【課題】 スクリーンとの距離が至近であっても、鮮明な大画面表示をすることができる画像表示装置に関する。
【解決手段】 光源から出射された光を画像表示素子に照射する照明光学系と、照明光学系からの照明光が照射され投射画像を形成する画像表示素子と、全体で正の屈折力を有し、画像表示素子によって形成された投射画像を被投射面に投射する投射光学系と、を有し、投射光学系は、複数のレンズ群からなるレンズ光学系と、第１ミラーおよび凹面ミラーである第２ミラーを有してなるミラー光学系と、を有してなり、第１ミラーと第２ミラーとの間に、レンズ光学系の光軸に最も近い画像表示素子に係る画素の中間像が形成され、画像表示素子と被投射面がなす角度は略直角であり、第１ミラーは、位置調整可能に保持されている。 （もっと読む）

【課題】反射ミラー基体を固定するための光学マウントを必要とせず、しかも調整可能な反射面の向きが1軸を中心とする回転方向に限定されず調整することが可能である。
【解決手段】反射ミラー基体10を保持する構造体である光学ステージ12に対して、この反射ミラー基体がその位置及び姿勢を調整可能な状態で直接固定された反射ミラー装置である。光学ステージには、第1繰り出し機構部20及び第2繰り出し機構部22が形成されており、これらの機構によって、反射ミラー基体の光学ステージに対する位置及び姿勢を調整することが可能な形態に構成されている。第1及び第2繰り出し機構部を具えていることによって、反射ミラー基体の反射面の向きが1軸を中心とする回転方向に限定されず調整することが可能とされている。 （もっと読む）

【課題】 折り曲げミラーの大型化を達成する方法及び、折り曲げミラーの載せ降ろし前後で面形状が変化しない方法を用いた露光装置を提供する。
【解決手段】 重力方向に対して傾きを持たせた少なくとも２つの光学部材を保持する反射ミラーユニット６０は反射ミラー（上）２４と反射ミラーベース上１と反射ミラー（下）２５と反射ミラーベース下２と反射ミラーベース上１、反射ミラーベース２に取り付けられた半球状部材５とベース部材３と光学部材の傾きを調整する調整部材８と半球状部材を支持するＶ凹形状保持部材４と反射ミラーベース下２を支持するキネマティック支持部材７を有し、
反射ミラーベース上１、反射ミラーベース下２に取り付けられた半球状部材５をミラーベース部材３のＶ形状保持部材で支持するキネマティックマウントで構成する。 （もっと読む）

