【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）

【課題】試料保持台や探針を交換しながら走査プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制する。
【解決手段】探針と、走査ステージ４００とを有し、探針と走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、走査ステージは、試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を移動させるための駆動素子と、駆動素子を支持する駆動素子支持体４０２とを有し、駆動素子は、第１の駆動素子と、第２の駆動素子と、第３の駆動素子と、を含み、第１の駆動素子４０３の中央部に第２の駆動素子４０４の一端が接合され、該第２の駆動素子の中央に第３の駆動素子４０５の一端が接合され、第２の駆動素子の他端には釣合い重り部材４０９が接合され、走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】ベース及び移動体間の予圧力付与機構と、移動体のガイド機構との各々について小型化及び薄型化を実現し、ガイド性能の更なる高精度化を行える微小移動装置及び位置決め装置を提供する。
【解決手段】微小移動装置２ａが、一部に磁性体を含むベース３と、ベース３上面に形成されたほぼ直線状の溝からなる溝ガイド部１２と、溝ガイド部１２に平行に形成されたベース３上面よりも低い底面を有する平面ガイド部１１と、溝ガイド部１２内を摺動可能に設けられた第１のスペーサ８、９と、平面ガイド部１１内を摺動可能に設けられた第２のスペーサ１０と、第１のスペーサ８、９及び第２のスペーサ１０と固定されベース上面に設けられ、一部に磁性体を含む移動体５と、移動体５に衝撃力を付与することで移動体５をベース３面上で移動させる衝撃力発生手段と、移動体５とベース３とを相互に吸引させる磁力を発生する磁力発生手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】微動ステージ装置において、ステージの固有振動数を高くすることができる機構を提供する。
【解決手段】本発明の微動ステージ装置は、基体と、該基体に対して相対的に可動なステージと、該ステージを前記基体に対して弾性的に支持する弾性支持部材と、を有する。弾性支持部材は、前記ステージの移動方向に沿って伸縮するように配置され、前記ステージの移動方向に沿って延びる前記ステージの２つの側面の各々に沿って直列に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ２軸で構成される平面内の任意の位置に、０．１ｎｍ以下の精度でステージを高速に位置決めするときに、X軸及びY軸方向の推力によってステージがθ軸周りの回転モーメントを作用させない機構を備えた位置決め機構を提供する。
【解決手段】 推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介してＸ軸方向に伝達する第１のアクチュエータ３と、同じく推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に伝達する第２のアクチュエータ４とをベース２の同一平面内に取り付けると共に、これら第１のアクチュエータ３の推力伝達部１３ｘと、第２のアクチュエータ４の推力伝達部１３ｙとに平行リンク構造をなす第１のリンク機構６及び第２のリンク機構７を介して移動体となるステージ５を連結した構成である。また、ステージ５は、弾性支持機構となる弾性バネ機構８ａ等を介してベース２に浮動状態で支持している。 （もっと読む）

【課題】 ステージの駆動機構をシンプルな構成とする。
【解決手段】 ベース１５上の一端縁部寄り位置に、Ｘ方向スライドバー１６を設ける。Ｘ方向スライドバー１６に、摩擦駆動機構１８を備えたＸステージ１７を取り付ける。Ｘステージ１７のベース中央寄り端部に、Ｙ方向スライドバー１９の一端部を取り付ける。
Ｙ方向スライドバー１９に、摩擦駆動機構２１を備えたＹステージ２０を取り付けて、ＸＹステージ装置を形成する。Ｘステージ１７は、摩擦駆動機構１８によりＸ方向スライドバー１６に沿って駆動させ、Ｙステージ２０は、摩擦駆動機構２１によりＹ方向スライドバー１９に沿って駆動させる。 （もっと読む）

