【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】ウエハの平坦度検査を高精度かつスループットの高い方法で実現する。
【解決手段】回転運動および直線運動機構の運動誤差を補正することの可能な３点法を、ウエハ１０１と検出器９の相対的な回転運動によるウエハ外周の形状測定と、ウエハ１０１と検出器９の相対的な直線運動によるウエハ直径方向の形状測定に適用し、両者の組み合わせによりウエハ全体の形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】極めて簡単かつ低コストで測定して、当該測定結果から定量的に腐食速度を求め、さらにｎ年後の腐食量を推定することができる鋼管部材の内面めっきの腐食量推定方法を提供する。
【解決手段】ある期間毎に鋼管部材全体の厚さ及び外面めっき層の厚さを測定し、これを少なくとも４〜５回行い、各回の測定時の鋼管部材全体の厚さの測定値Ａから外面めっきの厚さの測定値Ｂを減じた値を算出してこれを算出値Ｃとし、第２回以降の各回の測定時に算出した算出値Ｃ_ｎから第１回の測定時に算出した算出値Ｃ_１を減じた値が第１回の測定時に対する第２回以降の測定時の内面めっき厚の減少値でありこの絶対値Ｄ_ｎを第２回以降の各回の腐食量とし、これらの腐食量から腐食速度を統計的処理により算出又は推定し、ｎ年後の腐食量を求める。 （もっと読む）

線路位置は、連続する計測区間（１５）において計測される。この場合、計測システム（９）の基準線としてレーザ放射（１６）によって形成される長弦（１７）を用いて、その都度相対的な線路位置が記録される。この場合、２つの連続する計測区間（１５）の両方の長弦（１７）により成された角度が計測され、ひいては線路実際位置を再現する空間曲線が得られる。
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【課題】測定レンジを狭めることなく高精度の量子化を行う物理量変化測定装置を提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じた一方の電圧信号１１ａを第１のデジタル信号に変換する第１のデジタル変換処理部３０と、これを第１のアナログ信号に変換するアナログ変換処理部３１と、他方の電圧信号１１ｂから第１のアナログ信号３１ａを減算した減算信号４０ａを出力する減算処理部４０と、減算信号４０ａを拡大して信号４１ａを出力する第２の増幅部４１と、前記信号４１ａを第２のデジタル信号７０ａに変換する第２のデジタル変換処理部７０と、この第２のデジタル信号７０ａと拡大した第１のデジタル信号３２ａを加算した出力信号８０ａを出力する加算処理部８０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ステージのガイドの真直度誤差、テーブルの運動誤差をリアルタイムで補正することができ、これらの誤差による形状測定への影響を最小限に抑えた高精度の形状測定を実現することができ、しかも構造が簡単で、比較的安価に実施できる形状測定用測長装置を提供する。
【解決手段】接触式又は非接触式のプローブを用い、測定物またはプローブのいずれかを可動テーブルに搭載して相対移動させることで、測定物を測長する装置において、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、測定物をスキャンする第１のプローブと、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、平面基準面をスキャンする第2のプローブと、前記第2のプローブからの測定情報と第１のプローブからの測定情報を処理して可動テーブルのガイドの真直度誤差および可動テーブルの運動誤差を補正する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
ボビンが迅速かつ正確に検出、即ち把握されるように簡単な方法でボビンの位置の確認を改善する。
【解決手段】
センサ（１１〜１４，２１〜２４）が、空間的に互いに分離されるようにセンサグループモジュール（２Ａ，２Ｂ）内に配設されていることを特徴とする、ボビンを把持するための要素（３，４，５）を有するグリッパ（１）と、グリッパ（１）に配設された、センサ（１１〜１４，２１〜２４）を有するセンサ装置（２）と、センサ装置（２）から信号を受信し、処理する評価及び制御装置（９）と、評価及び制御装置（９）によって制御され、グリッパ（１）を移動させる位置決め装置（１０）とを有する、特にタバコ加工産業のボビン操作装置。 （もっと読む）

【課題】アレイ形状金型の個々のアレイ要素のピッチ誤差や形状誤差を最小にし、高精度で加工する。
【解決手段】アレイ形状金型２１０となるワーク２００に対する複数のアレイ要素２１１の加工において、最初に配列中央の一つのアレイ要素２１１を加工して、アレイ形状金型２１０の全体に対する偏心誤差および理想形状からの形状誤差を計測し、当該偏心誤差および形状誤差が許容値以下になるように加工データを修正し、その後、修正された加工データによって他の全てのアレイ要素２１１を加工する。これにより個々のアレイ要素２１１の形状誤差は許容値内に収まり、配列ピッチの誤差は、加工機の位置決め精度の水準で維持され、高精度のアレイ要素２１１を有するアレイ形状金型２１０を製作することができる。 （もっと読む）

