【課題】単孔用ツールと複孔用ツールを併用し、多数の箇所を最短時間又はこれに近い短時間で検査することができる多点検査装置と方法を提供する。
【解決手段】単孔用ツール１４ａと、複孔用ツール１４ｂと、ツールのいずれかを孔２に対して位置決めする位置決め装置１２と、各孔２の中心位置と干渉物４の位置とを記憶する記憶装置１８とを備える。（Ａ）各孔２の中心位置と干渉物位置を表示し、（Ｂ）指定した孔２の検査順が干渉物位置を通過する場合に、その前後を別の列として扱い、（Ｃ）検査順の各列に含まれる孔数ｍが、複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔数ｋより小さい場合に、単孔用ツール１４ａの使用と、検査順に基づく孔２の順を決定し、（Ｄ）ｍ≧ｋの場合に、複孔用ツール１４ｂの使用と、検査順に基づくｋ個毎の孔２の順を決定し、かつｋより少ない最後の１又は複数の孔を複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔を決定する。 （もっと読む）

【課題】三次元計測器によって計測した点群データから計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを生成する。
【解決手段】計測点群データに基づいて計測対象物の表面形状を表すサーフェイスを陰関数として作成する工程と、サーフェイスが存在する計測領域全体を三次元ドロネー図による分割処理により隙間なく、重複なく埋め尽くされた四面体の小領域（以下、セルという）に分割する工程と、セルの各頂点をサーフェイスの内側に存在する内点５と、外側に存在する外点６とに分類する工程と、境界セルを抽出する工程と、境界セルとサーフェイスとの交点７を計算する工程と、各境界セルが持つ交点７を繋ぎ合わせることにより三角形又は四角形の面を求める工程と、全ての面を結合する工程とを含むので、計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを自動的に作成することができる。 （もっと読む）

【課題】計測器を別途使用しなくても、工作物測定用の測定ヘッドが本来有している測定機能を有効利用して測定ヘッドの３次元オフセットを取得して、測定ヘッドで工作物を測定する工作物測定方法を提供する。
【解決手段】工作機械に取付けられた測定ヘッド１０を所定角度旋回させて基準球３０を第１の方向Ｅ1と第２の方向Ｅ2から測定することによって、基準球における中心点Ａ1の座標を取得する。測定ヘッドが基準球の中心点を第１の方向から測定したときの測定ヘッドの第１の機械座標と、測定ヘッドが基準球の中心点を第２の方向から測定したときの測定ヘッドの第２の機械座標とに基づいて、測定ヘッドの３次元オフセットを取得する。その後、測定ヘッドの３次元オフセットを使用して、工作物を測定ヘッドで測定する。 （もっと読む）

【課題】プローブを用いて、容易かつ高精度に被検物の表面形状を測定することができる表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】プローブと被検物とを相対移動させることにより、被検物の表面形状を測定する表面形状測定方法は、被検物の第１の領域の第１表面形状データを取得する第１取得工程と、第１表面形状データと少なくとも一部が重複する被検物の第２の領域の第２表面形状データを取得する第２取得工程と、第１表面形状データのうち、第２表面形状データと重複する領域のデータに対して、近似関数による当てはめを行って近似曲線を取得する近似曲線取得工程Ｓ２０と、近似曲線を用いて第２表面形状データの補正量を算出する補正量算出工程Ｓ３０と、算出された補正量に基づいて、第２表面形状データ全体を座標変換する座標変換工程Ｓ４０と、第１表面形状データと、座標変換が行われた第２表面形状データとを統合する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 生産現場においても、短時間で自動的にころの輪郭形状を精度良く測定し、形状評価が行える輪郭形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定物支持手段１により支持されたころＷに対し、センサ移動機構４によりセンサ３を軸方向および垂直方向に移動させ、センサ３の先端の測定子２をころＷに接触させる。測定動作制御手段はセンサ移動機構４に一連の測定動作を行わせ、測定値記憶手段はころＷの軸方向複数箇所のセンサ３の測定値を記憶する。判定手段は、測定値記憶手段に記憶されたころＷの測定結果と、前記寸法データとを比較する。 （もっと読む）

【課題】評価対象の金属板の面歪みを直接的、定量的に評価できるようにする。
【解決手段】測定装置２００により取得された金属板１の表面形状の計測値を入力とし、補間部１０２において、測定装置２００による計測値を直交格子状に補間した上で、ガウス曲率計算部１０３において、直交格子点上の値、すなわち測定装置２００による計測値が直交格子点上にあればその計測値、測定装置２００による計測値が直交格子点上になければ補間計算値を用いてガウス曲率を計算する。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）と、保護手段に供給されるクリーンエアーの浄化を行う集塵手段４４を備える。 （もっと読む）

