【課題】位置検出をテーブルの側端部で行うテーブル移動装置において、テーブル中央部の移動動作中の位置をリアルタイムで出力することである。
【解決手段】テーブル移動装置１０は、ガントリ型テーブル２２を移動駆動する機構部分であるテーブル機構１１と、制御部３０とを含む。制御部３０は、左右エンコーダ１６，１７の位置検出に基づいてガントリ型テーブル２２を所望の位置に移動駆動する制御を行う機能を有する。またガントリ型テーブル２２が移動動作中におけるガントリ型テーブル２２の中央部に搭載される測定器２４の位置とエンコーダ１６が検出するガントリ型テーブル２２の一方端部の位置との偏差である移動位置偏差を予め求め、分岐部３８からエンコーダ１６の検出パルスの供給を受け、エンコーダ１６の検出信号に対応する測定器２４の移動中の位置を出力する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部が、搭載されたミラーのサイズを超えてプラテン上を移動する場合でも、複数のレーザ干渉計を切り換える必要がないＸＹステージを実現する。
【解決手段】 ミラーを搭載したスライダ部をプラテン上で２次元的に位置決め制御するＸＹステージにおいて、
前記プラテンの一辺に沿って移動するマザーステージと、
前記プラテンの所定位置を基準点とした前記マザーステージの位置である第１位置を計測する計測手段と、
このマザーステージに搭載され、前記スライダ部のミラーに照射したレーザ光の反射光を受光し、前記マザーステージを基準点とした前記スライダ部の位置である第２位置を計測するレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 レーザ干渉計自身に初期位置回転の検出機能を持たせ、スライダ部の回転方向及び回転角度を自動的に検出することを可能とするＸＹステージを実現する。
【解決手段】 レーザ干渉計とこのレーザ干渉計の照射ビームを反射するバーミラーを有し、スライダ部の移動に応じて前記レーザ干渉計と前記バーミラーが相対的に移動し、前記レーザ干渉計により位置が検出される前記スライダ部をプラテン上で２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーの反射ビームを検出し、検出した反射ビームから前記スライダ部の回転を検出する回転検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 バーミラーのサイズに制限を受けることなく、複数のスライダ部を同一プラテン上の任意位置に位置制御できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で四辺形のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部の四辺の少なくとも三辺に設けられたバーミラーと、
前記プラテンの四辺の少なくとも二辺に沿って固定配置され、前記バーミラーに照射したレーザビームの反射光を受光する複数個のレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）

一実施例によれば、線形平行移動ステージが提供される。前記線形平行移動ステージは、互いに対する相対平行移動のために構成された第１の部分（例えば、基盤部分）および第２の部分（例えば、ステージ部分）を含む。前記第１の部分または前記第２の部分のうちの一方は、それに関連するコイルを有し、前記第１の部分または前記第２の部分のうちのもう一方はそれに関連する磁気源を有する。前記磁気源は、電流が前記コイルを介して前記コイルに与える力を発生させ、それによって前記第２の部分に関連して前記第１の部分を平行移動させるように、一般的に前記コイルを包含する磁場を生成するために１つ以上の磁石を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】 原点復帰時のスライダ部同士の衝突を防止し、レーザ干渉計のつなぎ箇所にて発生する累積検出誤差をキャンセルする機能を備えたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で２個のスライダ部を夫々２次元方向に位置制御するにＸＹステージにおいて、
前記四辺形の対角点位置又は一辺の両端位置に、前記スライダ部の夫々に対応する原点位置検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】
簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
移動部材３は、定盤１上に配置されたガイドレール２、２に沿って移動可能なスライダ３ｄ、３ｄを取り付けた第１の脚部３ａと、定盤１に対して非接触状態で支持された第２の脚部３ｂとにより支持されているので、移動に際しての抵抗が少なく、リニアモータ５に大きな駆動力を必要としないためコンパクトな構成とできる。又、スライダ３ｄ、３ｄは、静圧軸受に比べ一般的に剛性や負荷容量が高い代わりに駆動抵抗が大きいという特徴があるので、スライダ３ｄ、３ｄ側をリニアモータ５によって駆動することにより、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ、ロストモーションを抑えることで高精度な位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】小型、低価格、かつ高応答性のＸＹθテーブルを提供する。
【解決手段】ＸＹθテーブルが、載置台と、載置台のＸ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＸ軸バーと、それぞれのＸ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｘ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＸ軸バー支持ステータと、載置台のＸ軸方向に直交するＹ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＹ軸バーと、それぞれのＹ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｙ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＹ軸バー支持ステータとを備える。 （もっと読む）

【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 電子回路によるサーボ手段を用いないでヨーイングを抑制できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】 スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御するＸＹステージにおいて、 前記スライダ部に搭載されたジャイロ手段を備える。前記ジャイロ手段は回転軸がＸ軸方向又はＹ軸方向に平行に配置され、前記スライダ部のＸ軸方向又はＹ軸方向のヨーイングを抑制することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部のピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸モータ及びＹ軸モータによりスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部のＸ方向ピッチング角を検出する第１のＺ軸センサと、
前記スライダ部のＹ方向ローリング角を検出する第２のＺ軸センサと、
前記第１及び第２のＺ軸センサの測定値に基づき、前記Ｘ軸モータ又はＹ軸モータの少なくともいずれかの励磁電流にこれと位相が直交する電流を重畳させる直交電流生成手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 安価で耐環境性に優れたＸＹ位置検出器で構成でき、ＸＹスライダの可動範囲に制約を受けず複数台のＸＹスライダを駆動できるＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】 直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って格子状に形成されたプラテン１００と、プラテン１００とギャップを介して対向配置されたＸＹスライダ１と、ＸＹスライダ１をＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、より構成されるＸＹ位置決め装置において、プラテン１００上に配置され、Ｘ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケール１０４と、ＸＹスライダ１に配置され、ＸＹスケール１０４の目盛を検出するＸＹ位置検出器８とよりなる平面エンコーダを備え、ＸＹ位置検出器より得られたＸ軸位置とＹ軸位置の位置情報をもとにＸＹスライダの位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】リニア駆動方式の精密位置決めシステムで、リニアステージに搭載する装置の大きさや取付け位置を変更しても高性能を安定して実現することを目的としている。
【解決手段】リニアステージに搭載するワークの取付け位置と質量に応じて、リニアモータのマグネットヨーク取付け位置を移動方向に対して直角方向にスライド調整して固定することでヨーイングを抑え、可動部に垂直方向にスライドして固定できる釣合い錘を取付けることでピッチングを抑え、両方を調整することで可動部に搭載するワークが変わっても推力位置と重心位置を常に一致させることができる構造とした。 （もっと読む）