【課題】ダイヤフラム構造の圧電薄膜を備えた圧電薄膜デバイスおよび圧電薄膜デバイスの製造方法において、簡単な構成により、残留応力などにより撓んだ圧電薄膜の表面に平坦化された表面を備えた安価で高精度のものとする。
【解決手段】圧電薄膜デバイス１は、基板２と、基板２によって一面側（図では下面側）を支持されたダイヤフラム構造の圧電薄膜４と、圧電薄膜４に電圧を印加して当該圧電薄膜４の面形状を変形させるための薄膜電極３，５と、を備えている。この圧電薄膜デバイス１は、さらに、圧電薄膜４の前記一面側とは反対側（上面側）にはダイヤフラム構造部分を囲む堰６ａを備え、堰６ａの内部には圧電薄膜４と共に変形可能であってダイヤフラム構造と略平行である平坦化された表面を有する平坦化層７が圧電薄膜４の上に積層されている。圧電薄膜４の表面が、残留応力などにより撓んだ場合においても、平坦化層７が平坦化された表面を形成する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム構造の圧電薄膜を備えた圧電薄膜デバイスおよび圧電薄膜デバイスの製造方法において、簡単な構成により、残留応力などにより撓んだ圧電薄膜の表面に平坦化された表面を備えたものとする。
【解決手段】圧電薄膜デバイス１は、基板２と、基板２によって支持されたダイヤフラム構造の圧電薄膜４と、圧電薄膜４に電圧を印加して当該圧電薄膜４の面形状を変形させるための薄膜電極３，５と、を備えている。この圧電薄膜デバイス１は、さらに、圧電薄膜４には当該圧電薄膜４と共に変形可能な平坦化用の多層膜７が積層されており、多層膜７を構成する各層の膜は圧電薄膜４からより遠い膜ほどその表面が平坦化されている。圧電薄膜４のダイヤフラム構造を形成する際に、残留応力などによって撓む不可避の表面形状の不確定な変形が発生したとしても、多層膜７が存在するので、複数の圧電薄膜デバイス１の動作特性の均一化が図られる。 （もっと読む）

【課題】入射光束を揺動する振動ミラー部により反射して反射光束を走査する光走査装置に集光レンズを組み込んで、小型化、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】反射面が形成された振動ミラー部２、振動ミラー部２の揺動軸をなす支持部３、支持部３を保持する枠部５を有する光走査部１と、光走査部１を収納する筐体１４とを備え、入射光束を振動ミラー部２により走査して反射光束を出射する光走査装置２０であり、振動ミラー部２は、揺動軸の軸方向の幅が揺動軸に直交する方向の幅よりも狭い形状を有し、筐体１４は、入射光束及び前記反射光束を透過する透過部１２を備え、透過部１２は、入射光束を振動ミラー部２の形状に応じた形状に収束させる第１の光学素子を有する。 （もっと読む）

【課題】反射膜どうしのオプティカルコンタクトを回避しつつ、反射膜どうしを十分に近接させて所望の分光特性を得る。
【解決手段】間隔をあけて対向する一対の光学基板２，３と、該光学基板２，３の対向面にそれぞれ配置され、互いに対向する２つの反射膜５と、該反射膜５が配置された側にそれぞれ配置され、当該光学基板２，３の間隔を検出する間隔センサを構成する互いに対向する２つのセンサ電極６と、前記光学基板２，３を相対的に移動させ、当該光学基板２，３間の間隔を変化させるアクチュエータ４とを有し、前記２つの反射膜５の対向する表面間の距離が前記２つのセンサ電極６の対向する表面の間の距離より大きい可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電振動板と支軸とを有する光学反射素子において、小さな駆動電圧を圧電振動板に与えることで光学反射部に所定の揺動運動をさせる構成を実現する。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、枠体１２と、この枠体１２に溝１３で分離されるとともにこの溝１３内に設けられた支軸１４により枠体１２に支持された枠体１５と、この枠体１５に溝１６で分離されるとともにこの溝１６内に設けられた支軸１７により枠体１５に支持された光学反射部１８と、枠体１２にその一端を接続されるとともにその他端を支軸１４に接続された圧電振動板２０と、枠体１５にその一端を接続されるとともにその他端を支軸１７に接続された圧電振動板２２とを備え、支軸１７は支軸１４にその軸方向が直交するよう設けるとともに、圧電振動板２０の他端と支軸１４との接続点は圧電振動板２０の他端における略中央に配置する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの回転振動に起因する配線の振動騒音を低減できる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ｌは、所定の回転振動軸Ａを中心に回転振動する振動ミラー３と、振動ミラー３を保持するＭＥＭＳパッケージ１０と、振動ミラー３に電力を供給するためにＭＥＭＳパッケージ１０に電極７を介して接続される配線６とを備えている。そして、配線６の引出開始位置である電極７は、振動ミラー３の回転振動軸Ａを含み、かつ静止状態における振動ミラー３と直交する面と交わるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】
長時間にわたり導通状態を維持することができ、長時間にわたり優れた信頼性を発揮することのできるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する連結部２３、２４と、圧電体層５１１および圧電体層５１１を狭持するように設けられた１対の電極層５１２、５１３とを備え、電極層５１２が連結部２３に接合された圧電素子５１と、支持部２２に対して固定的に設置された配線基板６１とを有し、１対の電極層５１２、５１３のそれぞれと配線基板６１上の配線とが、伸縮性を有する導電性バンプ７１１、７２１を介して導通している。 （もっと読む）

