せん断試験ツール（１５）の表面接触を検出するためのセンサ（３０）を含む電気半導体装置の非常に小さい突起をせん断試験するための装置（１０）である。また、横向きのせん断力変換器が、上記ツールが基板上を往復する際に磨き力を検出するために使用され、それにより非剛性の基板の表面接触の正確な感知が可能となる。接触を感知した後、試験ツールは後退し、基板上のツールの引きずりなしにせん断試験が行われることを確実にする。
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被測定部品の一部分について複数の材料特性を示すグラフィカル情報を表示するシステムおよび方法。エネルギーが、被測定部品の選択された部分に向けられる。結果のエネルギーが、被測定部品の選択された部分から検出され、被測定部品の一部分について複数の材料特性のそれぞれを表すデータが、検出されたエネルギーに少なくとも部分的に基づいて得られる。複数のグラフが、得られたデータに基づいて形成される。グラフのそれぞれは、複数の材料特性のうちの別々の１つを示す情報を有する。複数のグラフが、複数のグラフのそれぞれに含まれる情報間での実質的に同時の視覚的比較を容易にする形で、互いに別個に表示される。

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