【課題】計測対象物の走査に要する合計の時間を短くすることが可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】このセンサユニット（形状計測装置）４は、レーザ光を照射するレーザ発生器１５と、レーザ発生器１５から照射されたレーザスリット光をワーク２００の載置されている領域に走査するミラー部１６と、ミラー部１６から照射され、計測対象物により反射されたレーザ光の反射光を検出することにより、ワーク２００の載置されている領域を検出するとともに、ワーク２００の３次元計測を行う高速カメラ１１と、高速カメラ１１によって検出されたワーク２００の載置されている領域に応じてミラー部１６による走査範囲を変更するように制御するセンサコントローラ１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】時点ｔ２１，ｔ２２，ｔ２３において、Ｘ方向における光の走査位置が位置Ｐ１２に一致し、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１ｂの期間、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２ｂの期間、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３ｂの期間に露光が行われる。この場合、露光の開始時点と終了時点との中間の時点で、投光方向が所定の方向と一致する。すなわち、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１の期間の長さと時点ｔ２１〜ｔ２１ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２の期間の長さと時点ｔ２２〜ｔ２２ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３の期間の長さと時点ｔ２３〜ｔ２３ｂの期間の長さとが等しく調整される。 （もっと読む）

【課題】駆動機構による光センサの移動速度の変化に拘わらず変位データを取得し、その後に一定距離間隔の変位データだけ抽出する構成とすることで、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】移動機構手段４２により基板１０に対する光センサ３１の位置を速度が変化しながら移動させる。その移動中に、光センサは光学的に基板１０の表面の高さ方向の変位を検出する。Ａ／Ｄ変換手段３２ｂ及び変位算出手段３２ａは、光センサからの変位をクロックでデジタルの変位データに変換して出力する。データ取得部５０は移動機構手段が移動するときの移動量を基に、移動量の所定間隔毎に、前記変位算出手段３２ａからの前記変位データを抽出する。画像生成手段６０は所定間隔毎の変位データを基に、基板の表面上の形状を示す画像データを生成する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 高速で高精度な測定を行えるようにすること。
【解決手段】 測定対象１２０に測定用光を照射する光源部１０１と、光源部１０１とは位置関係が無関係であるが相互の位置関係が既知で、測定対象１２０からの測定用光を偏向する第１、第２光偏向素子１０８、１０９と、第１、第２光偏向素子１０８、１０９からの測定用光を検出する１つの光検出素子１０５と、測定対象１２０から反射した測定用光が第１、第２光偏向素子１０８、１０９の双方を介して光検出素子１０５へ入射する測定対象１２０上の点Ｐについて、第１、第２光偏向素子１０８、１０９を介して光検出素子１０５が検出した測定用光に基づいて三角測距法によって測定対象１２０についての長さに関する情報を算出する演算装置１１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤ本来の感度を得る事と、積分等の歪の無い生波形の後処理ができる事と、その例として測定対象物の角（エッジ）部分においても正確な距離情報を取得することができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る３次元形状測定装置は、マッピングデータの処理を用いることにより、デジタル最高値を中心にして、デジタル最高値を示すＣＣＤから徐々に離れた位置に配設されているＣＣＤのデジタル値がこのデジタル最高値よりも徐々に低い値を示すという分布状態を把握することができ、これにより正確に測定対象物の表面に反射したレーザ光が本来収束すべきＣＣＤを特定する。アナログ回路が減る、部品点数が減る、発熱が減る、消費電力が減る、エコである。 （もっと読む）

