本発明は、集積回路を分析する方法に関し、この方法は、−回路の表面上の地点にレーザー放射を印加するステップ（１０２）と、−このようにレーザー放射された回路を、電気励起信号を印加することによって励起するステップ（１０６）と、−回路がレーザー放射に晒されている状態において、励起に対する回路の応答を収集するステップ（１０６）と、−レーザー放射された回路の励起に対する応答と回路に印加されたレーザー放射の不存在下における回路の基準応答との間の、位相差を計測するステップ（１０６）と、を含む。
本発明は、関連する観察方法及び装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】測定時に素子の測定条件を適切に調整できるプローブ検査装置を提供する。
【解決手段】基板の第１面に形成された素子の出力端子からの出力を測定するプローブ４０と、基板の第１面と反対側の第２面側から素子の動作環境を調整可能なコンタクト部４４と、基板を支持する基板支持機構４８とを備え、プローブ４０に対して基板の相対的な位置を変更可能とすることによって上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】 温度環境に対する電子デバイスの性能評価を行う環境試験装置において、エアーの吹き出しに基づく騒音を低減すると共に電子デバイスの性能評価の精度を向上できるようにする。
【解決手段】 載置面１５ａに配された電子デバイス１７を覆い、前記載置面１５ａと共に前記電子デバイス１７を含む中空の主空間Ｓ１を形成する主蓋体４５と、該主蓋体４５を覆い、前記載置面１５ａと共に前記主蓋体４５を含む中空の補助空間Ｓ２を形成する補助蓋体ユニット４７と、該補助蓋体ユニット４７の外方側から前記主蓋体４５の内側の主空間Ｓ１に所定温度のエアーを供給する配管部５７とを備えることを特徴とする環境試験装置を提供する。 （もっと読む）