【課題】光学波面パラメータを推定する装置および方法を提供すること。
【解決手段】波面パラメータを推定する装置は、光源と、レンズレットアレイと、光源によって生成されレンズレットアレイを通過した光を検出するための検出器と、レンズレットアレイと光源の間に配置される波面補正エレメントと、補正エレメントの光源側に位置する面における少なくとも１つの波面パラメータを推定するように構成されるデータ解析部とを備える。レンズレットアレイおよびセンサアレイは波面センサを形成するように配置され、波面補正エレメントは波面の収差を補正するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 回折格子に起因する計測誤差の影響を抑えて被検光学系の波面収差を高精度に計測することのできる波面収差計測装置。
【解決手段】 被検光学系の波面収差を計測する波面収差計測装置は、互いに厚さまたは向きの異なる複数の回折格子パターン部を有し、被検光学系の像面またはその近傍に配置可能な校正用回折部材と、被検光学系および各回折格子パターン部を経て形成された各干渉光に基づいて、被検光学系の波面収差の計測結果を校正する校正部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被検光学系の収差を高精度に計測することのできる収差計測装置。
【解決手段】 被検光学系の収差を計測する収差計測装置は、被検光学系を介して、所定方向に沿って延びる帯状の第１空間像と、被検光学系の像面内で第１空間像を所定の角度だけ回転させた帯状の第２空間像とを、被検光学系の像面に形成する像形成部と、被検光学系の像面に配置された三角形状の開口部を有する開口部材と、第１空間像のうち開口部を通過した像の光に関する情報と、第２空間像の光のうち開口部を通過した像の光に関する情報とに基づいて、被検光学系の収差を計測する計測部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ノイズ光による干渉縞の影響を抑えて被検光学系の波面収差を高精度に計測することのできる波面収差計測装置。
【解決手段】 被検光学系の波面収差を計測する波面収差計測装置は、第１回折格子パターンを有し、被検光学系の物体面に配置される第１回折部材と、第２回折格子パターンを有し、被検光学系の像面に配置される第２回折部材と、第１回折格子パターン、被検光学系、および第２回折格子パターンを経た光に基づいて、被検光学系の波面収差を計測する計測部とを備えている。被検光学系の倍率をβとするとき、第１回折格子パターンのパターン周期が第２回折格子パターンのパターン周期の３β倍である。 （もっと読む）

【課題】コバ部とレンズ面の波面測定を同時に、かつ、高精度に行うことができるレンズ測定装置を提供する。
【解決手段】平行光に整えられた光源４１から発せられた光を被検レンズ１０に入射させる被検光と、被検レンズ１０を経ない基準光とに分岐させるビームスプリッタ４７と、コバ面１３ａの干渉縞を撮像する第１撮像部４３と、コバ面１３ａの干渉縞の撮像と同時に、第１レンズ面１１における干渉縞を撮像する第２撮像部４４と、第１撮像部４３で得た第１縞画像を解析してコバ面１３ａの波面収差を表す第１波面データを、第２撮像部４４で得た第２縞画像を解析して第１レンズ面１１の波面収差を表す第２波面データを算出し、第１波面データから第１レンズ面１１の所定光軸に対する回転によるズレ量を算出するとともに、ズレ量と第２波面データから被検レンズ１０の所定光軸に垂直な面内でのシフトによるシフトズレ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】高い精度で光学素子の光軸の位置を検出して光学素子の収差の測定精度の向上を図る。
【解決手段】検査対象とされる光学素子を保持する保持部と、保持部に保持された光学素子へ向けて光を出射する発光部と、光学素子を透過された光を収束光として出射する光制御素子と、光制御素子から出射された収束光を二次元の所定の間隔で分布する複数の光束に分割して出射する光束分割素子と、光束分割素子から出射された光を受光し受光した光に基づいて複数の光束の受光点の配列状態を配列データとして取得する検出素子とを備え、配列データに基づいて検出素子に対する光学素子の光軸の位置を検出し、検出された光軸を参照して光学素子の収差の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】軸上光束によりチャート像を撮像するカメラと、その周辺に配置した軸外光束によりチャート像を撮像するカメラとを組み合わせた撮像手段を複数組設け、可動ミラーの切替えにより測定態様に適した適宜のものを選択して使用できるようにし、効率的なレンズ検査を行う。
【解決手段】被検レンズ７の光軸７ａに垂直に正対する第一プレート１０に、軸上光束用のカメラのほかに軸外光束用のカメラ１４ａ，１４ｂを組み合わせたワイド側撮像手段１１を設ける。ミラー枠２０を退避位置に保持してワイド側撮像手段１１でチャート像の撮像を行ってワイド側での測定を行う。ミラー枠２０を第一、第二挿入位置に回動させることにより被検レンズ７からの光束を側方に折り曲げ、第二プレート２４または第三プレート２５に組み込まれた第一テレ側撮像手段３０または第二テレ側撮像手段３２でチャート像を撮像してテレ側での測定を行う。 （もっと読む）