【課題】距離カウンタＰと幅カウンタＷのサンプリング周波数のみに依存せずに形状測定装置と測定対象物との表面との間の距離測定の精度を向上させることができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】ＣＣＤラインセンサ部による反射光の分布に複数の閾値を設定し、各閾値のそれぞれに基づき距離カウンタ値Ｐと幅カウンタ値Ｗを取得する。そして、各距離カウンタ値と前記各幅カウンタ値とを足し上げて、ＣＣＤ素子の信号の揺らぎによって得られる複数の閾値による各値を利用し実質的にサンプリング周波数を高めた場合と同等の分解能を獲得し、より正確な測定対象物との距離を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】
回動ミラーの歪みを改善することにより距離あるいは変位の検出精度を向上させることができる距離あるいは変位を検出する検出器を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、対象物と光式センサとの間に回動ミラーを介在させて回動ミラーが回動することで変動する対象物の特定の測定点に投光し、その反射光を受光して測定点までの距離あるいは変位を検出する検出器において、前記の回動ミラーが、誘電体多層膜が設けられたガラス製基板の裏面側にチタン製基板あるいはチタン合金製基板を張り合わせたものである。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射の有無を判定し、鏡面反射をした位置までの距離を求める。
【解決手段】投光装置１から被検物に計測光ＰＬ１，ＰＬ２を照射し、被検物によって反射される反射光ＬＢ１，ＬＢ２を複数の画素を持つ撮像装置２によって受光する。計測光ＰＬ１，ＰＬ２の投光角度α３，α１５の情報と、その反射光を受光する画素の情報とから、その反射光が反射点Ｐ３で鏡面反射し、地点Ｐ２で散乱反射した多重反射光であるか否かを判定する。鏡面反射を伴う多重反射光であると判定されたときに、鏡面反射した地点Ｐ３までの距離ｄ４を求める。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で、かつ簡易な構造の変位センサを提供する。さらに、受光素子の出力を基に受光位置を算出する演算回路も組み込み可能な構造とする。
【解決手段】発光素子５と受光素子６とを光学的に隔離して収容し、かつ被測定物を臨む同一方向に窓を有する隣り合う第１及び第２の収容スペース８ａ、８ｂが形成されたケース部材２と、光源素子から出射した光を被測定物上に集光させる集光レンズ部３ａと被測定物から反射した光を受光する受光レンズ部３ｂとを同一の光学媒体で一体に形成し、一体で形成された集光レンズ部が第１の収容スペースの窓に位置し、一体で形成された受光レンズ部が第２の収容スペースの窓から直接に受光素子に集光させる位置に位置するようにケース部材に固着されるレンズ部材３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安全な物体検知装置を提供する。
【解決手段】物体検知装置１は、光を被検知領域に照射する発光素子２と、被検知領域にある被検知物Ｗから反射された反射光を受光する受光素子３と、受光素子３を回転させる回転駆動手段４と、受光素３子により受光された反射光の強度を検知する検知手段５とを備える。回転駆動手段４は、少なくとも一対の圧電ユニモルフ振動板と、圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有する支持体と、圧電ユニモルフ振動板に弾性体を介して接続され、圧電ユニモルフ振動板の圧電駆動により空洞部内で回転振動する基板とで構成される。基板上に受光素子３が配置され、該基板の回転角度に対する反射光の強度分布から被検知物Ｗの位置を求める。 （もっと読む）

【課題】２次元状に受光素子が配置された光学式変位計において、ワークに応じて安定した受光量を得ることを可能とする。
【解決手段】測定対象物からの帯光の反射光を受光するための２次元受光素子と、増幅器で得られた増幅信号の、第１方向における受光信号波形のピークレベルの分布が所定の範囲内となるように、投光部３の発光量及び増幅器の増幅率を含む操作量の少なくともいずれかのパラメータをフィードバック制御するための受光レベル制御手段６１と、測定対象物の変位を測定する測定モードと、受光レベル制御手段６１の操作量を設定する設定モードとを切り替えるためのモード切替手段５３とを備え、設定モードにおいて、予め測定対象物に対して投光部３で帯光を照射し、第１の方向の各位置における増幅信号のピークの分布状態を測定し、受光レベル制御手段６１が、第１の方向における分布状態に応じて操作量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で測定対象の光学的測定を行えるようにすること。
【解決手段】 光源１０３からの微細な断面面状の測定用光は、レンズ１０４、１０５によって径が拡大された後、その外周部分が凸筒コーンミラー１０７の光反射面１０８によって凹コーンミラー１１０側に反射されると共に、その中心部分の基準測定用光１２２は貫通孔１０９を通って測定対象１２４に照射される。コーンミラー１１０から出力された環状測定用光１２３は、凹レンズ１１２、凸レンズ１１３、平凸リングレンズ１１４、平凹リングレンズ１１５、凸コーンミラー１１８、凹コーンミラー１１６を介して測定対象１２４に照射される。演算制御部２００は、凹コーンミラー１１６を光軸１０６に沿って移動制御して、測定対象１２４を径の異なる環状測定用光１２３により走査し、光検出部１０２によって検出した測定用光及び基準測定用光に基づいて、測定対象１２４の形状等を算出する。 （もっと読む）

