【課題】複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができるようにする。
【解決手段】補正要否判定部２により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子１１の偏心感度を測定する偏心感度測定部３と、波面収差抽出部１により抽出された波面収差と偏心感度測定部３により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出部４とを設け、光学素子駆動部５が駆動量算出部４により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる。 （もっと読む）

【課題】電気的サブアセンブリに対して光学的サブアセンブリを受動的に位置合わせするための方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョンシステムが、ある光学的サブアセンブリを、ある電気的サブアセンブリに対して位置付け、該マシンビジョンシステムが、該光学的サブアセンブリの画像をキャプチャし、該マシンビジョンシステムが、該画像を処理して、該光学的サブアセンブリ上に形成されたアライメントメンバを識別し、及び、該アライメントメンバの第２の位置に基づいて、該マシンビジョンシステムが、該光学的サブアセンブリの光軸の第１の位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのアクチュエータを用いて光学素子を特定の増分量で増分移動させることにより、操作されるべき少なくとも１つの光学素子の位置の設定を行う、投影照明システムの光学装置の製造及び／又は調整方法を提供する。
【解決手段】本発明による方法では、移動増分の増分量は、所望位置からの光学素子の距離の関数として、距離値として表される距離によって設定され、この距離値が第１の閾値を上回る場合、略一定の増分量が設定され、他方、この距離値が前記第１の閾値を下回る場合、所望位置からの距離が減少することに伴って、特定の増分量が減じられるステップ、及び／または、特定の増分量及び／又は事前に特定された増分量変化率からの、事前に特定された逸脱により、警告信号が発せられ及び／又は移動が中止されるステップ、を含む。 （もっと読む）

【課題】入射光を折り曲げて射出する光学部品を精度良く位置合わせし、基板に実装すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態の実装装置１は、基板２が載置されるステージ１１、基板２上に実装するプリズム３を搬送するマニピュレータ１２、光源ユニット１３、撮像ユニット１５、制御部１６等を備える。撮像ユニット１５は、マニピュレータ１２によって把持されたプリズム３の光入射面３３側の側方において、プリズム３によって折り曲げられる光の光路内に配設されたカメラ１５１を備える。そして、制御部１６は、カメラ１５１によって撮像された画像データをもとに、ステージ１１の移動量を制御する。 （もっと読む）

【課題】光学要素とマウントからなるアセンブリを用意することであって、アセンブリされたときに光学要素の位置決め精度が向上され、マウントに作用を及ぼす環境影響を少なくすること。
【解決手段】光学要素１とマウント５からなるアセンブリであって、アセンブリされた光学要素は多数の接合板２を介して剛性のある中間リング３と結合されていて、中間リングはアクチュエータ４を介してハウジング７および／または別のマウントに接続するためにマウント５と結合されている。 （もっと読む）

【課題】光ファイバのコア部材に、より確実にレーザ光を入射することを支援するレーザ光と光ファイバとの光軸調整方法及びレーザ光と光ファイバとの光軸調整装置を提供する。
【解決手段】コア部材５０Ａの径Ｒ１と同じ径の貫通孔Ｈ１が設けられた薄板状の遮蔽板３０を用い、レーザ光源１０から出射されたレーザ光が、集光レンズ２０にて集光されて遮蔽板３０の貫通孔Ｈ１を通って測定手段４０に到達するように、レーザ光源１０と集光レンズ２０と遮蔽板３０と測定手段４０とを配置し、測定手段にて測定したレーザ出力値が最大となるように、レーザ光源と集光レンズと遮蔽板との少なくとも１つの位置を調整し、調整した位置にて、レーザ光源の位置と集光レンズの位置とを固定するとともに、貫通孔の位置に光ファイバのコア部材の端面の中心が位置するように遮蔽板３０と光ファイバ５０とを入れ替えて光ファイバの入射面の位置を固定する。 （もっと読む）