【要 約】
【課 題】 極薄金属帯の形状を精度良く測定する形状測定装置を提供する
【解決手段】 金属帯を垂直方向に搬送する搬送手段と、金属帯に付加される張力を制御する張力制御手段と、非接触式距離計を金属帯の長手方向に走査させる距離計走査手段と、非接触式距離計によって得られた測定データから金属帯の形状指標を演算する演算手段と、を有する金属帯の形状測定装置。 （もっと読む）

座標測定装置(10)はハウジング(12)を有し、ハウジングは台(11)上に回転可能に支持され、水平方向並進アーム(15)と係合するキャリッジ(14)を乗せる垂直ピラー(13)が取付けられている。アームの各端のタレット(18、19)が、プローブ(22、23)に接続された回転体(20、21)を収容する。台の回転、キャリッジの垂直運動、アームの水平運動、及びプローブの回転が、ハウジング内のモータ(27、28、29、30)によって駆動される。モータの回転は、ケーブル及びプーリ組立体によってアームとキャリッジに伝達される。アームの横方向動作を制御するケーブル(43)は、キャリッジがピラーに沿って上下に移動する際にケーブルの一定長さ及び張力を維持するために、両端がアーム両端に位置する先端(16、17)に取り付けられ、キャリッジ上側及び下側に位置するピラーの部分に沿って上方及び下方に延在する。プローブを測定表面に対し一定角度で維持するようプローブの回転と基部の回転が協調される。
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【課題】
内外からの振動がプリント板へ伝達されるのを防ぎつつ、センサの測定精度を向上させることで、繰り返し安定して保持可能としプリント板に印刷されたはんだの形状を測定する技術を提供する。
【解決手段】
プリント板１が検査位置まで搬送されてきたとき前記プリント板の辺縁部１ａの下面を下から上へ押し上げることによって、前記辺縁部の上面をガイド部３の突出部３ａの下辺に押圧して位置を固定して支持するクランプ６とを備え、該クランプで支持された状態でプリント板に印刷されたはんだの形状を検査する印刷はんだ検査装置であって、
前記クランプ部が前記プリント板を押し上げるときに、該プリント板の辺縁部の下面と前記クランプ部との間に存する弾性体ベルト５諸共押し上げることで、前記辺縁部の下面を前記弾性体ベルトで押圧し前記プリント板を固定して支持することを特徴とする印刷はんだ検査装置。 （もっと読む）