【課題】被調整面の角度調整を行う角度調整装置において、応答性が良く、演算が簡単で回路構成を簡単にして安価に構成することができるようにする。
【解決手段】入力信号に応答して作動し、被調整面１０に力を印加する３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃと、被調整面１０の変位を検出する３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃと、を備えており、３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃは、３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃのうちの１つのアクチュエータが作動したときに、２つの変位検出装置はその力の印加に対する打撃中心軸上に配置され、残りの１つの変位検出装置のみが該打撃中心軸上以外の位置に配置される関係となるように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】高速で走査を行っても振動の発生の少ない小型で軽量な駆動ステージと、該駆動ステージを有し、高速に鮮明な像を取得できるＳＰＭや、高速に情報の記録再生を行っても振動によるエラーの生じにくい情報記録再生装置や、高速に加工を行っても精度の低下しない加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体と、前記支持体に支持された少なくとも２つ以上の複数の可動部と、前記複数の可動部を駆動する１つ以上のアクチュエータからなる駆動ステージにおいて、
前記アクチュエータの駆動時に、前記複数のそれぞれの可動部の生じる慣性力が互いに相殺する方向に駆動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ステージと、低分解能ステージとを交換する手間を無くし、小型、軽量な位置決めステージと、この位置決めステージに使用される積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１００と、該積層型圧電素子に通電することによって前記積層型圧電素子に変位を発生させる電気回路１３０とを備えた積層型圧電アクチュエータ２００において、前記積層型圧電素子１００が電気的に絶縁された複数の小積層型圧電素子１１０，１２０に分割され、電気回路１３０が切替手段１４０を有し、該切替手段１４０により、前記複数個の小積層型圧電素子の全てに通電する場合と、一部に通電する場合とに切替可能とした。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度の向上を図り、機構が簡単かつ小型であるとともに、磁化を避ける環境下でも使用できるようにする。
【解決手段】 一の方向に移動自在な第１の移動体と、前記第１の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第２の移動体と、を備えたステージにおいて、
前記第１の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第１の超音波モータと、前記第２の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第２の超音波モータと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２方向に移動可能なステージ機構の構成を簡潔にする。
【解決手段】ステージ基台２０は可動部２１、固定部２２、および支持部２３を有する。可動部２１、固定部２２、および支持部２３を一体的に形成する。ステージ基台２０全体を弾性部材によって形成する。可動部２１を板状の４辺形に形成する。固定部２２を可動部の周囲を囲む枠状に形成する。支持部２３を可動部２１と固定部２２とに連結する。支持部２３を４本の腕部と４つの屈曲部により形成する。第１の屈曲部と可動部２１とを連結する。第１の屈曲部に相対する屈曲部を固定部２２に連結する。可動部２１と固定部２２とに第１、第２の圧電素子１４ａ、１４ｂを挟持する。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の駆動子と被駆動体との接触部における摩擦力変動の影響を軽減し、テーブルを安定して移動させるようにする。
【解決手段】電動テーブル装置は、移動テーブル４２を固定台１４に対して１軸方向に移動可能に支持するガイド４３及び４４と、移動テーブル４２に設けられ、移動テーブル４２の移動範囲と同等以上の長さを有する摺動板と、移動テーブル４２を移動させる、１つの圧電体と２つの駆動子とで構成された超音波振動子と、超音波振動子の２つの駆動子と摺動板とが一定の力で押圧されるように支持する押圧機構とを備え、その超音波振動子を複数個設けるようにする。 （もっと読む）

【課題】誤った欠陥検知または、検査感度の損失を引き起こすことのない基材支持の装置及び方法を提供する。
【解決手段】ステージミラー１１０に対する基材チャック１０６の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているＺステージアクチュエータ１２６及びＸＹステージアクチュエータ１４６、１４８のうちの一方又は両方を有する１つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。これに代えて、基材支持装置は、Ｚステージプレート1１２、ステージミラー１１０、Ｚステージプレートへ取り付けられている１つ以上のアクチュエータ、及びステージミラーへ取り付けられている基材チャックを含み得る。基材チャックは基材チャックの６つの運動自由度に対する拘束を有する。 （もっと読む）

【課題】長ストロークで高い応答性の微動動作が可能であるとともに圧電アクチュエータの破損を防止することができる回転機構付軸方向微動機構を提供する。
【解決手段】粗動機構は、基台に回転可能に支持されたねじ軸と、ねじ軸に螺合し、移動台に固定されたナットとを有し、ねじ軸の回転により移動台を基台に対して軸方向に移動させる。回転機構付軸方向微動機構は、対向配置して予圧を付与した２つの転がり軸受装置と、基台に固定され、転がり軸受装置のそれぞれの外輪が嵌合するハウジングと、伸縮方向に対して直列に配置した２つの圧電アクチュエータとを有し、転がり軸受装置のそれぞれの内輪をねじ軸に嵌合させ、内輪をねじ軸に軸方向に固定し、外輪の一方を軸方向に拘束し、外輪間の軸方向の距離を複数の圧電アクチュエータの伸縮により変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉除去パッドと可動体の当接面との隙間から摩耗粉が逃げ出して外部に摩耗粉が飛散するのを防ぐ超音波モータ用の案内装置を提供する。
【解決手段】楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達するための摩擦部材５６とを有する超音波モータ５００と、摩擦部材５６に当接する当接面６４ａを有し、摩擦部材５６と前記当接面６４ａとの摩擦駆動により移動可能に設けられた可動体６４と、超音波モータ５００を包囲し、可動体６４側に開口する筐体１とを含む案内装置において、前記可動体６４の当接面６４ａに摺接する摺接面２ａを備えるとともに、超音波モータ５００に対応する開口部を備えた封止体２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