本発明は、特にマイクロリソグラフィ用の光学素子のための支持要素であって、支持部材と、支持部材を外部支持ユニットに接続する第１の接続要素と、支持部材を光学素子に接続する第２の接続要素とを備える、支持要素に関する。支持要素は、６自由度で外部支持ユニットに対して光学素子を位置決め及び姿勢決めするためにさらなる支持要素と並列運動的に協働するように構成される。支持部材は、複数の第１の曲げジョイントを含み、第１の接続要素及び／又は第２の接続要素は、少なくとも１つの第２の曲げジョイントを含み、第１の曲げジョイント及び第２の曲げジョイントはそれぞれ、曲げ軸を規定する。支持ユニットに対する光学素子の動作制限を、複数の第１の曲げジョイント及び第２の曲げジョイントにより最大２自由度で達成することができる。第１の曲げジョイント及び第２の曲げジョイントはそれぞれ、曲げ軸に沿って細長く設計される。 （もっと読む）

【課題】
収差補正上好ましい計測位置と実際の計測位置を一致させた光学素子の位置決め装置を提供する。
【解決手段】
本発明の光学素子の位置決め装置は、光学素子２を含む可動部と、可動部を駆動する駆動機構１００と、光学素子２の位置を計測する位置計測センサ１３０と、位置計測センサ１３０による計測結果に基づき駆動機構１００を制御する光学素子制御手段１０とを備え、光学素子２に中心画角の主光線が入射する入射位置（ｐ点）は、光学素子２を含む光学系の光軸からずれており、位置計測センサ１３０は、光軸に直交する方向における入射位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】レンズをレンズ枠に高い位置精度で固定することが可能なレンズの調芯及び固定方法を得る。
【解決手段】レンズを樹脂製とし、該レンズにレンズ枠と当接する当接部を形成するレンズ成形ステップ、レンズ枠を構成する樹脂材料をレンズと同一種類とし、レンズ枠に上記当接部と当接すると共にレーザ光を吸収する当接受光部を形成するレンズ枠成形ステップ、当接部を当接受光部に接触させつつ上記レンズを上記レンズ枠にチルト調整しながら支持させる調芯ステップ、及びレーザ光をレンズの上記当接部を通してレンズ枠の当接受光部に照射して、該当接部と当接受光部をレーザ溶着する溶着ステップ、を有する。 （もっと読む）

【課題】ガイドの平坦性誤差および／または支持部のシフトを補償するために用いられるシステムを提供する。
【解決手段】このシステムは、１つ以上の支持装置と、駆動システムと、ガイドと、流体または磁気軸受と、補償システムとを備える。１つ以上の支持装置は、１つ以上の開口部を有する。支持装置は、駆動システムに結合され、駆動システムは、支持装置を動かすよう構成される。ガイドは、開口部のそれぞれを通る。流体または磁気軸受は、ガイドに沿ってそれぞれの支持装置を案内するよう構成される。補償システムは、流体または磁気軸受に近接した支持装置のそれぞれに結合される。補償システムは、ガイドの平坦でない領域または支持装置のシフト（たとえば熱シフト）を補償するよう構成され、この補償は、ガイドに沿った支持装置の移動の間に、支持装置をガイドに対して移動させることによりなされる。 （もっと読む）

【課題】結晶の角度調整完後、ロック用ネジの回転によって部材間の位置ズレが生じない結晶ホルダの提供。
【解決手段】第１の角度調整部材14の貫通孔27にショルダーボルト52を挿通し、先端を結晶保持部材12のネジ穴20に螺合することによって両部材間が回転自在に係合され、角度調整部材14に固定された調整ネジ46の先端を結晶保持部材12の円筒状ナット21に螺合させることにより、結晶保持部材12がショルダーボルト52を軸に回転する。角度調整部材14の貫通孔27は、ショルダーボルトの胴部52ｂが回転自在に挿通される小径部56と、頭部52ａが収納される中径部57と、ロック用ワッシャ53を収納させる大径部58を備える。ロック用ネジ55の頭部によってロック用ワッシャ53が第２の段部60に押圧されて結晶保持部材12と第１の角度調整部材14とが固定される。 （もっと読む）