【課題】揺動体である可動板を可動に弾性支持する支持部上の配線を比較的幅広くした形状でも形成することを可能にした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、支持基板204と、支持部203と、支持部203によって支持基板204に対して振動可能に支持されている可動板202と、第1の機能を行う第1機能素子205と、第2の機能を行う第2機能素子208とを有する。この揺動体装置において、第1機能素子205に繋がった配線207が、支持部203の第1面に形成され、第2機能素子に繋がった配線210が、第1面に配線207が形成された支持部203の第1面とは異なる第2面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持する弾性変形可能な１対の軸部材２３、２４と、各軸部材２３、２４を変形させながら可動板２２を回動させる駆動手段と、可動板２２および／または軸部材２３、２４が所定量以上変位したときに可動板２２および／または軸部材２３、２４に接触して、可動板２２および軸部材２３、２４の変位を所定範囲内に規制する規制部材６１、６２、６３とを有し、規制部材６１、６２、６３は、高分子材料を主材料として構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら組立容易性を向上でき、厳密な組立を行わなくても、光学基板間の間隔寸法を精度よく検出して所望の分光特性を達成する。
【解決手段】間隔を空けて対向する２つの光学基板４ａ，４ｂと、該光学基板４ａ，４ｂの対向面に設けられた光学コート層３と、２つの光学基板４ａ，４ｂの間隔を変化させるアクチュエータ４ｃと、２つの光学基板４ａ，４ｂにそれぞれ設けられたセンサ電極６ａ，６ｂを有し、光学基板４ａ，４ｂの間隔を検出する静電容量センサ６とを備え、一方の光学基板４ａに設けられたセンサ電極６ａが他方の光学基板４ｂに投影される範囲内に、当該他の光学基板４ｂに設けられたセンサ電極６ｂが含まれる可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】
シンボルレートの異なるＤＰＳＫ、ＤＱＰＳＫ等における光位相変調信号の位相変調状態を正確に評価できる光位相変調評価装置を提供する。
【解決手段】
光位相変調信号を分波する第１のビームスプリッタ１と分波した光を合波して光強度変換信号を出力する第２のビームスプリッタ６とビット遅延器２と第２のビームスプリッタから出力される光強度変換信号を電気信号に変換し光位相変調信号を観測する光波形測定部１１とを備えた光位相変調評価装置において、ビット遅延器が上記光位相変調信号の複数のシンボルレートに対応してシンボルレートの１ビットに相当する遅延量を設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】振動特性を変化させるための可変デバイスに関する配置設計の自由度を向上できる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部１１と、ミラー部１１に連結するトーションバー１２ａ、１２ｂと、トーションバー１２ａ、１２ｂに連結する加振部２とを備えている。この加振部２は、加振用の第１圧電素子３１〜３４と、加振部２のバネ定数(振動特性)を変化させるためのバネ定数可変用の第２圧電素子４１〜４４とを有している。ここで、第１圧電素子３１〜３４に駆動電圧を印加してミラー部１１を揺動振動させる際には、第２圧電素子４１〜４４に制御電圧を印加することで光スキャナ１の振動系の共振周波数を変更できる。このような光スキャナ１では、設置スペースの制約が少ない加振部２に第２圧電素子４１〜４４を設置できるため、第２圧電素子に関する配置設計の自由度が向上できる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、可動板を大きな振れ角でかつ円滑に回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、各軸部材２３、２４を支持する１対の駆動部材２５、２６と、支持部材２１と駆動部材２５、２６の一端部とを連結した弾性変形可能な１対の第１の変形部材２７、２８と、長手形状をなし、その一端部が前記支持部材２１に固定され、他端部が前記駆動部材２５の他端部とを連結した弾性変形可能な１対の第２の変形部材２９、３０と、各第２の変形部材２９、３０上に接合されその長手方向に伸縮する１対の圧電素子３１、３２とを備え、これらが平面視にて可動板２２の中心に対して実質的に点対称となるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】酸化亜鉛（ＺｎＯ）により、片持ち梁構造圧電素子を作成し、作成した片持ち梁構造圧電素子により、光の分波器を構成する
【解決手段】 Ｇｅ層１２０を犠牲層として、過酸化水素水をエッチング液として用いて片持ち梁構造とする（ａ，ｂ）。ｎ型ＺｎＯ層（低抵抗層）１４０−ＺｎＯ層（圧電導膜）１５０−ｎ型ＺｎＯ層（低抵抗層）１６０を圧電素子として形成する（ｃ，ｄ）。形成した圧電素子部分を印加電圧により変形し、犠牲層が除去された部分の多重反射による干渉により波長選択性を持たせて、反射光を出力とする光分波器を作製する（ｅ）。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、可動板を大きな振れ角でかつ円滑に回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動板２２の板面に略平行で可動板２２の回動中心軸Ｘに対し略直角な方向に延在する長手形状をなし、その一端部が支持部材２１に固定され、その固定部近傍に回動中心軸Ｘを位置させるように各軸部材２３、２４に連結された弾性変形可能な１対の第１の変形部材２５、２６と、回動中心軸Ｘに略平行な方向に延在する長手形状をなし、その一端部が支持部材２１に固定され、他端部が各第１の変形部材２５、２６の他端部に連結された弾性変形可能な１対の第２の変形部材２７、２８と、各第２の変形部材２７、２８上に接合され、各第２の変形部材２７、２８の長手方向に略平行な方向に伸縮する１対の圧電素子３１、３２を備える。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、可動板を大きな振れ角でかつ円滑に回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動板２２の板面に略平行でかつ可動板２２の回動中心軸Ｘに対し略直角な方向に延在する長手形状をなし、その一端部２５１、２６１が支持部材２１に固定され、その固定部近傍に回動中心軸Ｘを位置させるように各軸部材２３、２４に連結された弾性変形可能な１対の変形部材２５、２６と、各変形部材２５、２６の長手方向に略平行な方向に伸縮することにより、各変形部材２５、２６を曲げ変形させる１対の圧電素子３１、３２とを備え、通電により圧電素子３１、３２が変形部材２５、２６を曲げ変形させることにより、各軸部材２３、２４に捩りモーメントを与え、可動板２２を回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】２つの相対する面の間に空間層を有する電気機械素子において、支持部で支えられた梁（ビーム）の面の高さのばらつきが低減された信頼性の高い電気機械素子、その電気機械素子を備えた電子機器及びプロジェクターを提供すること。
【解決手段】電気機械素子３０は、基板３３上に、空間を挟んで対向する梁３５と、梁３５を長軸方向の端部で支持する支持部４１とを備え、支持部４１は、梁３５の短軸方向に複数本設けられる。 （もっと読む）