【課題】副走査方向におけるカラー画像の色ずれを低減できる走査光学装置及びこれを搭載した画像形成装置を提供する。
【解決手段】筐体(30)と、この筐体内に取り付けられており、複数個の光源からの走査光を所定方向に偏向走査する回転多面鏡(42)と、モータ軸(46)を介して回転多面鏡を回転駆動させる駆動ユニット(44)と、筐体内にて傾斜した状態で主走査方向に沿って配置されており、回転多面鏡からの走査光を所定方向に折り返す平面鏡(52a,52b,54a,54b,56a,56b)と、筐体内に形成されており、この平面鏡の両端部分を支持するミラー支持部材(70a,70b)とを具備し、このミラー支持部材は、平面鏡の両端部分のうち、温度の高くなる端部分を１点で支持する単点支持部(71)と、温度の低くなる端部分を複数点で支持する多点支持部(72,73)とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学部材を固定する固定部材が回転することで光学部材への加圧点がずれるのを抑制することができる光学装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学走査装置１００は、ミラー１５２，１５３と、ミラー１５２，１５３の両端部が挿通可能な開口部１１５ａ，１１５ｂがそれぞれ形成された一対の側壁１０５ｂ，１０５ｃと、ミラー１５２，１５３の両端部を一対の側壁１０５ｂ，１０５ｃの開口部１１５ａ，１１５ｂにそれぞれ挿通させた状態で開口部１１５ａ，１１５ｂの内側であってミラー１５２，１５３の周囲に形成された隙間に装着されてミラー１５２，１５３を一対の側壁１０５ｂ，１０５ｃに固定する一対のミラー固定部材５０とを備え、ミラー固定部材５０は、突出部５１ｂと、第１の規制部５１ａと、板材の幅方向の両端側に形成された一対の切り起こし部５２ｂと、第２の規制部５２ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】光学要素とマウントからなるアセンブリを用意することであって、アセンブリされたときに光学要素の位置決め精度が向上され、マウントに作用を及ぼす環境影響を少なくすること。
【解決手段】光学要素１とマウント５からなるアセンブリであって、アセンブリされた光学要素は多数の接合板２を介して剛性のある中間リング３と結合されていて、中間リングはアクチュエータ４を介してハウジング７および／または別のマウントに接続するためにマウント５と結合されている。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系（４７）は、ＥＵＶ使用放射線ビーム（３）を用いて物体視野（１９）を照明するように機能する。事前設定デバイス（６，１０）は、照明パラメータを事前設定するように機能する。照明補正デバイスは、物体視野照明の強度分布及び／又は角度分布を補正するように機能する。照明補正デバイスは、物体視野（１９）の上流で使用放射線ビーム（３）が少なくとも部分的に印加される光学構成要素（１３）を有し、光学構成要素（１３）は、制御方式で駆動することによって変位させることができる。検出器（５０，５３）は、照明パラメータのうちの１つを取得するように機能する。評価デバイス（３１）は、検出器データを評価し、それを制御信号に変換するように機能する。少なくとも１つのアクチュエータ（６１，６２）は、光学構成要素（１３）を変位させるように機能する。露光中に、アクチュエータは、投影露光の期間中の検出器信号を用いて制御され、露光される物体（１８）の方向に物体視野（１９）のエッジに対して８μｍよりも小さい最大変位が保証される。その結果は、精度に対して最も厳しい要求が与えられた場合であっても、事前設定された照明パラメータとの整合性を保証するように用いられる照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】
重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子を鏡筒内から取り出し、加工を施し、再度、鏡筒内に搭載した場合に、その光学素子の面変形量を低減し、所定の面精度を再現できる光学素子保持装置を提供する。
【解決手段】
重力方向に交差する方向に伸びる光軸を有する光学素子と、前記光学素子の自重を受ける保持面を有する保持台と、前記光学素子の外周縁と前記保持台の前記保持面の間に配置され、前記外周縁側に平面を有し、前記保持面に接触する球面またはシリンドリカル面を有する台座と、前記光学素子の前記外周縁と前記台座の前記平面の間に配置された弾性部材と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学特性の調整を容易にし、被走査面を精度よく走査することを可能とする。
【解決手段】保持部材１４０に対して、振動ミラー１５０を軸Ｓ１を中心に回動可能に取り付け、さらに、軸Ｓ３を中心に回動可能に配置されたホルダ部材１６０に、保持部材１４０を軸Ｓ２に回動可能に取り付ける。これにより、保持部材１４０をホルダ部材１６０に対して回動することで、振動ミラー１５０をその偏向面の中心を移動させることなくＹ軸に平行な軸Ｓ２回りに回動することができ、ホルダ部材１６０を回転軸１６０ｂに対して回動することで、振動ミラー１５０をその偏向面の中心を移動させることなくＺ軸に平行な軸Ｓ３の回りに回動させることができる。 （もっと読む）

【課題】接着面の濡れ性を悪化させることなくミラー部材を収容する。
【解決手段】収容ケース２０に収容されたミラー１０を支持する場合に、収容部２２Ａ〜２２Ｂに設けられた第１支持部２２ａ、及び第２支持部２２ｂによって、ミラー１０の反射面の四隅と、Ｘ軸方向両端の外縁とを保持する。これにより、ミラー１０は点と線とで支持され、反射面とケース２１との接触面積をほぼ零とすることができる。したがって、ミラー１０の反射面とケース２１との干渉を回避して、反射面に傷などが生じることを防止することが可能となる。また、反射面に形成された保護膜１０ｃに傷が生じて、接着領域ａ２の濡れ性が低下することを抑止することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は同軸の光線束（１２）を形成するために個々の光ビーム（７、８、９、１０）を結合する装置に関する。この際、前記装置（１）は、複数の結合入力位置（３、４、５、６）と、前記同軸の光線束（１２）用に少なくとも一つの結合出力位置（１１）とを備え、前記結合入力位置の数は光ビーム（７、８、９、１０）の数に対応する。該装置は、特に、デジタル画像生成に用いられる多色光源として平行光線束を生成するのに適している。本発明による装置（１）は、前記光ビーム（７、８、９、１０）用の結合入力位置（３、４、５、６）及び前記光線束（１２）用の結合出力位置（３、４、５、６）を伴う装置ベース本体（２）と、前記光線束（１２）のビーム方向に対して前記個々の光ビーム（７、８、９、１０）を同軸上に配向するための調節器具（１４、１６、１８、２０）とを備える。前記同軸の光線束（１２）は、必要に応じて、前記結合出力位置（１１）において自由な光ビームとして出力することができ、あるいは接続要素を介して光導波路内に出力することができる。
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【課題】ミラーの配置を調整することが可能であると共に熱によるミラーのひずみが低減される光学走査デバイスを提供する。
【解決手段】光源１０２から発生させられる光を、ハウジング１０１に取り付けられる第一の端部及び第二の端部を備えた少なくとも一つのミラー１０７を介して対象１０６に照射し、且つ、該照射させられた光で該対象１０６を走査する光学走査デバイスにおいて、該少なくとも一つのミラー１０７の第一の端部は、該ハウジング１０１に可動に支持され、且つ、該少なくとも一つのミラー１０７の第二の端部は、該ハウジング１０１に接着される。 （もっと読む）

