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Fターム[2G058GA00]の内容

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流体の特性を評価するためのマイクロ流体デバイス。このデバイスは、デバイスのある性能および/または構造的特徴を強化するために異なる振動モードが可能なマイクロチューブ(10)を利用する。マイクロチューブ(10)は、基板表面(52)から間隔をあけるよう、底部(12)によって支持される。マイクロチューブ(10)は、底部(12)を囲む周辺部分(14)と、底部(12)から周辺部分(14)を支持するアーム(16)と、少なくとも第一および第二のマイクロチャネル部分(18)を含む連続内部マイクロチャネル(18)とを持つ。各マイクロチャネル部分(18)は別々の流路を画定し、各流路は底部(12)から出発して、周辺部分(14)の一部分を通って続き、底部(12)へ戻る。第一および第二のマイクロチャネル部分(18)は、それぞれ底部(12)内の入口ポートと出口ポート(26、32)に流体的に接続される。マイクロチューブ(10)の振動は、駆動素子と検出素子(60A-B、62A-B)によって誘導され、検出される。流体特性は検出素子(62A-B)の出力から計測される。
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