【課題】フォトデバイスにパルス光を照射して検査する際に、パルス光の光強度を適切に設定する技術を提供する。
【解決手段】フォトデバイスを検査する検査方法である。この検査方法は、(a) フェムト秒レーザーから出射されるパルス光の光強度を変更しつつ、フォトデバイスの受光面に前記パルス光を照射することによって、前記フォトデバイスから発生する電磁波の電界強度を検出器にて検出する工程と、(b) 前記(a)工程において検出された電磁波の電界強度が最大となるときの前記パルス光の最大時光強度を取得する工程と、(c) 前記(b)工程において取得された前記最大時光強度に基づいて定められる光強度のパルス光を前記フォトデバイスに照射することによって、前記フォトデバイスにて発生する前記電磁波パルスの電界強度を前記検出器にて検出する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】マーカを表示しようとした画素が欠陥画素であるため、キャリブレーションパターンが正確に表示されない場合においてもキャリブレーションを可能とし、撮像画像における任意の座標値に対応する表示パネルにおける位置を特定する座標値を算出する。
【解決手段】
対象物を撮像するカメラと、前記カメラが撮像した撮像画像を取り込む画像取込部と、
前記画像取込部が取り込んだ前記撮像画像における複数のマーカの位置を特定する座標値を備える座標対応情報を作成する座標対応情報作成部と、前記対象物における前記マーカの位置を特定する座標値を備えるマーカ座標情報と前記座標対応情報とを用いて、前記座標取得部が取得した座標に対応する対象物における位置を特定する座標値を算出する座標変換部とを備えるキャリブレーション装置であって、座標対応情報における前記マーカ間のピッチが、基準ピッチと異なる場合に、前記座標対応情報を補正する座標対応情報補正部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率的な照明が可能であり、撮像素子などの感光回路の検査効率を向上させることが可能な照明装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハＷ上に形成された感光回路（撮像素子）を検査するための検査装置１００は、光源１１１を有し、感光回路に光源１１１からの光を照射する照明部１１と、この照明部１１を、感光回路に対して相対移動可能に支持する支持部１２と、この支持部１２を駆動させて、照明部１１を感光回路に対して移動させる駆動部１３と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】光量の分布が均一化された照明光を確実に照射する。
【解決手段】コレクタレンズ１４は、光源１３からの照明光が平行な光束となるように屈折する。フライアイレンズ１８は、平行な光束とされた照明光の光軸に略直交する平面に沿って配列される複数のレンズ素子２３により、複数の光源像を形成する。コンデンサレンズ２０は、複数の光源像からの光束を平行光束にし、複数の光源像からの光束を、被検物の被照射面に重畳させる。そして、制御部３２は、被検物に向かう光学系から分離された測定光学系における測定結果に応じて、駆動部３３を制御して、コンデンサレンズ２０を構成するアフォーカル光学系２０ｂを移動させる。本発明は、例えば、撮像素子を検査する検査装置の照明装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】熱画像カメラの高精度のキャリブレーションが可能となる校正装置を提供する。
【解決手段】熱画像カメラの校正装置は、プレート状の基材１と、基材１に立設された複数の円筒状の支持部材２と、各支持部材２に載置、接合された球状部材３とを備え、基材１及び支持部材２は、ポリカーボネートのように熱伝導性が低く、赤外線の反射率が低い樹脂製とする一方、球状部材３は、アルミニウムのように熱伝導性が高い金属製とする。球状部材３にはアルマイト処理が施されるとともに、表面に赤外線を効率良く放射するように着色が施されている。また、球状部材３には加熱手段として抵抗体４が内蔵されており、抵抗体４に接続するリード線５は、円筒状の支持部材２の内部を通って不図示の電源に接続される。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の撮像画像に対して、環境パラメータ変動に対する色崩れの定量評価が可能な色崩れ定量評価装置、及び色崩れ定量評価方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る色崩れの定量評価方法は、被写体２０の画像データにおける測定箇所を決定し（Ｓｔｅｐ１）、少なくとも測定箇所について、環境パラメータ毎の被写体２０のＲＧＢ画像情報を取得し（Ｓｔｅｐ２）、ＲＧＢ画像情報を、色相（Ｈ）信号、彩度（Ｓ）信号、明度（Ｖ）信号の少なくとも１つのＨＳＶ色空間に変換して、このＨＳＶ色空間と、環境パラメータの関係を示すグラフを作成し（Ｓｔｅｐ３）、このグラフの視覚化を行う（Ｓｔｅｐ４）ものである。 （もっと読む）

