【課題】試料移動ステージをスライドさせて生じるスライドの変形が試料テーブルに伝達されることを防止する試料移動ステージに関する。
【解決手段】ベースフレームに取り付けられ第１のガイドブロックに沿って移動する第１のスライド、および前記第１のスライドに取り付けられかつ第２のガイドブロックに沿って移動する第２のスライドが相互横断方向に取り付けられる可動部と、前記第２のスライドに形成されたひずみメカニズムモジュール５０を仲介して取り付けられた試料テーブルによって試料を移動させる。前記ひずみメカニズム５０は、上下方向に沿って一定間隔で上記第２のスライドの上面を規則的に貫通する多数の緩衝孔５３と、前記緩衝孔５３の中心に当たるように切断され、かつ上記試料テーブルが取り付けられるブリッジ部５６および取付部５２の変形空間を提供する多数の変形ライン５４とからなり、スライドによる変形が試料テーブルに伝達されない。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御を行うことが可能なステージ装置の設計方法、ステージ装置の製造方法、露光装置の製造方法、およびステージ装置を提供する。
【解決手段】ＸステージとＸステージ上を移動するＹステージとを含む力学系の伝達関数を求め、求めた伝達関数の零点の実部が負の値となるように、Ｙステージの質量またはＹステージの重心まわりの慣性モーメントを決定する。 （もっと読む）

【課題】 ２軸で構成される平面内の任意の位置に、０．１ｎｍ以下の精度でステージを高速に位置決めするときに、X軸及びY軸方向の推力によってステージがθ軸周りの回転モーメントを作用させない機構を備えた位置決め機構を提供する。
【解決手段】 推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介してＸ軸方向に伝達する第１のアクチュエータ３と、同じく推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に伝達する第２のアクチュエータ４とをベース２の同一平面内に取り付けると共に、これら第１のアクチュエータ３の推力伝達部１３ｘと、第２のアクチュエータ４の推力伝達部１３ｙとに平行リンク構造をなす第１のリンク機構６及び第２のリンク機構７を介して移動体となるステージ５を連結した構成である。また、ステージ５は、弾性支持機構となる弾性バネ機構８ａ等を介してベース２に浮動状態で支持している。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルのオーダの精密度が要求される鉛直方向超精密位置決め装置に対応し得る重力補償機構を提供する。
【解決手段】重力補償機構は真空シリンダ作動器１０と、真空ポンプ１４とを具備する。真空シリンダ作動器は、真空ポンプ１４と連通させられた真空シリンダ１０Ａと、この真空シリンダの一端面側に設けられた非接触シールリング１０Ｂと、この非接触シールリングに挿通させられたピストン１０Ｃとから成り、ピストンに鉛直方向下向きに及ぼされる荷重が真空ポンプの作動により補償させられる。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】患者配置システム用の単純及びコンパクトで信頼性、実用性及び費用効率の高い駆動システムを提供する。
【解決手段】支持テーブルを第一の方向に移動させるように構成されている第一の駆動アセンブリ（８０５）と、支持テーブルを第二の方向に移動させるように構成されている第二の駆動アセンブリ（８１０）と、第一の駆動アセンブリ（８０５）及び第二の駆動アセンブリ（８１０）に結合されている駆動モータ（８１５）とを含むテーブル駆動システム（８００）を提供する。駆動モータ（８１５）は、第一の駆動アセンブリ（８０５）及び前記第二の駆動アセンブリ（８１０）を駆動するように構成される。 （もっと読む）

【課題】被調整面の角度調整を行う角度調整装置において、応答性が良く、演算が簡単で回路構成を簡単にして安価に構成することができるようにする。
【解決手段】入力信号に応答して作動し、被調整面１０に力を印加する３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃと、被調整面１０の変位を検出する３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃと、を備えており、３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃは、３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃのうちの１つのアクチュエータが作動したときに、２つの変位検出装置はその力の印加に対する打撃中心軸上に配置され、残りの１つの変位検出装置のみが該打撃中心軸上以外の位置に配置される関係となるように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】移動体計測用干渉計の測定精度を向上させること。
【解決手段】ステージ装置１０１は、ステージ１０の位置又は姿勢を計測するＸ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３と、Ｘ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３のレーザビームの波長変化を補償する波長補償器１と、温度制御された気体を供給する温調器１２に接続され、Ｘ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｘ、１４ｙと、温調器１２に接続され、波長補償器１に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｃと、を備える。前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｘ、１４ｙを経由して温調器１２からＸ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に到達するまでの時間と、前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｃを経由して温調器１２から波長補償器１に到達するまでの時間と、は同一である。 （もっと読む）

【課題】ビームの自重による撓みを、コア付きリニアモータに発生する吸引力で抑制し得る構成を採用し、ビーム形状の小型化や単純形状化を図り、コストを抑えた位置決め装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール８と、該ガイドレールに沿って移動可能なスライダ９とで構成される一対の直動案内装置Ｇと、上面にガイドレールを平行に延設した固定部Ａと、固定部の上面と上下方向で対向する面部所定位置にスライダを備えた移動部Ｂと、固定子１０と可動子１１で構成される平行な一対のコア付きリニアモータＭを備え、移動部が、可動子に跨って掛け渡されるビーム１４を有する門型形状である位置決め装置において、リニアモータは、ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、直動案内装置とオフセットして配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ステージの移動に伴う反力を質量体を駆動して軽減させつつ、質量体の移動ストロークの縮小を図る。
【解決手段】 質量体を駆動する慣性力付与機構を有する位置決め装置であって、慣性力付与機構は、ステージの移動に伴って発生する反力を軽減するための信号を生成して出力する反力補償制御系と、質量体の位置を計測する位置計測手段の出力に基づいて、蓄積された複数の質量体の相対距離を低減するための信号を生成して出力する位置補償制御系と、位置補償制御系の出力の一部を選択して出力する選択手段とを備え、選択手段の出力に基づいて質量体の駆動が制御される。 （もっと読む）

