【課題】 全体が小型でありながら振動漏れの影響を可及的に低減することができて高い検出精度が得られる音叉型振動子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る音叉型振動子１は、付根部９から一対の大脚部１０ａ，１０ｂが並列して突出形成されて親音叉８が構成されるとともに、この親音叉８の各大脚部１０ａ，１０ｂには、この両大脚部１０ａ，１０ｂを含む面に直交する方向において所定間隔を存して互いに対向しかつ大脚部１０ａ，１０ｂよりも短尺の一対の小脚部１３ｃ，１３ｄ、１４ｃ，１４ｄが形成されてそれぞれ子音叉１２ａ，１２ｂが構成されている。 （もっと読む）

感知ループダブラを備えた干渉方式光ファイバジャイロ（ＩＦＯＧ）などの光ファイバリング干渉計。このＩＦＯＧデバイスは、光源と、この光源およびフォトダイオードと光学的に通信するサーキュレータと、このサーキュレータから放出された光を、それぞれ変調し得る２つの経路に分割し得る集積光学系チップ（ＩＯＣ）を備える。このＩＯＣはさらに、サーキュレータに向かう方向に光が伝播するときに、これら２つの経路のそれぞれからの光を合成することができる。このＩＦＯＧデバイスはさらに、ファイバコイル、およびＩＯＣとファイバコイルの間に配設された偏波保存（ＰＭ）コンバイナ／スプリッタを備える。このＰＭコンバイナ／スプリッタは、１度目は第１偏光状態でファイバコイルを通して光を送出し、その後同じ光を、２度目は第２の直交する偏光状態でファイバコイルを通して送出するように動作する。そのため、光は、単一ループＩＦＯＧデバイスと比べて２倍の距離を伝播し、したがって、実質的にＬＤ積が２倍になる。

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Ｘ−Ｙ面内に横方向に配置され、フレーム（３４）に間接的に連結されている２つの質量（２２，２４）を有する角速度センサ。２つの質量（２２，２４）は、これらの質量が、Ｚ方向に沿って必ず反対方向に移動するように、リンク装置（２８，５６，５８）により連結されている。Ｙ軸を中心にするセンサの角速度は、２つの質量（２２，２４）をＺ方向に反対位相で振動させ、それによりフレーム（３４）に加わる角振動の振幅を測定することにより感知することができる。好ましい実施形態では、角速度センサは、バルクＭＥＭＳジャイロスコープ・ウェハ（２０）、キャップ・ウェハ（４２）および基準ウェハ（４４）から製造される。他の好ましい実施形態では、ウェハのこのアセンブリは、質量（２２，２４）と周囲環境との間に密封バリアを形成する。
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光ファイバセンシングコイルは、無被覆光ファイバをほぼ円状のループに巻くことにより形成される。無被覆光ファイバは、コアおよびクラッドを含む。無被覆光ファイバが巻かれた後、無被覆光ファイバのターンは融着され、それによって光ファイバの個々のターンのクラッドは相互接触箇所で互いに融着される。
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電子センサ・デバイス２０用のセンサ素子２４に関する。センサ素子２４は、基板４３、一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂ、一対の駆動ビーム４４、及び１つ以上の基部ビーム４６を備える。一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂは基板４３の上方に懸架され、係留点５０にて基板４３に取り付けられている。一組の駆動ビーム４４はプルーフマス３４ａ，３４ｂと係留点５０との間に配設されている。各駆動ビーム４４は、第１の方向に延在する第１の長尺状基部６２と、第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材６４とを含む。基部ビーム４６は一組の駆動ビーム４４を相互接続し、第２の長尺状基部７２及び第２の可撓性バネ部材７４とを備える。第２の長尺状基部７２は第２の方向に延在し、第２の可撓性バネ部材７４は第１の方向に延在する。第１及び第２の可撓性バネ部材６４，７４は、折り曲げたビームの柱又は襞状バネなど、蛇行形状であってよい。
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本明細書には多数の発明が説明及び図示される。１つの態様において、本発明は、最終的なパッケージングの前にチャンバー（２６）に封入される機械的構造（１２）と、少なくとも部分的にチャンバーの外に配置されたコンタクト領域（２４）とを有するＭＥＭＳ装置、及びＭＥＭＳ装置の組み立て又は製造の方法を目的とする。コンタクト領域（２４）は、コンタクト領域の周囲に置かれた誘電分離トレンチ（４６）により、近くの導電領域から電気的に分離される。機械的構造を封止する素材（２８）は、堆積された際に、１つ又はそれ以上の以下の属性を備える。即ち、引張応力が低く、良好なステップカバレージを有し、その後の処理において完全性を維持し、チャンバー内の機械的構造の性能特性に大きな及び／又は悪い影響を与えず（堆積期間に素材でコーティングされた場合）、及び／又は、高性能集積回路の統合を可能とする。１つの実施の形態において、機械的構造を封止する素材は、例えば、シリコン（多結晶、アモルファス、又は多孔性の不純物を添加された又はされないシリコン）、炭化シリコン、シリコン・ゲルマニウム、ゲルマニウム又はヒ化ガリウムである。

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【課題】 駆動質量体と感知質量体とを両方デカップルド構造とする。
【解決手段】 Ｘ軸を中心に揺動自在な駆動質量体10、Ｚ軸を中心に揺動可能な感知質量体30、及びＸ軸を中心に駆動質量体10と共に揺動しＺ軸を中心に感知質量体30と共に揺動する媒介質量体20を備える。駆動質量体10はＸ軸を中心に捻れ変形する第１捻れバネ51により基板に、媒介質量体20はＺ軸を中心に曲げ変形する第１曲げバネ61により駆動質量体10に、感知質量体30はＸ軸を中心に捻れ変形する第２捻れバネ52により媒介質量体20に、かつＺ軸を中心に曲げ変形する第２曲げバネ62により基板に、各々連結する。駆動質量体10が駆動電極110によってＸ軸を中心に振動中に外部から角速度が印加されれば、コリオリの力によって感知質量体30がＺ軸を中心に回転し感知電極130はこれを感知する。 （もっと読む）