【課題】被測定物が非球面形状であっても、極めて高精度に測定データを取得することができる三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸方向に駆動される移動体においてＺ軸方向に移動自在に支持されたプローブを、被測定物の測定面に、所定の経路に沿って走査させて前記被測定物の形状を測定する三次元形状測定方法であって、測定時にＸ−Ｙ方向に移動する移動体の移動量を基準として測定データを取得するサンプリングピッチを、被測定物の既得形状情報から得られる走査上の各位置における被測定物の測定面の法線方向に引いた直線と、被測定物の中心線と、が交わる点を中心として、前記表面上の位置で被測定物の表面形状と接する円を近似円とし、その近似円の半径から算出する。これにより、被測定物の表面形状に沿う方向に対して一定のピッチで測定データを取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】平面基板の形状測定時に、被測定基板の下端面形状の影響を低減し被測定基板に発生する平面の反りを低減させる支持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】平面基板Ｐの形状測定において、前記平面基板Ｐの下端面２７を支持することにより前記平面基板Ｐを垂直状態に位置決めする支持部材１７であって、上方に凸型形状からなる断面と、該断面が一方向に延在する湾曲面形状１７ｂと、を備え、前記支持部材１７に設けられた湾曲面形状１７ｂの稜線部と、前記平面基板Ｐの下端面２７の板厚方向略中央部が当接するように載置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、装置構成を簡素化かつ低コストとすると共に、操作を容易にする。
【解決手段】被測定物である薄板ｇの表面形状測定装置において、基台１０上に薄板を垂直に保持する垂直保持機構２０と、薄板ｇを挟んで平行に配置された一対の固定レール４１と、該一対の固定レール間に架設され薄板ｇを挟み薄板表面に対して一定の間隔をもって平行に配置された一対のスライド軸５１、及び該スライド軸を該固定レールに沿って移動させる駆動装置４５と、変位センサ３２ａ〜ｂが装着され該スライド軸に沿って夫々移動可能に配置された一対の測定台３１、及び該測定台の駆動装置と、該スライド軸の両端部に架設され該スライド軸を連結し該スライド軸間の間隔を位置決めする連結部材５２とからなり、該スライド軸と該連結部材とによって略矩形形状とし、薄板ｇの両面の形状を同時に測定可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡を用いた、寸法精度の高いマスクパターン修正方法を提供すること。
【解決手段】マスクパターン修正方法は、マスクパターン５のパターンエッジに黒欠陥が存在しない第１の部分の３次元情報を走査型プローブ顕微鏡を用いて取得するステップと、前記３次元情報に基づいてマスクパターン１のパターンエッジに黒欠陥２が存在する第２の部分を前記走査型プローブ顕微鏡のプローブを用いて修正を行うステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な測定を行うことのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】測定時において、ワーク２０に対して位置及び姿勢が変化しないように保持された基準部材１２と、該ワーク２０表面を走査しながら、該ワーク２０表面の凹凸に応じて上下方向に変位するスタイラス１４と、該スタイラス１４の特定部位３６の変位を該基準部材１２との比較において測定する変位計１６と、該スタイラス１４を該ワーク２０表面に沿って走査させる走査手段１８と、を備え、該基準部材１２は該走査によっても該ワーク２０に対する位置及び姿勢が変化せず、該スタイラス１４の特定部位３６の上下方向への変位を該基準部材１２を基準にして測定し、該測定されたスタイラス１４の特定部位３６の変位に基づき該ワーク２０の微細な形状を把握することを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】 プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供する。
【解決手段】 定盤面の基準平面からの変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし凹凸を反転した等高線データを得て、その各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得て、各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように積層接着し立体補正シートを得て、定盤面と立体面とが対向しかつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置するようにした定盤面精度補正方法とその補正のための立体補正シート。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ取付具の幾何学的データを自動的に決定することができる方法および装置を作り出すための解決法を提供する。
【解決手段】ワイヤ取付具の非接触走査のためのこの方法において、ワイヤ取付具は、第１距離センサ１４によって、かつ第２距離センサ１５によって走査される。第１距離センサ１４は、ワイヤ取付具を、この場合はクリンプコンタクト１の導体クリンプ３を、複数回、下から非接触的に走査する目的を果たす。第２距離センサ１５は、クリンプコンタクト１の導体クリンプ３を、上から非接触的に走査する目的を果たす。関連するｘ、ｙ軸を備える測定値から、ワイヤ取付具の幾何学的データが決定される。 （もっと読む）

【課題】 測定子が軽い力で動くと共に、装置構成を複雑化することなく、高速な測定を可能にする。
【解決手段】 眼鏡枠保持部と、回転支基と、回転支基に配置された測定子とを備え、回転支基を回転させ、測定子の動径方向及び高さ方向の移動を検知して眼鏡枠の三次元形状を測定する。スリット板を測定子と一体的に配置し、光を発する発光部と受光する画素を選択可能な２次元センサとを持つ投光受光ユニットを回転支基に配置する。２次元センサは、受光する画素が選択的に設定された平行でない第１受光ラインと第２受光ラインを持ち、スリット板は第１受光ラインに対して平行でない第１スリットと第２受光ラインに対して平行でない第２スリットとを持ち、第１受光ライン及び第２受光ラインでそれぞれ検出される第１スリット及び第２スリットの投影位置に基づいて測定子の動径方向及び高さ方向の移動位置を検知する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の段差が大きいような場合でも面位置の検出精度の低下を防止できるようにした露光処理方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ウエーハの表面上に塗布されたフォトレジストにスキャン露光を行う際に、ウエーハの表面を走査して当該ウエーハ表面の面位置データを取得する（ステップＡ１）。また、ウエーハ表面の段差部の位置及びその大きさに関する段差情報をＣＡＤデータや膜厚設計値等から取得する（ステップＡ２）。次に、取得した段差情報に基づいて面位置データを補正し（ステップＡ３）、補正された面位置データに基づいてウエーハ表面の面位置を調整する（ステップＡ４）。そして、面位置が調整されたウエーハ表面上のフォトレジストに露光処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、高い感度のトンネル電流検出部でトンネル電流を検出すると、探針−試料間に生じる浮遊容量による影響も大きく増幅されてしまい、測定結果が補正しきれない悪影響を受けてしまうという点である。
【解決手段】 試料に対向した探針と前記試料の間隔を固定した状態で、前記探針と前記試料間に印加するバイアス電圧を走引し、前記探針と前記試料間に流れるトンネル電流を検出して前記試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピー装置において、前記バイアス電圧の極性を反転して増幅し、それを微分した信号を前記トンネル電流に加算して、前記探針と前記試料間に生じる浮遊容量による影響を打ち消すよう構成したことを特徴としたトンネルスペクトロスコピー装置。 （もっと読む）