ｉｎ−ｓｉｔｕ状態で、試料の既知の特性を測定するＸ線回折技術に関する。その技術は、実質的に発散するＸ線放射を放射するためのＸ線源を使用するステップを含み、発散Ｘ線放射を受けるとともに、試料に向けて発散Ｘ線放射の発散経路を向け直すことによって、平行なＸ線放射のビームを発生させるために前記固定されたＸ線源に対して配置されたコリメーティング光学素子を備えている。第１のＸ線検出器が試料からの回折放射を収集する。Ｘ線源及びＸ線検出器は、その動作中、試料の既知の特性についてのアプリオリな情報に従って、互いの相対位置、及び試料に対する少なくとも１つのディメンションが固定されている。第２のＸ線検出器は、特に本発明の晶相モニタリングの実施形態において、試料の既知の特性についてのアプリオリな情報に従って、第１のＸ線検出器に対して固定することができる。

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【課題】 ウェブの修正を伴ったベータ線の使用によるウェブの坪量などの特徴を測定するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】 β線厚さ計による組成修正を複数の検出器（32）からの信号を使用して行うようにした。検出器は、その受理する放射線の割合が、放射線が検出器に到達する前に放射線が透過される物質の組成に依存するように配置されている。この放射線は検出器で測定され、受理された放射線の差を使用してβ線厚さ計の補償が行われ、組成の変動についての修正が行割れる。検出器のアレイ(A)は放射線(22b)の中央とほぼ整合した内方検出器(I)と、この内方検出器を少なくとも部分的に囲む外方検出器(O)の少なくとも1セットに分割されている。測定は、この内方検出器および少なくとも1セットの外方検出器を含むすべての含めて行われ、これら検出器による測定の差異を用いて全ての検出器によりなされたトータルの測定の補償が行われる。 （もっと読む）

【課題】 元素分布および状態分布を二次元的に把握しやすく、また、一度の観測で多数の特定元素分布データを得ることができる、ＳＴＥＭを用いたＥＥＬＳ分析方法およびＥＥＬＳ分析装置を実現する。
【解決手段】 試料表面の座標（Ｘ，Ｙ）の各点でそれぞれ、ＥＥＬＳスペクトルデータを採取する。各ＥＥＬＳスペクトルデータのコア・ロス吸収端及びＥＬＮＥＳ吸収端を探索し、両者のエネルギー損失量の差Ｅｄを（Ｘ，Ｙ，Ｅｄ）の分布像として表示する。Ｅｄは伝導帯の状態密度を反映するので、（Ｘ，Ｙ，Ｅｄ）は状態分布像に相当する。また、各座標のコア・ロス吸収端のデータから元素同定して元素濃度Ｃを（Ｘ，Ｙ，Ｃ）の分布像として表示する。各座標ごとにＥＥＬＳスペクトルデータを採取しているので、一度の観測で複数の元素の濃度分布を計算することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来に比してＸ線ラインセンサの有効長を短くしても、従来と同等もしくはそれ以上の視野を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 複数のＸ線ラインセンサ２ａ，２ｂを、Ｘ線照射方向中心線Ｃを挟んで両側に間隙Ｇを開けて、中心線Ｃからの距離Ｌ／２内に配置し、トータルの有効長をＬ／２以上とする。また、各Ｘ線ラインセンサ２ａ，２ｂは、中心線Ｃで片側の領域を他側に折り返して重畳させたとき、長さＬ／２の領域の全てがいずれか一方側のＸ線ラインセンサ２ａまたは２ｂでカバーするように配置することにより、ｚ軸の回りに試料Ｗが３６０°回動することで、断層像を再構成するために必要なデータを採取可能とし、短い有効長のＸ線ラインセンサを複数個用いて、そのトータルの有効長のラインセンサを用いた場合と同等の視野を得ることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 試料を支持する試料板からの回折Ｘ線の影響を排除して、試料に関する正確なＸ線回折測定をできるようにする。
【解決手段】 単結晶試料板２１によって支持する試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する回折Ｘ線を２次元Ｘ線検出器２によって検出し、検出された回折Ｘ線の座標及び強度をＸ線読取り装置によって読み取り、そしてその読取り結果に基づいて演算を行って回折Ｘ線強度分布を求めるＸ線測定装置である。単結晶試料板２１から出る回折Ｘ線が２次元Ｘ線検出器２によって検出される座標位置を、回折Ｘ線強度分布の演算に寄与させないブランク領域として認識する。単結晶試料板２１からの回折Ｘ線がＸ線強度の演算に算入されないので、試料Ｓからの回折Ｘ線だけに関して正確にＸ線強度分布を求めることができる。 （もっと読む）