【課題】消費電力の抑制と半導体レーザの長寿命化を図りつつ、レーザ光の照射位置を円滑にモニタできるビーム照射装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ１００は、パルス発光間の期間において、レーザ発振閾値以下の電流にて自然放出光を発光する。自然放出光は、ビームスプリッタ４００によって分離され、ＰＳＤ６００に受光される。ＰＳＤ６００からの出力電流は、Ｉ／Ｖ変換回路６０にて電圧信号に変換される。ＰＳＤ信号処理回路７０は、この電圧信号をもとに、ＰＳＤ受光面上における分離光の受光位置に応じた位置電圧信号を出力する。ＡＤＣ８０は、自然放出光の発光期間にて位置電圧信号をサンプリングし、サンプル値をＤＳＰ１０に出力する。ＤＳＰ１０は、このサンプル値に基づいて、各パルス発光タイミングにおけるレーザ光の照射位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】画像に基づく物体検出における検出位置と光ビームに基づく物体検出における検出位置の対応関係の精度を容易に維持可能とする。
【解決手段】車両前方を撮像装置によって撮像させて画像１を取得し(30)、レーダ装置から車両前方の所定方向への光ビームの射出を開始させ(32)、車両前方を撮像装置によって再度撮像させて画像２を取得し(34)、画像１と画像２の差分画像を生成し(40)、差分画像上に現れている光ビームの照射位置を表す光スポットに相当する画像部の差分画像上での位置を検出し(40)、画像上での光ビーム照射位置を、レーダ装置１２からの光ビーム射出方向及びレーダ装置１２によって計測された物体迄の距離と対応付けて記憶させる(42)。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温度に影響を受けないプロジェクタの測距装置を提供する。
【解決手段】プロジェクタ本体Ｐ０の所定位置に固定される一つの投光センサ２０及び一つの受光センサ３０、投光センサ２０から発せられた光を屈折させてスクリーンＳ上に投光させると共にスクリーンＳにより反射された反射光を屈折させて受光センサ３０に導く反射体５０、反射体５０の反射面５１、５２の角度を調整するべく反射体５０を所定軸線Ｚ回りに回動させる角度調整機構６０を含む。これによれば、一組の投光センサ２０及び受光センサ３０のみを採用し、角度調整機構６０により反射体５０を所定角度回転させることにより、スクリーン上の異なる少なくとも二点を測定することができる。したがって、温度による測定誤差の影響が２組のセンサペアを使用する場合に比べて少なく、スクリーンとプロジェクタとの距離を高精度に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】無作為に積まれた探索対象物を個々に探索可能する。
【解決手段】撮像により撮像範囲内を細分化した点群についての画像データを取得する撮像手段２０と、撮像範囲内のレーザ光の走査を行う照射手段３０と、レーザ光走査により得られる画像データから撮像範囲を細分化した点群の位置座標を示す三次元データを算出する三次元解析手段（４１）と、撮像範囲内で探索すべき探索対象物を複数方向に向けた状態での各々の三次元データをマスターデータとして記憶するマスターデータ記憶手段４５と、各方向のマスターデータについて共通する一点を、三次元解析手段により得られる三次元データの各点に位置合わせしたときに、いずれかの方向の前記マスターデータの各点の位置座標と三次元データの各点の位置座標とが近似するか否かを判定して、その判定結果により探索対象物の探索を行う判定手段（４１）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の領域内における被検出体の有無をより正確に検出することができるエレベータの乗客検出装置を得ることを目的とするものである。
【解決手段】距離センサ２は、検出ビーム３を乗場側へ斜め下向きに投光する。検出ビーム３の水平面内での投光角度は、掃引可能になっている。距離センサ２は、投光部４、受光部５及び掃引手段６を有している。受光部５は、被検出体９で反射された検出ビーム３の反射光１０を受光する。また、受光部５は、反射光１０を結像する受光レンズ１１と、反射光１０が受光レンズ１１により結像される位置に配置された結像位置検出部１２とを有している。 （もっと読む）

【課題】
光検出手段の受光面積を小さくして、かつ被測定物が鏡面、粗面のいずれであっても三角測量によって、変位を測定できる技術を提供する。
【解決手段】
対物レンズ４を被測定物（基板１２）側の近くに配置して、ＬＤ１からの平行光をポリゴンミラー３で走査してその走査された平行光を対物レンズ４の中心を外れた位置に入射させ、対物レンズ４によって斜めに屈折させて被測定物に照射させ、その被測定物からの反射光を再び対物レンズ４で受けて、平行光にしてポリゴンミラー３へ返し、ポリゴンミラー３からの反射光をＰＳＤ７で受光する構成とした。 （もっと読む）

【課題】三角測量法で高さ測定を行う場合に、測定対象が金属面などの鏡面に近く非常に強い反射光により、ＰＳＤおよびその信号処理回路で発生する飽和現象による高さ測定異常を、低減・抑制することのできる、立体形状測定装置を提供する。
【解決手段】反射光８がＰＳＤ１０上での結像した像１１のサイズが高さ測定方向では小さく、走査方向では大きくなるように、受光光学系９のレンズ系を構成することにより、ＰＳＤ１０の飽和発生頻度を低減する。さらには信号処理回路１２に、特殊な飽和異常検出回路を設けることにより、飽和発生後の測定高さ異常を抑制することが出来る。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部からコントローラ部へのデータ伝送をシリアル伝送によって行う光学式変位計において、データ伝送に必要な線路の数を低減する。
【解決手段】ヘッド部に、ＡＤ変換器と、その出力データをシリアルデータに変換するパラレル・シリアル変換器と、その出力データをクロック信号に同期させて送信するデータ送信部とを設け、ヘッド部からコントローラ部へのデータ伝送用線路をクロック信号用とシリアルデータ用の２本の線路で構成し、コントローラ部に、クロック信号及びシリアルデータを受信するデータ受信部と、受信したシリアルデータをクロック信号に従って読み取りパラレルデータに変換するシリアル・パラレル変換器とを設け、ヘッド部からコントローラ部へ送信するクロック信号に、パラレルデータを構成する複数ビットごとの区切りを示すフレーム信号を重畳する。 （もっと読む）