【課題】ＳｎＯ_２感知膜成膜前の下地面を平坦化して凹凸部の高低差を減少させ、柱状晶間が粗になる部分を極力少なくしてＳｎＯ_２感知膜の抵抗値のバラツキを低減させた薄膜ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ダイアフラム構造のＳｉ基板１と、Ｓｉ基板１上に多層構造の支持層２，３，４，を介して形成されたヒータ層５と、ヒータ層５の上にＳｉＯ_２絶縁膜６を介して形成された一対の感知膜電極７と、これら一対の感知膜電極７にかかるように成膜されたＳｎＯ_２感知膜８と、を有する薄膜ガスセンサにおいて、感知膜電極７を、研磨加工により平坦化処理したＳｉＯ_２絶縁膜６の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制しつつ設置位置が限定されないガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭素及び金属酸化物を湿式抄紙法にて調製して得られた可撓性シート状部材から成るとともに、可燃性ガスに反応して電気抵抗値が変化するセンシング部材２と、導電性材料を湿式抄紙法にて調製して得られた可撓性シート状部材から成るとともにセンシング部材２の表裏面にそれぞれ密着させて取り付けられ、電圧印加が可能とされた電極部材３，４とを具備したガスセンサ１である。 （もっと読む）

【課題】選択的に感度を向上させた金属酸化物センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、選択的に感度を向上させた金属酸化物センサの製造するために、該センサ内部にＺｎＯセンサ電極を備えるＺｎＯセンサを形成する工程、および該ＺｎＯセンサ電極をプラズマ流に曝露する工程を包含する。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、常温でも安定に動作するため低消費電力化および小型化が可能であり、生産性及び再現性よく、低コストで製造できるガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 絶縁性基板１に、厚さ１０〜３０ｎｍの、酸化スズ（ＳnＯ₂）などからなる材料非晶質層を形成した後、この非晶質層を急速加熱処理によって多結晶化して、ガス感応層である金属酸化物半導体微結晶層３を形成する。この結果、粒径が非晶質層の厚さとほぼ同じでよく揃い、ほぼ球形の微結晶粒子２が、面方向に結晶粒界を介して接合した単粒子層（単層構造）からなる微結晶層３が得られる。その中央部に白金（Ｐt）などからなる島状の増感体（触媒）４をスパッタリング法などで均一に配置し、センサ領域７を形成する。この際、単層の最密充填構造を有するポリスチレン微粒子層をマスクとして用いることにより、増感体４を蜂の巣（ハニカム）形の格子パターンに配置する。 （もっと読む）

ガス分析のためのアセンブリーと方法。前記アセンブリーは、ガス標本の成分を触媒によって反応させ、１種類もしくはそれ以上のガス種を生成物として生成するための触媒コンパートメントを備えている。生成物コンパートメントが前記ガス種を受け入れ、前記コンパートメント内の検知素子が、前記１種類もしくはそれ以上のガス種の量を検知する。この量と、非触媒ガス標本を含む参照コンパートメント内に存在する同じのガス種の量とが比較され、触媒反応によって生成されたガス種の量が与えられる。この値を用いて、ガス標本におけるガス成分の含有量が、触媒反応の化学量に基づいて計算される。好ましい実施形態では、分析するガスは、燃料生産用のプロセスガスであり、触媒は、一酸化炭素と水との反応を触媒して、水素と二酸化炭素に転換させる、高温転化触媒である。
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【課題】本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、カーボンナノチューブとこれを挟む一対の電極の間で、確実な電気的接触が得られる化学物質検出用センサを提供するものである。
【解決手段】本発明の化学物質検出用センサは、所定間隔を開けて配置された第１及び第２電極基板と、第１電極基板上に形成されたカーボンナノチューブ層と、第２電極基板上に形成され、第１電極基板に向かって延び、かつカーボンナノチューブ層と電気的に接触するカーボンナノピラーとを備える。 （もっと読む）

フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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