【課題】 薄膜状試料のゼーべック係数や熱電特性等を簡便に測定することのできる薄膜状試料の測定方法を提供する。
【解決手段】 表面に複数の電極１２Ａ〜Ｄを露出させた基板１０上に、電極１２に接するように薄膜２２を配置し、電極１２間に通電することで、薄膜２２の特性を測定する薄膜状試料の測定方法。 （もっと読む）

【課題】 試料と標準物質との両方を所定の測定位置へ搬送することをロボットアーム等といった搬送装置や、テーブル等といった試料支持装置等の移動形態を複雑にすることなしに、短時間に且つ正確に実現できる熱分析装置を提供する。
【解決手段】 試料Ｓと標準物質Ｒとを試料取出し位置Ｐ０において並置状態で支持するターンテーブル５２と、試料Ｓと標準物質Ｒとを測定位置３１ｂ，３１ａに並置した状態でそれらを同時に加熱しながら標準物質Ｒに対する試料Ｓの変化を測定する測定装置２と、試料取出し位置Ｐ０に並置された試料Ｓ及び標準物質Ｒを同時に把持して測定位置３１ｂ，３１ａまで搬送する搬送装置３とを有する熱分析装置である。搬送装置３は把持部材６ｓ、６ｓを備えた把持機構と、把持部材６ｒ，６ｒを備えた把持機構とを有する。把持部材６ｓ、６ｓによって試料Ｓを把持し、同時に、把持部材６ｒ，６ｒによって標準物質Ｒを把持する。 （もっと読む）

【課題】基板から熱分離した熱容量が極めて小さな薄膜に温度センサと試料ホルダを形成して、消費電力が小さく、高速応答の外部からの加熱手段で、少なくとも試料ホルダを均一な温度分布にする熱分析センサを実現し、これを用いた熱分析装置を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ層などをカンチレバ状に形成した薄膜の先端部を試料ホルダとして利用し、この領域に薄膜温度センサを形成する。このＳＯＩ層のカンチレバの上側と下側に空隙を介して薄膜を挟むダイアフラムに加熱手段としての薄膜ヒータを形成するか、または薄膜を囲む薄膜ヒータを形成して試料ホルダを一様に加熱できるように加熱手段を有する熱分析センサを構成する。 （もっと読む）