【課題】複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができるようにする。
【解決手段】補正要否判定部２により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子１１の偏心感度を測定する偏心感度測定部３と、波面収差抽出部１により抽出された波面収差と偏心感度測定部３により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出部４とを設け、光学素子駆動部５が駆動量算出部４により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる。 （もっと読む）

【課題】 投影光学系の収差をより簡易に計測する。
【解決手段】 投影光学系の光軸方向のフォーカス位置が球面収差量によって変化しない条件と変化する条件を用いて物体面側マークを照明して物体面側マークの像を投影光学系を用いて像面側マーク上に投影し、投影光学系の光軸方向の複数の位置で像面側マークを透過した光を検出することにより、投影光学系の光軸方向の第１および第２のフォーカス位置を計測し、第１フォーカス位置と第２フォーカス位置との差分から球面収差量を求める。 （もっと読む）

【課題】シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。
【解決手段】撮像素子の撮像面におけるシア量が第１の目標シア量Ｓ１になるように駆動機構に回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第１の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも１つの係数と当該複数のシア量との関係を示す直線１を決定し、前記撮像面におけるシア量が第２の目標シア量Ｓ２になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに直線１と同様にして直線２を決定し、直線１、２におけるシア量の差分ＤＤが第１の目標シア量Ｓ１と第２の目標シア量Ｓ２との差分ＳＤと等しくなる直線１、２におけるシア量Ｓ１Ｔ、Ｓ２Ｔをそれぞれ真のシア量として決定する。 （もっと読む）

【課題】被検光束のシア量の設定の自由度を向上させるために有利な技術を提供する。
【解決手段】被検光学系からの光の波面を測定するシアリング干渉測定装置は、撮像素子と、前記被検光学系の瞳を前記撮像素子の撮像面に結像させる瞳結像光学系と、前記瞳結像光学系の光路に配置され、前記被検光学系からの光の波面を分割することによって複数の波面を形成する回折格子と、前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記シアリング干渉測定装置の光軸に平行な方向における前記回折格子の位置を変更するための駆動機構とを備え、前記回折格子によって分割された複数の波面によって形成される干渉縞を前記撮像素子によって撮像する。 （もっと読む）

【課題】レンズを通して見える像のゆれを評価しやすい評価方法を提供する。
【解決手段】矩形模様５０であって、その幾何学的中心５５を通る中心の垂直格子線５１および左右の垂直格子線５２と、中心の水平格子線５３および上下の水平格子線５４とを備えた矩形模様５０を、眼鏡用レンズ１０を通して、幾何学的中心５５が注視点に一致するように設ける。視線が幾何学的中心５５から動かない範囲で頭部とともに眼鏡用レンズ１０を第１の水平角度だけ左右に動かしたときに見える矩形模様５０の画像を幾何学的中心５５が一致するように重ね合わせた際の幾何学的なずれをゆれ指標ＩＤｄおよびＩＤｓとして求める。 （もっと読む）

【課題】光学系のアライメントずれを精度よく検出し、その原因も判別する。
【解決手段】光学系２からの入射波面１が入射されるレンズレットアレイ３と、レンズレットアレイ３の前段または後段に設けられ、２以上のピンホールを有するマスク４と、レンズレットアレイ３の集光レンズを透過した光が収束されて生じる集光スポットを画像信号に変換する二次元検出器６と、二次元検出器６の出力をデジタル画像信号に変換するＡ／Ｄ変換器７と、Ａ／Ｄ変換器７の出力デジタル画像信号および予め記憶してある基準スポット位置により上記波面の演算処理を行う信号処理手段８とを備え、アライメントチェック時には、マスク４を光路に挿入して、マスク４のピンホールにより局所的に光を透過させ、波面計測時には、マスク４を退避させて、全面的に光を透過させ、レンズレットアレイ３の全ての集光レンズを有効にして行う。 （もっと読む）

【課題】空間分解能を向上させたハルトマン方式の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１０は、被検レンズ２０の射出瞳の少なくとも一部を分割し、分割された各々の領域の射出瞳の像を結像させる瞳分割手段であるマイクロレンズアレイ１６と、このマイクロレンズアレイ１６で結像された射出瞳の像を検出する撮像素子１７と、射出瞳を分割する面内で、マイクロレンズアレイ１６を被検レンズ２０に対して相対的に移動させる移動機構部１８と、を有する （もっと読む）

