【課題】直流の電流および電圧を発生するときに、過剰な消費電力が出力アンプに作用しないように制御することを目的とする。
【解決手段】本発明の直流電流電圧源３は、出力設定部１１により設定された設定電圧Ｖｓｅｔを出力する出力アンプ１２と、出力アンプ１２が出力する出力電圧Ｖ１と出力アンプ１２に帰還されて入力される入力電圧Ｖ２とを入力して、出力アンプ１２の消費電力Ｐａｍｐを演算する演算部１９と、演算部１９により演算された消費電力Ｐａｍｐが予め設定された設定電力Ｐｌｉｍを超過しているか否かを比較する比較部２０と、消費電力Ｐａｍｐが設定電力Ｐｌｉｍを超過しているときには、出力設定部１１の設定値を低下させる制御を行う制御部２１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】誘導負荷部に蓄積されたエネルギーが放出されたかを検出する。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、電源部と被試験デバイスとの間の経路上に設けられた誘導負荷部と、誘導負荷部を少なくとも含む基板を収容する収容部と、基板における予め定められた箇所の電圧が設定電圧よりも大きい場合、収容部内の基板にオペレータをアクセスさせるための開閉部のロック状態を維持するロック維持部と、を備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被試験デバイスへ過剰な電流が流入することを防ぐ。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記被試験デバイスに供給する電源電圧を発生する電源部と、前記電源部から前記被試験デバイスに至る経路上に設けられた誘導負荷部と、前記誘導負荷部に対して前記被試験デバイスと並列に接続された第１半導体スイッチと、前記被試験デバイスに対する電源電圧の供給を遮断する場合に、前記第１半導体スイッチをオンとする制御部とを備える試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】静電気耐量を高めた半導体試験装置を提供する。
【解決手段】測定対象デバイスに電気信号を出力する１または複数個の信号出力部と、信号出力部に対応して設けられ、信号出力部と測定対象デバイスとの間の電気的接続のオンオフを切り替える半導体リレーと、測定対象デバイスとの直接的あるいは間接的な接続の前に、半導体リレーをオンにする制御部とを備えた半導体試験装置。測定対象デバイスとの直接的あるいは間接的な接続の前に、さらに、信号出力部から０Ｖの電圧を出力させるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハＷの電気的特性検査を行う際に、被処理体に帯電した静電気を除去する除電装置を監視して信頼性の高い電気的特性検査を行うことができる除電装置の監視装置を提供する。
【解決手段】本発明の除電装置の監視装置（監視回路）２２は、メインチャック１４とプローブカードが相対的に移動し、メインチャック１４上の半導体ウエハＷとプローブカード１５を接触させて半導体ウエハＷの電気的特性検査を行う際に、放電スイッチ回路２１を用いてメインチャック１４から半導体ウエハＷに帯電した静電気を除去する除電装置２０を監視する装置であって、除電装置２０の放電スイッチ回路２１Ａと連動し且つ放電スイッチ回路２１Ａの誤動作を検出する検出スイッチ回路２２Ａと、検出スイッチ回路２２Ａを開閉する検出駆動回路２２Ｂと、検出スイッチ回路２２Ａを介して放電スイッチ回路２１Ａの誤動作を判定する判定回路２２Ｃと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電源供給が遮断された場合であっても記憶装置に記憶された必要なデータを効果的にバックアップすることができるバックアップ装置等を提供する。
【解決手段】バックアップ装置２０は、メモリ１１やレジスタ１２のバックアップを行う必要がない非バックアップ部Ｐ１１，Ｐ２１に対して補助電源２ｂからの電源を供給する電源線Ｌ１，Ｌ２とは別途に設けられ、バックアップを行う必要があるバックアップ部Ｐ１２，Ｐ２２に対して補助電源２ｂからの電源を供給するバックアップ電源供給線Ｌ１０と、バックアップ部Ｐ１２，Ｐ２２に記憶されたデータをバックアップするための保持用電源２１と、バックアップ電源供給線Ｌ１０を監視し、補助電源２ｂからの電源供給が遮断された場合にバックアップ部Ｐ１２，Ｐ２２に対する電源供給を保持用電源２１からの電源供給に切り替える切替回路２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定した一定の電圧をＤＵＴに印加することができ、発熱を抑えることにより高密度実装が可能であり、更には小型化及び低コスト化を実現することができる直流試験装置、及び当該装置を備える半導体試験装置を提供する。
【解決手段】直流試験装置１は、抵抗値が異なる複数の抵抗２１ａ〜２１ｃとこれら抵抗の何れかの電圧降下が所定の電圧値以上になった場合にその抵抗に流れる電流をバイパスする保護回路２５とを有する電流検出回路１５を備え、抵抗２１ａ〜２１ｃを切り替えることによりＤＵＴ４０に流れる負荷電流Ｉ_Ｌの測定レンジが可変である。この直流試験装置１は、ＤＵＴ４０に流れる負荷電流Ｉ_Ｌが所定の閾値を越えたか否かを監視する電流監視回路１９と、電流監視回路１９の監視結果に応じて、負荷電流Ｉ_Ｌの流路に介在する抵抗値が小さくなるように電流検出部１５を制御するコントローラ２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハーに形成されている被試験デバイスに供給する信号や電源の異常から、被試験デバイスを保護する機能を有するテスター装置を提供する。
【解決手段】ウエハーに形成されている被試験デバイスのテストを行うテスター装置であって、ウエハーに形成されている被試験デバイスに供給する電源を監視し、電源の異常があった場合に、これを検出する、電源異常検出回路と、ウエハーに形成されている被試験デバイスに供給する信号を監視し、信号の異常があった場合に、これを検出する、信号異常検出回路と、前記電源異常検出回路が電源の異常を検出した場合、及び／又は、前記信号異常検出回路が信号の異常を検出した場合に、被試験デバイスへの電源の供給と信号の供給を停止する、供給停止回路とを、備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】消費電力等を抑制可能で低コストな過電流保護回路等を提供する。
【解決手段】過電流保護回路９０Ａは、第１電流経路１１０と、第２電流経路１２０と、スイッチ手段１１６と、制御手段１２４を備える。第１電流経路１１０は過電流が流れるのを防止すべき電流経路中に設けられる。第２電流経路１２０は第１電流経路１１０に並列接続されている。スイッチ手段１１６は第１電流経路１１０のうちで第２電流経路１２０が並列接続された並列接続部分１１２に挿入されノーマリ・オンの構成を有する。制御手段１２４は第２電流経路１２０に挿入され第２電流経路１２０を流れる電流Ｉ１２０に基づいてスイッチ手段１１６を制御する。第２電流経路１２０は並列接続部分１１２よりも電気抵抗が高く、制御手段１２４は電流Ｉ１２０が予め定められた所定値以上である場合にスイッチ手段１１６をオフ状態に制御する。 （もっと読む）

