【課題】 ウェーハ表面のうち、特にウェーハの表面外周付近においても、高感度な測定を行うことができる蛍光Ｘ線分析装置および蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析装置１は、被測定物であるウェーハ６にＸ線ビームをほぼ水平方向から照射するＸ線ビーム照射手段２と、照射によって発生した蛍光Ｘ線を検出する検出手段３と、検出結果を処理する信号処理部（不図示）と、ウェーハ６を保持して位置決めする位置決め手段４とを含む。位置決め手段４は、被測定物であるウェーハ６が載置され、検出手段３による検出領域８が、ウェーハ６の外周面にＸ線ビーム７を入射させて散乱光が発生する散乱光発生領域１０を避ける位置に、ウェーハ６を移動させて位置決めする。 （もっと読む）

【課題】ビューポイントがＸ線画像中から逸脱することのないようにする。
【解決手段】透視Ｘ線像をＸ線光軸を中心として撮影するＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、少なくともＸＹＺ方向に移動させるステージ駆動機構１６とを備えるＸ線検査装置１であって、ステージ位置データを記憶させる駆動信号発生部３６と、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂがポインタ６３で指定されることにより、第一基準点画像６１ｂ及び第二基準点画像６２ｂの位置を含む基準点画像位置データを記憶させる基準点画像指定部３７と、異なるステージ１４の位置で記憶された２つの基準点画像位置データとステージ位置データとを用いて、Ｘ線光軸方向とステージ１４のＺ方向とのズレ量を算出する算出部３８と、軸補正を行う補正信号を駆動信号発生部３６に出力する補正信号作成部３９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 カウンタウェイトに連結されているワイヤが切断された異常が発生したとき、直ちにその異常を検出することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、Ｘ線測定光学系１３を駆動信号に基づいて移動させる駆動機構１６と、駆動機構１６に駆動信号を出力する駆動信号発生部３６と、カウンタウェイト１４と、Ｘ線測定光学系１３とカウンタウェイト１４とを連結するワイヤ１７とを備えるＸ線検査装置１であって、ワイヤ１７を支えることで、ワイヤ１７の移動量に比例して回転するとともに、等角度間隔で円状となる複数のマーカー部１５を有するプーリー１８、５８と、駆動信号発生部３６が駆動信号を出力したときに、マーカー部１５の動きを検出する検知部１９、５９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】形状の異なる様々な試料を蛍光Ｘ線分析するために用いられる下面照射蛍光Ｘ線分析用の試料保持具ならびにそれを備えた下面照射型蛍光Ｘ線分析装置を提供することにより、異形試料の分析作業の効率化と費用の削減を図ることを目的とする。
【解決手段】試料の下面に１次Ｘ線を照射して蛍光Ｘ線分析するために用いられる下面照射蛍光Ｘ線分析用の異形試料保持具であって、枠体２と、枠体２に回転自在に支持された支持部３１を一端に有し、試料の下面Ｓａと当接する試料当接部４１および試料の側面を把持する把持部５１を他端に有し、支持部３１から把持部４１に延びるアーム部６１を有する４個の保持アーム１１〜１４とを備え、各試料当接部の試料の下面Ｓａとの当接面が同一平面上に位置するように保持アーム１１〜１４が枠体２に支持部３１〜３４で支持され、試料当接部４１〜４４および把持部５１〜５４によって枠体２の内周よりも内側で試料Ｓを保持する。 （もっと読む）

【課題】タイヤの全周および全幅にわたってひずみやぼけのない良好な画像が得ることのできるタイヤＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】タイヤＸ線撮影装置１０において、Ｘ線源２を通り回転装置のタイヤ中心軸線Ｃに直交する面を基準面Ｈとし、基準面Ｈ内で前記タイヤ中心軸線ＣからＸ線源２に向かう直線を基準線Ｌとしたとき、Ｘ線源２は、基準面Ｈ内の基準線Ｌを含む所定角度範囲を方位角範囲とする姿勢で配置されるとともに、前記仰角範囲がタイヤのトレッド部を含む両ビードコアＢＣ間の角度範囲を含む限りにおいてトレッド部の内側面のもっとも近くに配置されるよう、前記回転装置に搭載されたタイヤのサイズに応じて前記基準線上を進退変位可能に構成され、三個のラインセンサ３、４、５は、Ｘ線源２を通りそれぞれのラインセンサ３、４、５の長さ方向に直交する断面において、受光面がＸ線源２に直角に向くよう配置される。 （もっと読む）

簡易な構成で２以上の異なる視点からの透過撮影画像を得ることの可能な透過撮影装置を提供することを目的とする。 ターゲット２ａから放射線を照射する線源装置２と放射線検出体とを設け、これらターゲット２及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テーブルを設ける。放射線検出体の検出面の中心部Ｐがこの中心部Ｐとターゲット２ａとを結ぶ基準軸Ｌ１，Ｌ２にほぼ直交するように放射線検出体及びターゲット２ａを配置する。放射線検出体が一対の第一、第二放射線検出体３，４よりなり、第一放射線検出体３はターゲット２ａに対して駆動機構により遠近移動可能で且つ第二放射線検出体４よりもターゲット２ａから離隔配置可能とする。線源装置２のターゲット２ａが陰極２ｂに傾斜状に対向し、陰極２ｂを第二放射線検出体４側に配向するように線源装置２と第一、第二放射線検出体３，４を配置する。
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【課題】 マッピング測定を行う全反射蛍光Ｘ線分析装置において、十分正確な測定強度の分布を短時間で求められるものを提供する。
【解決手段】 以下のように動作する制御手段２４Ａを備える。基準試料９について、測定点３２ごとに適切なステージ角度を補正ステージ角度φ_ｍとして記憶しておき、分析対象試料１については、各測定点３２で、その測定点３２に対応させて記憶した補正ステージ角度φ_ｍに調整し、その状態での基準Ｘ線５ａの強度を基準点３１での基準強度と比較して、補正ステージ角度φ_ｍに調整することが適切でないと判断される場合にのみ、改めて適切なステージ角度に調整して、蛍光Ｘ線５ｂの強度を測定し、測定強度の分布を求める。 （もっと読む）

【課題】箔状サンプル以外の物による影響を受けること無く、箔状サンプルのＸ線回折パターンを得る試料固定方法および試料固定具を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折測定における試料固定方法は、ターゲットからＸ線を試料に照射し、試料からの回折されたＸ線を捕捉して計数するために、Ｘ線照射面積を越える中空を有する土台の片面に試料を貼るものである。また、試料固定具は、試料を貼るための、Ｘ線照射面積を越える中空を有する土台と、粘土で該土台を保持する試料ホルダとを有するものである。 （もっと読む）