【課題】被検物の屈折率分布を高精度に計測する。
【解決手段】屈折率分布計測方法は、媒質Ｍ中における被検物１４０の配置が互いに異なる複数の配置について、第１の波長による被検物の第１の透過波面の計測結果と基準被検物が該媒質中にて被検物の配置と同じ配置とされているときの第１の波長による透過波面との差分である第１の波面収差を複数の配置について算出し、第２の波長による被検物の第２の透過波面の計測結果と基準被検物が該媒質中において被検物の配置と同じ配置とされているときの第２の波長による透過波面との差分である第２の波面収差を複数の配置について算出する。第１及び第２の波面収差に基づいて、被検物の形状成分を除去しつつ、複数の配置のそれぞれにおける被検物の屈折率分布投影値を取得し、複数の配置に対応する複数の屈折率分布投影値に基づいて被検物の３次元屈折率分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】 被検光学系を精度良く測定できる波面収差測定装置を提供する。
【解決手段】 被検光学系（２０）の収差を測定する波面収差測定装置（１００）は、第１波長とこの第１波長と異なる第２波長との光束を被検光学系に照射する光源（１１）と、Ｘ軸及びＹ軸方向に二次元に配列された複数の画素を有し、これら複数の画素で第１波長及び第２波長の光束をそれぞれ受光する検出手段（３４）と、被検光学系と検出手段との間に配置され、被検光学系から照射された光束を検出手段上に二次元に所定間隔で分布する複数の光束に形成する光束形成部（３３）と、光束形成部の近傍に複数の光束に対応するように配置され、第１波長及び第２波長が通過する第１領域と第２波長を遮光する第２領域とをそれぞれ複数有する波長フィルター（３２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】別途光源を用意することなく、被検レンズの光軸をレーザ光の進行方向に一致させる傾き調整が可能なレンズの透過波面測定装置を提供する。
【解決手段】透過波面測定装置が、入射部から光を取り入れて出射部から出射させ、入射部を被検レンズの第１レンズ面近傍に出射部を被検レンズの第２レンズ面近傍に夫々配置可能であり、入射部から観察光を出射部に導いて被検レンズのフランジ部の第２レンズ面側に形成された平面部に照射させる傾斜検出用光路形成部と、被検レンズの平面部で反射された観察光による被検レンズの傾きを判別するための点像を観察するための傾斜検出用カメラとを有し、傾斜検出用光路形成部は、被検レンズから離れて観察光を被検レンズの第１レンズ面に入射させる第１の位置と、被検レンズの第１レンズ面側及び第２レンズ面側に入射部及び出射部が夫々位置して観察光を平面部に照射させる第２の位置との間で移動可能である。 （もっと読む）

【課題】結像光学系のＦ値がマイクロレンズのＦ値より小さい場合であっても正しい光検出を行うことができる光学検出装置を提供する。
【解決手段】第１および第２のマイクロレンズ（ＭＬ）を有するマイクロレンズアレイ４１と、第１のＭＬの透過光について第１方向に偏光した第１の偏光光束のみを透過させる第１の偏光子と、第２のＭＬの透過光について第２方向に偏光した第２の偏光光束のみを透過させる第２の偏光子とを有する偏光子アレイ４３と、第１および第２のＭＬに対して、第１および第２の偏光光束を受光するよう配置された第１および第２の受光素子と、第１の偏光光束のみを透過させて第１の受光素子に入射させる第３の偏光子と、第２の偏光光束のみを透過させて第２の受光素子に入射させる第４の偏光子とを有し、第１および第２の偏光光束が共に第３および第４の偏光子に入射するよう配置された偏光子アレイ４４とを有する光学検出装置。 （もっと読む）

【課題】トールボット干渉計のセンサ部の傾きを精度良く調整する。
【解決手段】トールボット干渉計は、光源１から発せられて被検光学系Ｌを通った光を、回折格子３および撮像素子４を含むセンサ部Ｍに導き、被検光学系の波面を計測する。該干渉計は、光軸ＯＡに沿った方向における被検光学系とセンサ部との位置関係を、波面の計測時とは異なる位置関係であって被検光学系の像点位置に撮像素子が配置されるように設定する機構７，８と、回折格子からの回折光の撮像素子上での光量分布を該撮像素子を用いて測定する測定部５と、光量分布の測定結果を用いてセンサ部の傾き補正量を算出する補正量算出部５と、傾き補正量に応じた光軸に対するセンサ部の傾き調整を行う機構９とを有する。 （もっと読む）

【課題】表裏いずれか一方の面に被覆部材が装着されたセミフィニッシュトブランクにおいて、被覆部材を取り外さなくとも所定の光学特性の値を算出でき、その算出結果に基づいて加工条件を充足しているかどうかをチェックすることが可能なセミフィニッシュトブランクの測定方法及びその加工条件のチェック方法を提供すること。
【解決手段】凸面側にアロイ１２によってブロックピース１３を取り付けたセミフィニッシュトブランク１１に対して凹面側から凸面側に向けて光を照射し凹面側で取得した反射光の測定値に基づいて当該セミフィニッシュトブランク１１のプリズム量を算出するようにした。 （もっと読む）