【課題】プローブカードを用いてウエハ上のＩＣチップの電気的特性を調べるプローブ装置において、プローブカードが帯電していることに基づくＩＣチップの静電破壊を防止する手段の提供。
【解決手段】イオナイザー５によりイオン化された空気をプローブカード３にその上方側または下方側から供給する。例えばテストヘッド４の外にイオナイザーを配置すると共にここからテストヘッド中央部の開口部４ａを介してプローブカードの上方近傍までガス供給管を引き回し、その先端部にノズル部６１を設ける。あるいはウエハ上のＩＣチップの電極パッドを撮像するためのカメラを搭載し、プローブカードとウエハＷ載置台との間において水平移動される移動部材にノズル部を設けてここからプローブカードに向けて、イオン化された空気を吐出する。 （もっと読む）

【課題】 ＥＳＤ保護素子を使用して半導体試験装置の内部回路をＥＳＤから保護し、なおかつＤＣパラメトリック試験の精度を保つことのできる半導体試験装置のインタフェース回路を実現する。
【解決手段】 試験項目に応じて出力リレー４、フォースリレー６及びセンスリレー７を制御することによりＤＵＴへの接続をドライバ３又はＤＣ特性試験ユニット５に切り換える半導体試験装置のインタフェース回路において、前記ＤＵＴと接続する出力端子２と、出力端子２と接続する静電気放電保護素子１３と、静電気放電保護素子１３と基準電位との間に接続するブレイク接点スイッチ１４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ２端子型不揮発性メモリ素子の電気的特性を確実に評価することのできる電気的特性評価装置を提供する。
【解決手段】 評価用電圧信号を出力する信号発生器１０と、第１線路７０を介して入力される当該評価用電圧信号に基づく印加電圧を低インピーダンスで出力し、不揮発性メモリ素子３０の第１端子３１に印加する電圧バッファ２０と、不揮発性メモリ素子３０の第２端子３２との接続ノードである第３線路７２を流れる電流量を制御可能な電流制御回路４０と、電位設定が可能な入力端子５１を有するとともに、電流制御回路４０の第２端子４２から第４線路７３を介して入力される電流を電圧に変換して出力端子５２より出力する電流電圧変換器５０と、出力端子５２と第５線路７４を介して接続されており、電流電圧変換器５０から出力される電圧信号の波形を取得可能な出力装置６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 容量性負荷や負荷変動に対する安定性と入力に対する追従性が優れ、ＤＵＴのコスト低減を図ることのできるドライバ回路を提供する。
【解決手段】 入力電圧Ｖinを電圧増幅部１３で増幅し、増幅された信号を電流バッファ部５でインピーダンス変換し、出力された第１の電圧信号Ｖoutを電圧増幅部１３にフィードバックして入力電圧Ｖinに追従制御するドライバ回路において、電圧増幅部１３の出力端子と電流バッファ部５の出力端子との間に電流バッファ部５の直流出力インピーダンスと同等以下の交流インピーダンスで接続される位相補償部１４を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被試験装置のノイズ印加端子と内部ユニットとの間の絶縁が不完全な場合にも内部ユニットの破損を確実に防止でき、しかも試験パターンの多いノイズ試験を簡易にする。
【解決手段】ノイズ試験器１は、設定器１Ａ，１Ｂで設定されたノイズ電圧を被試験装置２の印加部位に印加する際、耐ノイズ性が弱い電子回路ユニット２Ａのノイズ電圧をプローブ１Ｅで検出し、このノイズ電圧が設定器１Ｄで設定された電圧値（閾値）を超えた場合に接点１Ｆをオフしてノイズ印加を停止する。
設定器１Ａ，１Ｂ，１Ｄを試験パターンとしてプログラム設定し、ノイズ試験開始には試験パターンを自動的に発生する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧が降下変動しても測定の信頼性が損なわれることなく、検査を行うことができる半導体検査装置の制御装置を提供する。
