ハイブリッド型金属異物検知装置（１）は、マグネットブースタ（５）、Ｘ線装置（７）、センサコイル（８）を含む。ベルトコンベヤ（４）で搬送されてくる被検出物（６）に混入された金属異物はマグネットブースタ（５）を通過するとき磁性が強くなりセンサコイル（８）で検知しやすくなる。Ｘ線装置（７）から発生するＸ線の焦点は、センサコイル（８）の感度が一番低下する領域に設定することによって、被検出物の表面、中央部分に混入した金属異物を良好に検知できる。 （もっと読む）

本発明は、コンピュータ断層撮影装置の動作中、回転軸の周りに回転するロータからのデータが光電子的に転送される、コンピュータ断層撮影装置に関する。この目的のため、転送されるべき前記データによって変調されている光を、前記回転軸上に取り付けられている受信機に向かって送信する少なくとも１つの送信機が、前記ロータ上に設けられている。
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ＣＳＣＴデータからのデータの再構成は、通常は、長い再構成時間を要する。本発明によると、エネルギ分解検出器素子を用いて収集されたスペクトルを有するＣＳＣＴデータのフィルタ逆投影が提供され、前記フィルタ逆投影は、再構成体積内の波数ベクトル移動量により表される曲線に沿って実行される。有利には、再構成時間が減少されることができる上に、良い画質を可能にする。
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ｉｎ−ｓｉｔｕ状態で、試料の既知の特性を測定するＸ線回折技術に関する。その技術は、実質的に発散するＸ線放射を放射するためのＸ線源を使用するステップを含み、発散Ｘ線放射を受けるとともに、試料に向けて発散Ｘ線放射の発散経路を向け直すことによって、平行なＸ線放射のビームを発生させるために前記固定されたＸ線源に対して配置されたコリメーティング光学素子を備えている。第１のＸ線検出器が試料からの回折放射を収集する。Ｘ線源及びＸ線検出器は、その動作中、試料の既知の特性についてのアプリオリな情報に従って、互いの相対位置、及び試料に対する少なくとも１つのディメンションが固定されている。第２のＸ線検出器は、特に本発明の晶相モニタリングの実施形態において、試料の既知の特性についてのアプリオリな情報に従って、第１のＸ線検出器に対して固定することができる。

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マルチ検出器（１４、４０）による電子検出システムおよび方法であって、該方法は、カラムを介して一次電子ビームを向けて被検査オブジェクト（ウェーハ）と相互作用させるステップと、実質的な静電界を導入することによって、該被検査オブジェクト（ウェーハ）から反射または散乱された電子を複数の内面検出器（１４、４０）に向けるステップであって、該向けられた電子の少なくとも一部が該被検査オブジェクト（ウェーハ）に対して小さな角度で反射または散乱されるステップと、少なくとも１つの内面検出器から検出信号を受け取るステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 試料を支持する試料板からの回折Ｘ線の影響を排除して、試料に関する正確なＸ線回折測定をできるようにする。
【解決手段】 単結晶試料板２１によって支持する試料ＳにＸ線を照射し、試料Ｓから発生する回折Ｘ線を２次元Ｘ線検出器２によって検出し、検出された回折Ｘ線の座標及び強度をＸ線読取り装置によって読み取り、そしてその読取り結果に基づいて演算を行って回折Ｘ線強度分布を求めるＸ線測定装置である。単結晶試料板２１から出る回折Ｘ線が２次元Ｘ線検出器２によって検出される座標位置を、回折Ｘ線強度分布の演算に寄与させないブランク領域として認識する。単結晶試料板２１からの回折Ｘ線がＸ線強度の演算に算入されないので、試料Ｓからの回折Ｘ線だけに関して正確にＸ線強度分布を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドなどに用いられる金属多層膜の構造評価に有効な、金属多層膜のＸ線反射率プロファイルの新しい解析法を提供する。
【解決手段】 金属多層膜のＸ線反射率プロファイルの解析のための各層の膜厚の初期値ｔ₁ ⁱ 〜ｔ₃ ⁱ として、蛍光Ｘ線測定から求めた各層の膜厚を用いるようにする。この初期値ｔ₁ ⁱ 〜ｔ₃ ⁱ としては、蛍光Ｘ線測定により得られた各層の付着量Ｆ₁ 〜Ｆ₃ を各層の材料の理論密度ρ₁ ⁱ 〜ρ₃ ⁱ で割って算出した値を採用するのが有利である。 （もっと読む）