【課題】単色性の高いレーザーコンプトン光を得る。
【解決手段】偏向空洞１３を通過した電子パルス１２は、線形加速器１４を通過する。線形加速器１４中において、この電子パルス１２は高周波加速を受け、高エネルギー電子パルス１５となる。レーザー光源１６は、可視光あるいは近赤外光でありパルス状のレーザー光１７を発する。レーザー光１７は、反射鏡１８で反射されて、高エネルギー電子パルス１５と衝突点１９で衝突する設定とされる。衝突点１９から、高エネルギー光（Ｘ線、ガンマ線等）とされたレーザーコンプトン光２０が発せられる。偏向空洞１３によって電子パルス１２はその進行方向に対して傾斜角をもち、衝突点１９においては、この傾斜角が大きくなった状態となるような設定とされる。 （もっと読む）

【課題】複数の高周波加速空洞共振器を組み合わせて線形型の高周波加速器を構成する場合に、１台の高周波電源から個々に異なる所定の加速電界を供給でき、かつ従来に比べて加速電圧や加速位相の調整を極めて容易に行えるようにする。
【解決手段】本発明の高周波加速器は、複数の高周波加速空洞共振器２，３を有し、各高周波加速空洞共振器２，３間が高周波同軸伝送路としての同軸管空洞７で結合され、この同軸管空洞７の両端部には同軸管空洞７を構成する外導体１１と内導体１２を接続するループ１４が形成され、複数の高周波加速空洞共振器２，３と同軸管空洞７とは、その共振周波数が略同一で、かつ、同軸管空洞７の空洞長が共振波長の（１／２）・Ｎ倍（Ｎは自然数）でないように設定されている。 （もっと読む）

【課題】自立できる、一以上の分離可能な半導体膜を形成するためのシステム。
【解決手段】本装置は、第一のエネルギーレベルにある複数の平行化した荷電粒子を生成するイオン源を備える。本システムは、１からＮ個の相互に連続した高周波四重極（ＲＦＱ）エレメントを有するリニア加速器を備え、Ｎは１より大きな整数である。本リニア加速器は、第一のエネルギーレベルにある複数の平行化した荷電粒子を、第二のエネルギーレベルを有する荷電粒子ビーム内へと、制御して加速する。１番目のＲＦＱエレメントは、イオン源に動作可能に接続される。本システムは、ＲＦＱリニア加速器の番号ＮのＲＦＱエレメントに接続される出口アパーチャを備える。具体的な実施形態において、本システムは出口アパーチャに接続されるビームエキスパンダを備え、該ビームエキスパンダは第二のエネルギーレベルにある荷電粒子ビームを処理し、荷電粒子の拡大ビームとするよう構成される。本システムは、ビームエキスパンダと、注入のためにプロセスチャンバ内に供給されるワークピースとに接続する、プロセスチャンバを備える。 （もっと読む）

【課題】発生した放射線をその場で収束し、全てを所定の方向に収束できて放射線の利用効率を大幅に引き上げることができる上に、強度アップも図れる放射線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 荷電粒子ビームをターゲット１３、１４に衝突させて放射線を発生して使用する放射線発生装置において、荷電粒子ビーム軌道上に設置する放射線発生ターゲットとして放射線の収束効果または発散効果を有する手段１３、１４を用いて放射線を収束または発散させたことにより、発生した放射線をその場で収束し、全てを所定の方向に収束できて放射線の利用効率を大幅に引き上げることができる （もっと読む）

【課題】 従来の大型化、大電力化、エネルギーの可変性等の改良余地が残されている問題を解決したイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 イオン源２０と、このイオン源２０からのイオンの低エネルギー入射が可能な第１のＩＨ型線形加速器３０と、この第１のＩＨ型線形加速器３０に直列的に接続される第２のＩＨ型線形加速器４０とを備え、イオン注入エネルギーを完璧に可変とするように構成した。
この場合、イオン源２０として、大気圧型ターミナル２２を具備したＥＣＲイオン源２０を用い、第１及び第２のＩＨ型線形加速器３０、４０としては、それぞれ、ＡＰＦ−ＩＨ（四重極収束系を含む）型線形加速器とするとよい。 （もっと読む）