【課題】製造の容易化を図りつつ、所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４と、可動板２１の厚さ方向に伸縮する圧電素子５１〜５４とを有し、通電により圧電素子５１〜５４を伸縮させることで、連結部２３、２４を捩れ変形させて可動板２１を回動させるように構成されており、連結部２４には、回動中心軸Ｘから離間した位置に圧電素子５１の伸縮により発生する駆動力を連結部２３に伝達するための伝達点を構成する突起６１が形成され、突起６１が圧電素子５１の伸縮方向での一端と接触している。 （もっと読む）

【課題】ミラーの変位量を大きくでき、作製が容易で小型化可能なデフォーマブルミラーを提供する。
【解決手段】デフォーマブルミラー１は、ミラー面２ａを有するミラー基板２と、ミラー基板２を支持する支持部材３と、支持部材３のミラー基板２を支持する面３ａの裏面側に形成される電極部４と、支持部材３に形成される貫通穴３ｂに挿入されて電極部４に接合保持されるアクチュエータ５と、を備える。ミラー面２ａの変形は、アクチュエータ５が伸縮することによって行われる。 （もっと読む）

【課題】反射膜どうしを十分に近接させて所望の分光特性を得る。
【解決手段】間隔をあけて対向する一対の光学基板２，３と、該光学基板２，３の対向面にそれぞれ配置され、互いに対向する２つの反射膜５と、該反射膜５と同じ面にそれぞれ配置され、当該光学基板２，３の間隔を検出する間隔センサを構成する互いに対向する２つのセンサ電極６と、前記光学基板２，３を相対的に移動させ、当該光学基板２，３間の間隔を変化させるアクチュエータ４とを有し、前記２つのセンサ電極６の対向する表面の間の距離が前記２つの反射膜５の対向する表面間の距離より大きい可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）