【課題】トロリ線の支持点位置を正確に且つ簡単に検出できる手段を提供する。
【解決手段】検測車が収集する各種検測データが入力される入力部と、入力部から送られる各種データ及び所要のパラメータファイルに基づきトロリ線の支持点位置検出処理を行う処理部と、処理部の演算結果に基づき支持点位置を出力する出力部とを備える検出システムを構築する。トロリ線偏位の検測値変化曲線Ｋにおいて支持点位置を含む検出範囲Ｒを設定し、検出範囲Ｒの始端側の検測値変化曲線Ｋ上の点Ｓと終端側の点Ｔとを結ぶ補完直線Ｌを求める。検測値変化曲線Ｋと補完直線Ｌとの軌道中心線Ｃに対し垂直な方向の距離Ｄ_Ｐを算出し、この値Ｄ_Ｐが最大値Ｄ_Ｕとなる距離程を求める。検測値変化曲線Ｋは支持点位置で頂点Ｕを形成するから、距離Ｄ_Ｐが最大値Ｄ_Ｕとなる位置の距離程Ｘ_Ｕとして支持点位置の距離程が求められる。 （もっと読む）

【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価装置を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価装置１１は、圧電体薄膜３１の測定面に接触させる試料固定治具２０の上方に備えられたプローブ１３と、プローブ１３にレーザー光３４を照射する光源１６と、プローブ１３のたわみによって変位した反射光レーザー３５を受光する位置検出素子１７と、位置検出素子１７によって受光した反射光レーザー３５のずれ量から変位量を算出する位置検出信号処理回路１８と、圧電体薄膜３１を固定する試料固定治具２０とを有する。圧電体薄膜３１は、試料固定治具２０によって、電界方向に対して交差する方向の測定面とプローブ１３（探針３３）とが直接接触することができる上面になるように固定される。 （もっと読む）

【課題】 短時間に、精度の高いＳＰＭ測定を行うことができる複合型顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブにより試料３表面を走査し物性値の力を検出し画像化可能にしたＳＰＭ６、試料３の表面形状の３次元情報を取得可能にしたＬＳＭを有し、ＬＳＭにより取得された３次元情報に基づいて制御部１１によりＳＰＭ６の走査軌道情報を求め、該走査軌道情報に基づいてプローブの走査軌道を制御する。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーに対して垂直方向に高い探針を備える計測プローブ及びこのような探針を容易に形成することができる計測プローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】計測プローブ１は、導電性ポリマーを含むカンチレバー２と、カンチレバー２の固定端２ａが接続されてカンチレバー２を片持ち支持する基部３とを備えている。カンチレバー２は、固定端２ａが基部３に接続される一方、自由端２ｂがカンチレバー２の軸線方向及び面内方向に対して垂直方向のそれぞれに対して先鋭に形成されている。カンチレバー２の固定端２ａと自由端２ｂとの間には湾曲部（曲げ部）２Ａが配されており、固定端２ａ側の面内方向に対して自由端２ｂ側が垂直方向に曲げられて探針５となっている。 （もっと読む）

【課題】 アスペクト比の高い凹凸を有する試料の表面形状を感度良く観察することが可能であるとともに、試料の電気特性を検出することが可能であるプローブを提供する。
【解決手段】 プローブ２０は、先端部２１ａが先鋭化されるとともに基端部２１ｂが略棒状に形成され、導電性を有し、試料上を走査される探針２１と、探針２１が先端部２２ａに突出して設けられるとともに、探針２１と電気的に接続される配線２９が配設されたカンチレバー２２と、カンチレバー２２の基端部２２ｂを、先端部２２ａが自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２３とを備えている。探針２１の基端部２１ｂの断面形状は、中空部３０を有する略Ｃ形で、プローブ２２の中心軸２２ｄに対して略線対称となっている。 （もっと読む）

