【課題】レジストパターンの寸法変化を抑制することができるパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】Ｄｅｎｓｅ部及びＦｌａｔ部を有するギャップが存在する被加工基板上に、平坦化膜形成用組成物を塗布して平坦化膜を形成する工程（１）と、平坦化膜上にレジスト組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程（２）と、レジスト膜に放射線を照射して、レジスト膜を選択的に露光する工程（３）と、露光したレジスト膜を現像してレジストパターンを形成する工程（４）と、レジストパターンをマスクとして用いて、平坦化膜及び被加工基板に所定のパターンを形成する工程（５）と、を含み、平坦化膜形成用組成物が、所定の重合体（Ａ）と、架橋剤（Ｂ）と、有機溶媒（Ｃ）と、を含有するものであるパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】染料、一般式（I）又は一般式（II）で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法。
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【課題】高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】顔料、一般式（I）又は一般式（II）で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法。
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【課題】カバーフィルムの剥離性が良好であり、かつ、カバーフィルムをカットする際のカッターの汚れが抑制される感光性転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体と、三角錐の圧子で０．５ｍＮの荷重で測定した際の硬度が１．０以上４．５以下である熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層と、カバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料である。 （もっと読む）

【課題】膜厚の均一な塗布膜を形成可能な感光性樹脂組成物及びカバーフィルム剥離時の不良の発生が少ない感光性樹脂転写材料、これらを用いたフォトスペーサー及びその製造方法、並びに、表示ムラを防止して高画質画像の表示を可能とする表示装置用基板及びこれを用いた表示装置の提供。
【解決手段】下記一般式（Ａ）で表される繰り返し単位を含む含フッ素化合物を含有する感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を用いて形成される感光性樹脂転写材料、これらを用いたフォトスペーサー及びその製造方法、並びに、このフォトスペーサーを備える表示装置用基板及びこれを用いた表示装置。
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【課題】埋め込み性に優れ、昇華物量が少ないことに加え、エッチング耐性に優れ、屈折係数及び衰退係数の値が良好である下層膜を形成可能な下層膜形成組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）所定の構造単位を有する重合体と、（Ｂ）ブチルエーテル基を有する架橋剤と、（Ｃ）溶剤と、を含有する下層膜形成組成物。 （もっと読む）

【課題】反射防止能に優れたレジスト下層膜を形成することができる多層レジストプロセス用下層膜形成組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）ノボラック樹脂と、（Ｂ）有機溶剤と、を含有し、（Ａ）ノボラック樹脂が、（ａ１）分子中にフェノール性水酸基を２つ以上有する化合物を１〜９９質量％、（ａ２）ナフトールを１〜１０質量％、（ａ３）フェノール性水酸基を有する化合物（但し、前記（ａ１）化合物及び前記（ａ２）ナフトールを除く）を０〜９８質量％（但し、（ａ１）＋（ａ２）＋（ａ３）＝１００質量％とする）、及び（ａ４）アルデヒド、を縮合して得られる樹脂である多層レジストプロセス用下層膜形成組成物。 （もっと読む）

【課題】紫外領域から赤外領域までの広い範囲での遮光性を有し、感度が高く、且つサイドエッジが少ない感光性組成物を提供し、それを用いた固体撮像素子用感光性組成物、固体撮像素子用遮光性カラーフィルタ、および固体撮像素子を提供する。
【解決手段】（Ａ）重合性化合物、（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｃ）光重合開始剤、および（Ｄ）チタンブラック分散物 を含み、且つ（Ａ）重合性化合物／（Ｂ）バインダーポリマーの質量比が１．０以下であることを特徴とする感光性組成物。 （もっと読む）

【課題】ビアもしくはトレンチへの埋め込みに好適であり、所望のパターンに基づいた形成が容易であり、エッチング耐性に優れるレジスト下層膜を与えるレジスト下層膜形成用組成物及びこの組成物を用いたデュアルダマシン構造の形成方法を提供する。
【解決手段】本レジスト下層膜形成用組成物は、（Ａ）アリール基を有する重合体、（Ｂ）アセチレン基を有する界面活性剤、及び、（Ｃ）溶剤を含有する。更に、（Ｄ）酸発生剤、（Ｅ）架橋剤等を含有することができる。 （もっと読む）

【課題】露光照度依存性（特に高照度の９５％以下の低照度での線幅等の形状バラツキ）が小さく抑えられており、残膜率が高くかつ現像残渣が少なく、解像性に優れたパターンを安定的に形成できる感光性着色組成物、並びに、精細で高品質の画像表示が可能なカラーフィルタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】染料、重合性モノマー、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、及び下記一般式（Ｉ）で表される化合物を含むことを特徴とする感光性着色組成物。


〔一般式（Ｉ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、各々独立に、水素原子、炭素原子数１〜２０のアルキル基、又は炭素原子数６〜２０のアリール基を表す。Ｒ^１とＲ^２とは互いに同一でも異なっていてもよいが、同時に水素原子を表すことはなく、Ｒ^１及びＲ^２は窒素原子と共に環状アミノ基を形成してもよい。Ｒ^３及びＲ^４は、各々独立に電子吸引基を表す。〕 （もっと読む）

