【課題】長期安定性の良好なガス検知素子を提供する。
【解決手段】絶縁基板２の上に設けた検出電極３，４と、検出電極３、４に接触するカーボンナノチューブを主成分とする感応層５とを備え、カーボンナノチューブに誘電体膜を被覆した。 （もっと読む）

【課題】狭小部や可動部に容易に配置することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】可撓性を有する絶縁層２を形成し、互いに間隔を隔てて対向配置される第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂと配線７とからなる導体パターン８を、絶縁層２の上に形成した後、導電性層４を、特定のガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性材料から、絶縁層２の上に、第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂ間にわたって、形成する。 （もっと読む）

【課題】簡便であり、迅速かつ安価に環境評価を行うことができる環境測定素子および環境測定方法を提供する。
【解決手段】環境測定素子は、基板１、基板１表面に形成された導電体薄膜６、導電体薄膜６に電気接続し、該電気接続の位置が基板１表面上において同一線上にない３つの電圧印加用電極２，３，４を有する。そして、導電体薄膜６の基板１表面上における所定位置の電位を計測する複数の電位計測用電極５を備える。導電体薄膜６は、ガスの種類に応じて反応性が異なる３種類以上の金属を含み、基板１表面上において連続的にその組成が面方向に変化している。このような環境測定素子を環境ガス雰囲気に曝露しその抵抗の変化から、環境に含まれるガス成分の種類あるいはその濃度を判定する。 （もっと読む）

【課題】フラーレンは有機デバイス材料として期待される新規材料であるが、これまで報告された電気伝導度は絶縁体から半導体まで広い範囲に及び、高い精度で電気伝導度を制御する方法が知られていなかった。
【解決手段】フラーレンを、特定の温度条件、ガス流量条件にて不活性ガス中で加熱処理することにより、フラーレンに吸着された不純物濃度、特に、酸素と水の濃度を制御することにより電気伝導度を高い再現性で向上することが可能になった。これまで報告されたことのない高い電気伝導度のフラーレンを製造することも可能になり、有機デバイスの性能向上に大きな効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】携帯に便利な小型のものとして構成することができ、使用上の利便性が高く、しかもメンテナンス性に優れたポータブル型ガス警報器を提供すること。
【解決手段】本発明のポータブル型ガス警報器は、手で握って保持することのできる箱型形状のケーシングを備え、このケーシングの内部における上半部にガス検知動作に係る機能部材が配置されていると共に下半部に電池室およびセンサ装着部が左右に並設されたガス警報器本体と、このガス警報器本体のセンサ装着部に着脱自在に装着されるガスセンサとにより構成されており、ガス警報器本体のセンサ装着部は、検知対象ガスの種類が異なる複数の同形のガスセンサのうちから目的に応じて選択されたいずれか一のガスセンサが、他のガスセンサと交換可能に装着されるよう構成されており、センサ装着口と電池挿入口とは互いに同方向に開口し、ガスセンサおよび電池が同方向に引き出される構成とされている。 （もっと読む）

【課題】感応層の微細構造を最適化することにより高い選択性示すことができるガスセンサ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】ガスセンサ素子１は、基板２の表面に形成された絶縁層３と該絶縁層３表面に形成された感応部４とを備え、感応部４は感応層４１と電極４２とを備え、感応層４１は、酸化スズを主成分とし柱状の酸化スズ結晶集合体を主体とする下層４１１と下層４１１上に位置しＲｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｏｓ、Ｉｒ及びＰｔのうちの少なくとも１種含み、好ましくはＰｔ及び／又はＰｄを主成分とする上層４１２とを備える。上記下層の層厚をｘ、上記上層の層厚をｙとすると、１１≦ｘ／ｙ≦６３であることが好ましい。感応部４は、感応層４１として無定形な酸化スズ結晶集合体を主体とする酸化スズを主成分とする層を備えても良い。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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本明細書に開示するのは、金属酸化物センサの配列の抵抗を、デジタル信号に変換するデバイスおよび方法であって、ここで、センサは、センサ配列を取り囲んでいるガスの濃度に応答する。このデバイスは、励起電圧をセンサに提供する電子励起デバイス、センサの抵抗をデジタル信号に変換するアナログ−ツー−デジタル信号変換デバイス、および、デジタル信号からガス濃度を算出する手段を含む。
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