置。
【請求項８】
被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項２に記載の保管装置と、を備え、
前記保管装置に具備された前記気体流形成手段は、前記保管装置に具備された前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体ポンプを備え、
前記気体ポンプは前記使用中の検出手段に振動が伝わらないように配置されていることを特徴とする計測装置。
【請求項９】
請求項６に記載の計測装置において、
前記気体供給部は、使用時の前記検出手段に振動が伝わらないように配置された気体ポンプを備えることを特徴とする計測装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００９−１４６１４（Ｐ２００９−１４６１４Ａ）
【公開日】平成２１年１月２２日（２００９．１．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１７８６６０（Ｐ２００７−１７８６６０）
【出願日】平成１９年７月６日（２００７．７．６）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１月２２日（２００９．１．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年７月６日（２００７．７．６）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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