【課題】容易に接着剤のアウトガス評価を行うことができるアウトガス評価方法を提供すること。
【解決手段】アウトガス評価システム１は、複数の透明板を接着する接着剤と前記複数の透明板とによって囲まれる閉空間が形成された評価サンプル２に対して、環境試験機４による環境試験を行う。また、アウトガス評価システム１は、この環境試験後の評価サンプル２に照明部８によって照明光を照射して、この評価サンプル２からの反射光を光検出部９によって検出する。その後、アウトガス評価システム１は、この反射光の検出結果をもとに、評価サンプル２の接着剤からのアウトガスの有無を評価する。 （もっと読む）

【課題】輝度測定装置において、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成する。
【解決手段】複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置における補正係数算出方法であって、基準位置で対象物を撮像するステップと、基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして対象物を撮像するステップと、撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出する感度比率算出ステップと、感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する感度補正係数算出ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】 照明装置、撮像ユニットの検査装置、及び、撮像ユニットの製造方法に関し、照明装置の構成部品を換えることなく照明輝度分布を任意に変更可能にする。
【解決手段】 光源と、前記光源の光路上に積層配置された複数のパターン部材と、前記複数のパターン部材の重なり状態を変化させて、光透過量を制御する移動機構とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 撮像モジュールの検査方法及び撮像モジュール検査装置に関し、各検査用チャートを取り換えることなく、一回の撮像でカラー検査、フォーカス検査、黒シミ検査の検査を行うことにより、ハードウェアの簡素化を図りつつ、検査時間を短縮する。
【解決手段】 携帯情報機器に組み込まれた撮像モジュールの焦点位置にフォーカス検査用兼カラー検査用のチャートを配置するとともに、黒シミ検査用チャートを撮像素子から見て合焦位置より遠く離れたデフォーカス位置に配置したマルチチャート光学系を用いて、前記撮像モジュールのカラー検査、フォーカス検査、及び、黒シミ検査を行う。 （もっと読む）

【課題】画素欠陥やゴミの付着等による外乱の影響を抑制し、撮像素子の出力均一性の検査の精度を向上できる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】撮像素子から検査画像データを取得し、取得した検査画像データをフィルタリングし、検査画像データを複数のブロックに分割し、各ブロックの出力平均値を算出し、複数のブロックのうち最大の出力平均値と最小の出力平均値との差分に基づいて出力均一性を算出し、出力均一性と予め設定された判定値とを比較することで合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】シェーディングの検査を簡素化することができ、かつ、高精度に検出することができる撮像素子の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】色シェーディングを検査して合否判定を行う撮像素子の検査において、撮像素子から取得した画像データに基づいて色別の複数の画像プレーンを生成し、異なる色の画像プレーンから、格子状に分割された複数のブロックそれぞれに出力比を有する出力比画像データを生成し、出力比画像データを複数のエリアに分割し、複数のエリアそれぞれに含まれる所定数のブロックの出力比の平均値を各エリアごとに算出し、複数のエリアのうち、出力比画像データの画像中心に対して対称位置に存在するエリア同士の平均値の差を算出し、算出された平均値の差と予め設定された判定値との比較に基づいて合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】複数の固体撮像素子の検査を精度良く行う。
【解決手段】プローブカード４１の第２レンズ５２に入射した光は、開口５０ａ〜５０ｄを介して、固体撮像素子５５〜５８の撮像面５５ｂ〜５８ｂに照射される。第２レンズ５２に入射する光のうち主光線ＢＭ１〜ＢＭ４は、光軸Ｌに平行な状態を保持したまま、固体撮像素子の撮像面５５ｂ〜５８ｂの中心部分に照射される。撮像面５５ｂ〜５８ｂで受光した光は電気信号に光電変換される。この光電変換された電気信号に基づいて、シェーディング特性などの光学的特性が求められる。 （もっと読む）

【課題】検査用照明装置を取り付けるための取付孔を考慮して、最適な照明領域を得られるようにした撮像素子検査用照明光学系を提供する。
【解決手段】撮像素子検査装置２０において、検査用照明装置２６に用いられる撮像素子検査用照明光学系が、光源４１から射出された照明光を撮像素子の被検査面４９に対して略垂直になるように照射するコンデンサレンズ１を有し、被検査面４９において照明が必要な領域４９ａに照明光が照射されるようなコンデンサレンズ１を、このコンデンサレンズ１の一部がサーキットテスタ２４に形成された取付孔２５の大きさに合わせて除去されることを考慮して決定する。 （もっと読む）