位置決め装置は、第１部材（１’）と、第１部材に対して移動可能な第２部材（４）とを備える。滑動・粘着ドライブ（２、３、４）は、２つの部材（１’、４）の直動移動（Ｐ）をもたらすために、第１部材（１’）と第２部材（４）との間において動作する。位置決め装置は、第１部材（１’）と滑動・粘着ドライブ（２、３、４）とに結合され、滑動・粘着ドライブ（２、３、４）の直動シャフト（３）を機械的に保護し、直動シャフト（３）の回転移動および／もしくは側方移動を防ぐ一体型接合部（１２、１３）を備える。
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【課題】 Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のアクチュエータを取り付けた構造全体として、精度よい位置調整を行うことができるようにした移動ステージ装置を提供する。
【解決手段】
ステージテーブル１１から分離され、Ｘ方向のみに変位することができるとともに、Ｘ方向の変位をステージテーブルに伝達することができるＸ方向主動中間ステージ１２に、Ｘ方向アクチュエータ３７を接続するようにし、同様に、ステージテーブル１１から分離され、Ｙ方向のみに変位することができるとともに、Ｙ方向の変位をステージテーブル１１に伝達することができるＹ方向主動中間ステージ１４に、Ｙ方向アクチュエータを接続するようにして、Ｘ方向アクチュエータ３７およびＹ方向アクチュエータ３８がステージテーブルに接続されることに起因して発生するクロストークを回避する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で位置決め精度を向上させる。
【解決手段】 圧電アクチュエータの変位に応じて移動する位置決めステージ１０と、位置決めステージ１０の位置変化を静電容量の変化として検出する静電容量型位置検出センサ１１と、静電容量型位置検出センサから出力された検出値を、位置決めステージの現在位置を示す数値に変換するセンサアンプ１２と、ホスト１４から入力された位置指令値と位置決めステージの実際の移動位置との差分値に対し、大きさが概略同等で符号が逆である補正値を、位置決めステージの現在位置を示す数値に加算して修正値を出力する補正部１３ｄと、位置指令値および修正値に基づいて位置決めステージの変位量を決定し、圧電アクチュエータを駆動させることにより位置決めステージを移動させる位置決めコントローラ１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 フィードバック制御可能な位置決め台の提供。
【解決手段】 中空状のベース内に複数組の連結機構で位置決め台が架設され、該連結機構は板バネで製造されたヒンジ式の機構とされ、ベースと位置決め台間の各軸方向位置にアクチュエータが取り付けられ、アクチュエータの作動時に、位置決め台がベース内で各軸方向の微幅の移動可能で、並びに連結機構を押圧して変形させ、別に連結機構にひずみゲージが取り付けられて連結機構の弾性変形量を検出し、ひずみゲージが電子信号をコントローラにフィードバックし、コントローラの演算により制御信号を修正してアクチュエータを正確に作動させ、位置決め台を正確な位置に移動させる。 （もっと読む）

試料台（６）を基体部（４）に対して動かすための位置決め部材（２）が記載されている。位置決め部材は、駆動軸に沿って膨張及び収縮するように配置された圧電素子によって駆動されており、圧電素子は、基体部に取り付けられた入力端と、圧電素子の駆動軸から離間するように反対方向に延在する第１の出力レバー（１４）及び第２の出力レバー（１６）とを備えている。それぞれの出力レバーは、圧電素子が膨張するときに圧電素子によって作用されるように配置された内側アーム部と、試料台が台支持部（２６，２８）を介して取り付けられた出力アーム部とを備えている。出力レバーは、圧電素子が出力レバーの内側アーム部に作用し、外側アーム部を、駆動軸を含む平面内で動かすように取り付けられている。出力レバーのこの動きは、台支持部を介して試料台に伝導し、試料台を基体部に対して駆動軸に平行な方向に沿って動かす。
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