【課題】汚れ付着によるロール劣化が軽減され、従来以上の長期にわたって搬送、転写を安定的に行なえる搬送装置及び積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ゴム層６５ａを有する圧着ローラ６４ａ及びゴム層６５ｂを有する圧着ローラ６４ｂとゴム層６５ａにＵＶ−Ｂ光を照射するＵＶ−Ｂランプ８１とを備えており、ゴム層６５ａの表面に汚れが生じていると判定されたときに、ゴム層６５ａに積算照度が所定値に達するまでインラインでＵＶ−Ｂ光を照射して洗浄できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】現像残渣が少なく、感光後の基板密着性に優れ、良好な矩形の断面プロファイルを有する黒色パターンが得られる固体撮像素子用黒色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】少なくとも、黒色用色材、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含み、水酸化テトラメチルアンモニウム０．１質量％及びノニオン系界面活性剤を含むｐＨ（２３℃）８〜１２の現像液を用いて２３℃で現像したときの光線未照射領域の溶解速度が０．００５μｍ／ｓｅｃ以上０．０６０μｍ／ｓｅｃ以下である固体撮像素子用黒色感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】成膜したときの膜全体の重合開始効率が良好で、高い線幅感度と広いＤＯＦマージン（深い焦点深度）を有し、露光・現像後に支持体との密着性を保持することができる着色硬化性組成物、精細でパターン形状（特に固体撮像素子の場合はパターンの矩形性）の良好なカラーフィルタ及びその製造方法、並びに色再現性に優れた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】着色剤と、重合性モノマーと、オキシム系重合開始剤と、アミノアルキルフェノン系重合開始剤とを含有する着色硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】露光照度依存性を抑え、残膜率が高くかつ現像残渣が少なく、解像性に優れたパターンを安定的に形成する。
【解決手段】顔料、重合性モノマー、光重合開始剤、及び一般式（Ｉ）で表される化合物を少なくとも含む感光性着色組成物〔Ｒ^１〜Ｒ^２：Ｈ、Ｃ１〜２０のアルキル基、Ｃ６〜２０のアリール基（同時にＨを表さない。Ｒ^１とＲ^２はＮと共に環状アミノ基を形成してもよい）；Ｒ^３：電子吸引基；Ｒ^４：電子吸引基〕である。
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【課題】現像処理後の残色率を高め、パターニング後の熱処理に伴なう熱ダレによる形状変化を抑制する。
【解決手段】（Ａ）有機溶剤可溶性染料と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）アミン構造を含む光重合性化合物と、（Ｄ）前記（Ｃ）アミン構造を含む光重合性化合物と異なる光重合性化合物と、（Ｅ）有機溶剤とを含む染料含有ネガ型硬化性組成物である。光重合性化合物のアミン構造は、３級アミン構造が好ましい。 （もっと読む）

【課題】広いＤＯＦマージン（深い焦点深度）を有する着色硬化性組成物を提供する。
【解決手段】着色剤と、炭素数２以上のアルキレンオキシ基を有する重合性化合物を含む２種以上の重合性化合物と、を含み、前記２種以上の重合性化合物の、重合性基数が質量平均で４．５以上であり、炭素数２以上のアルキレンオキシ基数が質量平均で２．０以上１０．０以下である着色硬化性組成物である。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、液状態での保存性に優れ、かつ成膜後の感光性膜の経時安定性に優れる、パターン構造物や保護膜を形成可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】〔Ａ〕側鎖に、分岐及び／又は脂環構造、酸性基、並びに置換アルキル基を有する樹脂であって、前記置換アルキル基が２個のエチレン性不飽和結合を有する樹脂と、〔Ｂ〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、〔Ｃ〕光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】良好な透明性を有し、硬化状態における弾性回復率が良好なカラーフィルタ用の感光性組成物を提供する。
【解決手段】感光性組成物中に、酸性基とエチレン性不飽和結合を有する基とを側鎖に含有する樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和結合を有する重合性置換基の２つ以上と、前記重合性置換基と結合する２価以上の環構造含有基とを含む重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、を少なくとも含有せしめる。 （もっと読む）

【課題】隔壁形成後（硬化後）有機溶剤を含有する着色液体組成物と接触した場合に壁面の平面性を高く維持する。
【解決手段】有機溶剤を含有する着色液体組成物をインクジェット法により付与して着色領域を形成するためのインクジェット用隔壁の形成に用いられる感光性樹脂組成物であって、少なくとも、色材、バインダーポリマー、モノマー、及び重合開始剤を含み、前記バインダーポリマーのＩ／Ｏ値が０．５８以上であり、Ｉ／Ｏ値（ｂ）×（Ｍ／Ｂ）≧０．４９（数式（１））〔Ｉ／Ｏ値（ｂ）：バインダーポリマーのＩ／Ｏ値、Ｍ：感光性樹脂層中のモノマーの質量、Ｂ：感光性樹脂層中のバインダーポリマーの質量〕を満たす感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】平坦化構造のアッシングに対する耐性を高めつつ、レジスト層の露光精度についても可及的に高める。
【解決手段】基板１１上に形成した平坦化膜１５の表面に、バリア層１６を積層する工程と、バリア層１６の表面にレジスト層２０を形成する工程と、レジスト層２０を露光してレジスト層２０に開口部を形成することにより、マスクを形成する工程と、マスクの開口部を介して平坦化膜１５をエッチングする工程と、エッチングされた平坦化膜１５からマスクをアッシングにより除去する工程とを備え、バリア層１６は、下層反射防止膜により構成されている。 （もっと読む）