【課題】 固体撮像装置のテストに要する時間の大幅な短縮化が可能なテスト装置を提供する。
【解決手段】 被収容物の挿嵌方向に貫通した空隙を有する収容部を複数備えた第１トレイ２と、収容部内に収容されたカメラモジュール３によって撮像可能なテストチャート１０と、テストチャート１０と対向するカメラモジュール３の主面側とは反対の裏面側に形成された電極に接触可能なコンタクタ７と、コンタクタ７に電気的に接続され、コンタクタを７介してカメラモジュール３から与えられる撮像結果の分析が可能な検査部２０と、を備えてなり、複数のカメラモジュール３が複数の収容部内に夫々収容された状態の下で、少なくとも一のテストチャート１０を複数のカメラモジュール３の視野角範囲内に設置可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ハロゲンランプの寿命を延ばすとともに、交換時の光量調節や色温度調節にかかる時間を少なくすること。
【解決手段】撮像素子検査用光源装置１０は、３個のハロゲンランプ１１と、ハロゲンランプ１１の発する光を集光する集光レンズ１３と、集光された光の光量を調節する口径絞り装置１４およびＮＤフィルタ１５と、集光された光の色温度を調節する色温度調節用カラーフィルタ１６と、集光された光の照度を均一化するディフューザ１７およびインテグレータ１８と、インテグレータ１８から射出された光の照度を微調節するＮＤフィルタ１９と、撮像素子３０に光を結像させる結像レンズ２０とを備える。３個のハロゲンランプ１１は、定格使用電圧より低い値の電圧で同時に点灯される。 （もっと読む）

本発明は、正確であり、製造および実装が簡単で、かつ安価な、センサを備える撮像装置の欠陥を測定するための装置に関する。本発明によれば、この装置は、第１のセンサと類似しており、それに対して傾斜しており、かつ第１のセンサと同じ領域を撮像する少なくとも１つの第２のセンサと、この他方のセンサの各素子のデフォーカシングを計算する装置とを含むことを特徴とする。
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【課題】固体撮像素子の検査において、検査時間を短縮しつつ検査個数を増大させ、検査効率を高めることができる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査装置２０は、固体撮像素子１の信号端子と電気的に接続したプローブ２と、少なくとも固体撮像素子１の受光部を覆う遮蔽構造物４と、遮蔽構造物４の内側に配された光源３とを、少なくとも２つ以上の固体撮像素子１に対してそれぞれ備えている。各光源３から同時に光が照射された場合、遮蔽構造物４によって、各光源３からの光同士が干渉することを防ぐ。したがって、検査装置２０は、複数の固体撮像素子１に対し、経時的に安定した光を同時に照射できる。 （もっと読む）

【課題】照明の影響を少なくし、検査精度を向上させた解像度検査用チャート。
【解決手段】複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン、該縞パターンの一方の側に隣接した黒色の太線からなる基準パターン、及び前記縞パターンの他方の側に隣接した白色の太線からなる基準パターンが各線の幅方向に複数組隣接して配置された検査用パターンを有すること。 （もっと読む）

【課題】欠陥形状・サイズに捉われることなく目立つ領域を欠陥領域として抽出し欠陥強度を数値化する画質検査装置を実現する。また新規の欠陥の検出を可能とし、新規の検査アルゴリズムの開発コストの削減、検査アルゴリズム開発期間中の不良品の流出の削減を実現する。また欠陥形状・サイズに依存する抽出処理を持たず、欠陥領域抽出に関するチューニング工数の大幅な削減を実現する。
【解決手段】検査対象の画像データを取り込み、取り込んだ画像データを演算処理して欠陥を検出する画質検査装置において、演算制御部は画像データの領域を複数領域に分割する分割領域設定手と、分割された各領域の欠陥のコントラストと、空間周波数に対する感度特性ＭＴＦを利用した認識限界感度モデルを使用して得られる認識限界コントラストとの比に基づいて欠陥強度を算出する特徴量計算手段と算出された欠陥強度と予め設定された閾値とを比較する判定手段とを備える。 （もっと読む）