【課題】 測定対象ベルトの平面度を精度良く測定する。
【解決手段】 互いに平行となるように所定間隔をもって配置された一対の円柱状部材と、前記一対の円柱状部材に架け渡された測定対象ベルトの平面度を測定する測定手段と、前記測定手段による平面度測定前に、前記測定対象ベルトが搭載される被搭載装置に該測定対象ベルトが搭載された時に該測定対象ベルトに作用する予め定められた規定荷重に、該規定荷重との合計荷重が該測定対象ベルトの破損限界荷重未満となるような追加荷重を加えた合計荷重を、前記一対の円柱状部材の少なくとも一方を介して該測定対象ベルトの長手方向に加えた後に、該合計荷重から前記追加荷重を除いた前記規定荷重を前記測定対象ベルトの長手方向に加える張架手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一台でキメ深さやＩＲＩを測定できる多機能の路面性状測定装置であって安価かつ高精度なものを車載可能とすべく、移動距離計の測定値からタイヤ変形等の悪影響が取り除かれるようにする
【解決手段】車両に移動距離計１５と高さ計１６と高さ計５１と演算部２０とを搭載する。高さ計１６，５１には、排水用凹部の開口幅より短い第一基準長Ｎに対応した狭い範囲を測定するものを、採用する。演算部２０は、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋ，Ｊとに基づき踏面算出を行って第二基準長Ｍ対応のＩＲＩを算出し、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋとに基づき踏面算出を行わないで第一基準長Ｎ対応のキメ深さ等を算出し、更に基準長Ｍだけ離れた高さ計１６，５１での路面形状について相関を算出して選択的に移動距離測定値ΔＳを校正する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜の表面状態の特性を的確に評価することのできる薄膜特性評価装置及び薄膜特性評価方法を提供すること。
【解決手段】 複数の結晶を含む薄膜の表面において、前記複数の結晶の各々の頂点及び隣りの結晶との境界の位置を示す情報に基いて、前記各結晶の前記境界を前記薄膜の表面と平行であり且つ前記結晶の底面を含む平面である基準平面、に投影させて得られる図形の重心を求める重心計算部と、前記重心と前記頂点とを結ぶ重心−頂点直線が、前記重心を含み前記基準平面に垂直な直線である垂直線と成す角度である結晶傾斜角を算出する結晶傾斜角計算部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】
ＦＭレーザレーダ装置等使用して計測対象物の周囲を移動している間でも電源ライン及び信号ラインを遮断することなく常に接続される形状計測装置用搬送設備。
【解決手段】
第一台車コネクタユニットと第二台車コネクタユニットとを設置した搬送台車と、計測対象物の一方の側に敷設した第一レールと、第一レールの走行方向に対して交わる方向に走行するように敷設した第二レールと、第二レールの端部で第一レール側に設置した第一コネクタユニット架台と、第二レールを走行すると共に第二台車コネクタユニットと接続される補助台車コネクタユニットを設置した補助台車と、電源ラインと信号ラインが接続された固定側の第一中継コネクタと、第一中継コネクタに接続された第一ケーブルと、第一ケーブルに接続された第一ケーブルコネクタと、第一中継コネクタと補助台車コネクタユニットとに接続された第二ケーブルとを備える。 （もっと読む）

【課題】 本体部を確実に固定して、カンチレバーの振動状態に影響を与えないこと。
【解決手段】 先端に探針３を有すると共に基端側が平板状の本体部４に片持ち状態に支持されたカンチレバー５を、着脱自在に固定するものであって、本体部４を所定位置に位置決めした状態で載置する載置部１１を有するベース部材１２と、本体部４を載置部１１に載置した状態で該本体部４の表面４ａに少なくとも接触可能とされ、カンチレバー５の長手方向（軸線Ａ方向）に略直交する方向に延びた押さえ部材１３と、該押さえ部材１３の両端をベース部材１２に向けて所定の圧力で押圧し、押さえ部材１３を介して本体部４を載置部１１に固定すると共に、押圧を解いて押さえ部材１３を本体部４の表面４ａから離間可能な押圧手段１４とを備え、押さえ部材１３が、樹脂性材料から形成されているカンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】上金型と下金型との協働によってワークの曲げ加工を行う曲げ加工機におけるワークの曲げ角度検出装置において、ワークの曲げ角度を精度よく測定することができるワークの曲げ角度検出装置を提供する。
【解決手段】上金型Ｐと下金型Ｄとの協働によってワークＷの曲げ加工を行う曲げ加工機１に用いるワークＷの曲げ角度検出装置２において、筐体９を備えこの筐体９が前記下金型Ｄの被接触部に接触し固定された状態で、前記ワークＷの曲げ角度を検出可能な検出器本体３を有する。 （もっと読む）