【課題】 小型のリニアステージに搭載することが可能な大きさであって、管路やコード類の引き回しや屈曲による周辺設備との干渉、更には、移動ステージの駆動抵抗の変動や其れに伴う位置決め精度の劣化といった問題を生じることのないリニアステージ用現位置保持機構を提供すること。
【解決手段】 移動ステージ３をベースプレート４に固定するために必要とされるローラ１４，１４および付勢手段としての板バネ１５ならびにロック解除部材１６とアクチュエータ２４をベースプレート４側に纏めて配備することで、アクチュエータ２４に電力を供給するコード類の引き回しや屈曲による周辺設備との干渉を防止し、駆動抵抗の変動に伴う位置決め精度の劣化を解消する。 （もっと読む）

【課題】リニアテーブルを構成する可動テーブルの駆動・制御をするための制御アンプをリニアテーブル外に設置すると、所定装置への組み込みに時間がかかっていた。
【解決手段】本発明のリニアテーブルは、エンコーダとリニアモータとを併設した可動テーブルと、可動テーブルの直下に制御アンプを一体化して配置した構造である。
本発明のリニアテーブルは、上記のような構成にすることでリニアテーブルの所定装置への組込み時間の迅速を図るとともに省配線化を実現する。 （もっと読む）

【課題】 電装系によらない衝突防止機能を備えた平面位置決め装置を実現する。
【解決手段】 平板状のプラテンと、その上面をＸ軸方向及びＹ軸方向にスライドして位置制御されるスライダよりなる平面位置決め装置において、
前記スライダを前記プラテンのＸ軸またはＹ軸方向の端縁部に拘束し、その端縁部に沿って移動可能に保持する磁気拘束手段を備える。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の駆動子と被駆動体との接触部における摩擦力変動の影響を軽減し、テーブルを安定して移動させるようにする。
【解決手段】電動テーブル装置は、移動テーブル４２を固定台１４に対して１軸方向に移動可能に支持するガイド４３及び４４と、移動テーブル４２に設けられ、移動テーブル４２の移動範囲と同等以上の長さを有する摺動板と、移動テーブル４２を移動させる、１つの圧電体と２つの駆動子とで構成された超音波振動子と、超音波振動子の２つの駆動子と摺動板とが一定の力で押圧されるように支持する押圧機構とを備え、その超音波振動子を複数個設けるようにする。 （もっと読む）

【課題】誤った欠陥検知または、検査感度の損失を引き起こすことのない基材支持の装置及び方法を提供する。
【解決手段】ステージミラー１１０に対する基材チャック１０６の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているＺステージアクチュエータ１２６及びＸＹステージアクチュエータ１４６、１４８のうちの一方又は両方を有する１つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。これに代えて、基材支持装置は、Ｚステージプレート1１２、ステージミラー１１０、Ｚステージプレートへ取り付けられている１つ以上のアクチュエータ、及びステージミラーへ取り付けられている基材チャックを含み得る。基材チャックは基材チャックの６つの運動自由度に対する拘束を有する。 （もっと読む）

【課題】 特別な治具等を用いてステージをプラテンから取り外すことなくエアベアリング面を清掃し、メンテナンス時間を大幅に短縮することを可能とした位置決め装置を実現する。
【解決手段】 エアベアリングを介してプラテン上に浮上するステージを位置制御する位置決め装置において、
前記プラテンの所定位置に、前記ステージ底部のエアベアリング面を洗浄する洗浄手段を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。
【解決手段】１以上の整流リニアモータであって、リニアモータは、ガイドレスステージを、１つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を保持するキャリア／従動子は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。ＶＣＭは、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージを微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素（つまり、コイル又は磁石）が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレームの上に設けられる。駆動フレームは、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。１つのリニアモータを使用する場合には、２つのＶＣＭを用いて、ヨー回転を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。ステージ３０は、Ｙ方向に移動するＹステージ３６と、Ｙ方向と直交するＸ方向に移動するＸステージ３８とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。そのため、一対のθリニアモータ７４は、コイルユニット７８に通電することによりピボット軸８０を中心とする偶力を発生させてθテーブル４０を側面からθｚ方向に回動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。また、θリニアモータ７４は、マグネットヨーク７６がθテーブル４０の側面と同一高さとなるように支持部７９により支持されており、且つ支持部７９が定盤２０より側方に離間した床面上に起立されているため、θテーブル４０をθｚ方向に回動させる際の反力が支持部７９を介して床面に伝播される。 （もっと読む）

【課題】自動的にスライダの回動状態を検出し、回動状態を所定の基準に対して自動的に修正復帰できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテンにスライダが配置されたＸＹステージにおいて、前記プラテンの一方の側面に設けられた補助台と、この補助台に設けられ前記プラテンの一方の側面に沿ってこの補助台を摺動するあるいは所定位置に固定される取り付け台と、この取り付け台と前記スライダとに設けられ前記スライダの回動を検出する回動検出手段と、前記スライダに設けられこの回転検出手段の信号に基づき前記スライダの回動を復帰させるスライダ回動復帰手段とを具備したことを特徴とするＸＹステージ。 （もっと読む）