【課題】 小型であってレーザビーム軸の調整を簡単に行うことができるレーザダイオード調整固定機構を提供する。
【解決手段】 角度用調整ねじ２３−１の順逆の回転でスリット２８の上方開口部の幅が変動し第１の角度調整部３２が上方又は下方に捩じれＬＤホルダ１８全体が上下いずれかに捩じれてレーザダイオード２５のレーザビーム射出方向（矢印ｅ）が上下いずれかに変動する。角度用調整ねじ２３−２の順逆の回転でスリット２９の左方開口部の幅が変動し第２の角度調整部３５が左方又は右方に捩じれＬＤホルダ１８全体が左右いずれかに捩じれてレーザダイオード２５のレーザビーム射出方向（矢印ｅ）が左右いずれかに変動する。固定用ベース１９に対し移動用調整ねじ２１−１の順逆の回転でＬＤ（レーザダイオード）ホルダ１８が左右（Ｘ方向）に移動し、移動用調整ねじ２１−２の順逆の回転でＬＤホルダ１８が上下（Ｙ方向）に移動する。 （もっと読む）

【課題】レーザスキャンユニットを備えた画像形成装置において、ユニットのハウジング部材を治具に固定した状態で、コリメータレンズの位置調整と固定を容易に行なえるようにする。
【解決手段】レーザダイオード３１が実装された回路基板３２及びコリメータレンズ３３をハウジング部材４２に直接装着すると共に、ハウジング部材４２のレーザダイオード３１とコリメータレンズ３３を結んだ延長線上に、コネクタ４１を回路基板４０に接続するための開口４３を設ける。シリンダレンズ３５とポリゴンミラー３６をハウジング部材４２に組み込む前に、レーザダイオード３１を発光させ、コリメータレンズ３３を透過したレーザビームを開口４３からハウジング部材４２の外に出射させて、所定の側定器で測定する。この測定値に基いて、コリメータレンズ３３の位置を微調整し、光硬化性樹脂によって固定する。 （もっと読む）

【課題】ミラーのビーム軸の射出ターゲットに対する指向性の調整が容易で且つ正確に行なえると共に、振動等の外乱に対してもミラーの光軸の方向性能が損なわれることのない射出ビーム調整装置および射出ビーム調整方法を提供すること。
【解決手段】円筒状空洞部を有する固定枠体１１に、組込まれて設けられる第１の可動枠体１３と、ミラー２７を内設した第２の可動枠体１４とを具備し、第１の可動枠体１３は、開口端面の方向が中心軸ａ２に直交する面方向と所要の角度差を有するように設けられ、第２の可動枠体１４の開口端面が中心軸ａ３に直交する面方向と所要の角度差を有するように設けられ、第１の可動枠体１３および第２の可動枠体１４の少なくとも一方を、中心軸回りに回動させることにより、可動枠体１３および１４の開口端面同士が面接触状態を保持しながら上記ミラー２７を介して射出する射出ビームのビーム方向を任意に調整可能にする。 （もっと読む）

【課題】 調整が必要な被調整部材を調整ネジで取付ける取付構造において調整ネジを緩めても被調整部材が位置ずれしないようにする。
【解決手段】 調整が必要なレンズホルダの取付部８ｂに、ネジの切ってあるインサート金具１３を埋め込む。レンズホルダの取付部８ｂが取付けられる取付フレーム９ａに嵌合孔２１を形成し、この嵌合孔２１にショルダスクリュー２２が挿通される。ショルダスクリュー２２はネジ部２２ｂを有し、ネジ部２２ｂはインサート金具１３に締結される。ショルダスクリュー２２の本体部２２ａにはネジの切ってあるインサート金具２３が埋め込まれている。ショルダスクリュー２２の本体部２２ａを周囲から覆うようにカラー２４が取付けられる。調整ネジ２５はカラー２４を介してショルダスクリュー２２のインサート金具２３に締結される。以上の取付構造により調整ネジ２５を緩めてもレンズホルダの取付部８ｂは取付フレーム９ａに対して位置ずれしない。 （もっと読む）