【課題】変位検出装置用スケールの累積変位量誤差を低減する変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置は、複数のマークを備えたスケール１１５と、マーク１１０の位置を検出する第１の位置検出センサ１１１及び第２の位置検出センサ１１２と、第１の位置検出センサ１１１及び第２の位置検出センサ１１２からの出力信号を演算処理する処理部と４０９を有し、第１の位置検出センサ１１１及び第２の位置検出センサ１１２は、スケール１１５に対し相対移動可能であるように相対移動方向に互いに距離Ｌだけ離れて配置され、処理部４０９は、距離Ｌ、複数のマークのうちＫ個のマークが第１の位置検出センサ１１１による検出位置を通過するのに必要な第１の時間Ｔ_ＰＫ、及び、第１の時間と同時に計測された、複数のマーク１１０のうち特定のマークが距離Ｌを移動するのに必要な第２の時間Ｔ_Ｌを用いてマーク１１０のマークピッチＰの補正値Ｐ’を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ロータリィトランスコイルを用いることなく、軸心方向の長さを短くした回転角センサを提供すること。
【解決手段】 励磁信号が入力される励磁コイル２３と検出信号を出力する検出コイル（正弦波コイル２１と余弦波コイル２２）とを備えるレゾルバステータ１３と、ステータ１３に対向した位置にあって回転するレゾルバロータ１２と、を有する回転角センサにおいて、レゾルバステータ１３がステータ平板上に形成されていること、レゾルバロータ１２が平板状のロータ平板であること、ステータ平板とロータ平板とが平行に対向していること、ロータ平板に、切欠部１２ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドの個数を最少限にとどめながら、高次成分まで周波数成分の抜けがない、精度の高い校正値を得る。
【解決手段】目盛り盤の周囲に等間隔に配置される第１センサヘッドと、該第１センサヘッドの１つの位置に、第１センサヘッドに換えて配置した第２センサヘッドとからなり、第２センサヘッドと各第１センサヘッドとの計測差を求めて平均値を得ることにより自己校正を行う自己校正機能付き角度検出器において、第１センサヘッド及び第２センサヘッドを、等間隔にＬ個配置した第１の組と、等間隔にＭ個配置した第２の組で校正し、第２の組により求めた校正値を、目盛り盤に設けられた全目盛りの数をＰとしたとき、ｊ*Ｐ／Ｌ（ｊ＝１〜Ｌ−１）目盛りずつ位相をずらせ、第２の組により求めた校正値と、シフトされた校正値との平均値を求め、該平均値を第１の組により求めた校正値とを加算して校正値として出力する。 （もっと読む）

【課題】自己校正機能付き角度検出器に軸ぶれ計測機能をも具備させる。
【解決手段】回転軸に固定した目盛り盤の周囲に等角度間隔に複数のセンサヘッドを配設し、該センサヘッドの一つを基準センサヘッドとして選択したとき、この基準センサヘッドと他のセンサヘッドのそれぞれとの計測差の和の平均値を自己校正値とした自己校正機能付き角度検出器において、基準センサヘッドとして選択するセンサヘッドを順次他のセンサヘッドに変更し、すべてのセンサヘッドについて、これを基準ヘッドとした場合の自己校正値をそれぞれ求め、各自己校正値を、特定のセンサヘッドとの配置上の角度分だけずらして、特定のセンサヘッドを基準ヘッドとした場合の自己校正値に位相を合わせる。位相変換したそれぞれの演算結果のすべてについての平均値を求め、位相変換したそれぞれの演算結果から、この平均値を減算し、非同期角度誤差のみを取り出す。 （もっと読む）