【解決手段】コントローラ、及び、電源投入回路の電源として、電源電圧の低下に対し出力電圧を維持できるよう設計されたスイッチングレギュレータを用いるとともに電源電圧の低下を検出する手段を設け、測定中に電源電圧の低下を検出した場合、自動的に測定を停止し、電源電圧が復帰した後に自動的に再測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】試験時の様々な状況に対応して電源の異常発生を即時に検出できる半導体試験装置を提供する。
【解決手段】半導体試験装置１００では、試験前に予め電源部１１、１２，・・・が接続されたカードでの様々な状況に対応したリミット値を設定してメモリ１１ｂ、１２ｂ，・・・のそれぞれ毎に設定しておく。試験中にコンパレータ１１ｄ、１２ｄ，・・・により電源回路１１ａ、１２ａ，・・・から電源の電流値を検出して各リミット値と比較しリミット値を超えているか否かを判定する。電流値がリミット値を超えている電源部が存在する場合には、アラーム信号を発生させ、電源供給部２２この異常が発生した電源部への電源の供給を停止させる。 （もっと読む）

【課題】 テストヘッドの制御信号出力回路に過電流保護装置を備えた半導体試験システムにおいて、不良原因が即座に特定され、無駄なデバイス判定を行うことのない半導体試験システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 リードバック装置１３５により過電流保護手段１３２ａ，１３２ｂ，・・・の状態を検出して制御端末装置３に送信し、リードバック装置が過電流保護手段１３２ａ，１３２ｂ，・・・による電源１３３ａ，１３３ｂ，・・・の遮断を検出したとき試験を停止し、制御端末装置３に遮断された電源の位置を表示する。 （もっと読む）

【課題】従来の測定装置では、クリッピング保護ユニットが装置を保護するが、クリッピング保護ユニットが動作する時に発生する逆方向且つ極めて大きい電圧又は電流が、測定すべき集積回路に及ぶとともに、不安定な振動電圧及び状態の誤判定を生じうる。
【解決手段】本発明に係る集積回路のスタティックパラメータの測定装置は、測定の時に集積回路の負荷に自動に従い、集積回路にどの出力モードを決定できる。該測定装置が、電圧出力モードで作動する時に、電流値を自動的に制限し、且つ、電流出力モードで作動する時に、電圧値を自動的に制限し、動作電圧及び動作電流の範囲を安定させる。 （もっと読む）

【課題】特性よく電源電圧を制限する。
【解決手段】電圧出力端子から電源電圧を出力する電圧発生装置であって、入力される電流又は電圧に応じた電源電圧を出力する電圧出力部と、電源電圧が第１基準電圧より大きい場合に電源電圧を低下させ、電源電圧が第１基準電圧より小さい場合に電源電圧を上昇させる第１制御電流又は電圧を出力する第１差動増幅部と、電圧出力端子から出力される電源電流に応じた検出電圧を検出する電流検出器と、検出電圧から第２基準電圧を減じた値がより大きい場合に電源電圧をより低下させる第２制御電流又は電圧を出力する第２差動増幅部と、第１制御電流又は電圧及び第２制御電流又は電圧を加算した電流又は電圧を電圧出力部に入力する加算部と、予め設定された第３基準電圧から検出電圧を減じた結果得られる差分電圧を増幅した電圧を第２基準電圧として第２差動増幅部に供給する第３差動増幅部とを備える電圧発生装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】余分な検査時間を省いて、検査機や被検査対象を破壊、劣化させずに作業者が安全に作業できる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象の検査を行う検査装置であって、前記被検査対象に電源を供給する電源供給手段と、前記被検査対象のエネルギーを測定し、その測定エネルギーが基準レベル以下であるかを比較する比較計測手段と、前記比較計測手段の比較計測結果に基づいて前記測定エネルギーが基準レベル以下である場合に検査終了制御を行う制御部と、を備える構成となっている。 （もっと読む）