【課題】光学素子の角度を高精度で調整可能であり、角度調整後にロックネジを螺合することなく、そのまま設定角度が長期間安定する光学素子ホルダの実現。
【解決手段】ミラー46を装着する保持部材14と、保持部材14と対向配置されたベース部材12と、ベース部材12の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材14の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、保持部材14とベース部材12間を接合方向に付勢する圧縮コイルバネ70を備え、各角度調整ネジの軸にベアリング76のインナーレース76aを装着すると共に、そのアウターレース76bにプーリー78を装着し、このプーリー78間に弾性ベルト80を掛け渡した光学素子ホルダ10。 （もっと読む）

【課題】 弾性部材を介して光学部材を保持する場合に、光学部材の取り外しおよび再取り付けの前後における表面形状が変化してしまう。
【解決手段】 被保持部材の周縁部の少なくとも３箇所に設けられた保持部によって、ベース部材に前記被保持部材を保持する保持装置であって、前記保持部の各々は、前記ベース部材に繋がる弾性部材と、該弾性部材と繋がる第１部材と、前記被保持部材に繋がる第２部材とを備え、前記第２部材が前記第１部材に対してキネマティックに支持される。 （もっと読む）

【課題】温度負荷環境において光学部品に起因する特性変化を防止できる光学装置を提供する。
【解決手段】基台２と光学部品１４とが３点の接着部１７を介して接着されている接着構造を含む光学装置であって、３点の接着部１７は実質的に同一形状であり、各接着部１７の図心を結ぶ線は三角形１２を形成しており、三角形１７の図心１３は、光学部品１４の接着面に対し垂直で光学部品１４の重心１５を通る軸１６上にある。このことにより、基台２と光学部品１４とで線膨張係数が異なっていても、温度負荷時における光学部品１４の中心軸１６に作用する力が釣り合うので、光学部品１６の位置ずれを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】樹脂反射ミラーの高温時などにおける有効反射面の変形を抑えつつ、樹脂反射ミラーに外部から衝撃荷重が掛かっても樹脂反射ミラーの取り付け姿勢が許容程度以上に崩れるのを防止することである。
【解決手段】樹脂反射ミラー１は、第１の支持部材５と第２の支持部材３、４で支持される。第１の支持部材５は、ミラー支持部材に対し、樹脂反射ミラー１を、樹脂反射ミラー１の熱膨張を許す程度の加圧力で複数箇所において拘束してミラー支持部材に対する樹脂反射ミラー１の取り付け姿勢角度の精度を確保する。第２の支持部材３、４は、樹脂反射ミラー１に対し、樹脂反射ミラー１の取り付け姿勢角度の変動を所定の範囲のみでしか許容しない様な一定のクリアランスを確保する。 （もっと読む）

【課題】効率的な調整作業により所望の光学性能を得ることができる投射光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】４枚の曲面ミラー２５，２８，３０，３１とＤＭＤ３を下側及び上側台座部品１１，１２に取り付ける。曲面ミラー２５〜３１は、最もＤＭＤ３側に配置された凹面ミラー２５と、この凹面ミラー２５の次段に配置された凸面ミラー２８とを含む。凸面ミラー２８の位置及び傾きを固定し、凹面ミラー２５の位置及び傾きのうち少なくとも３軸を調整する（ステップＳ１１−２〜Ｓ１１−４）。 （もっと読む）

外周領域を有している光学要素（１８，２１）、特にレンズまたはミラーを、光学要素（１８，２１）の外周領域に配置されている少なくとも３つの被支持部位（１７）を介して担持体（６）に対し相対的に支持するための装置。光学要素（１８，２１）は被支持部位（１７）を介して少なくとも１つの方向で伸縮性弾性要素（１４，１５，１６）により非確動的に保持されている。各被支持部位（１７）ごとに伸縮性弾性要素が担持体本体（２）を備えた支持装置（１）内にある。支持装置（１）は光学要素を担持体（６）で静力学的に保持している。
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【課題】 光軸方向への１軸並進／２軸傾動の低ヒステリシスで正確な位置調整を可能とする、反射鏡支持調整機構を提供することを目的とする。
【解決手段】 矩形反射鏡６の鏡フレーム部は、トップ鏡フレーム７１、サイド鏡フレーム７２、ボトム鏡フレーム７３、リア鏡フレーム７４から構成される。ベース部は、第１ベース１１、第２ベース１２、第３ベース１３、トップベース１４、第５ベース１５、ボトムベース１６から構成される。ベース部には、高精度なアクチュエータ２が、その駆動軸と光学系の光軸方向Ｚとが平行になるように、上側に１箇所、下側に２箇所取り付けられている。更に、鉛直板バネ３、水平板バネ４、先端板バネ５を備えている。 （もっと読む）

【課題】自由曲面反射ミラーの熱変形による影響をその有効反射範囲からほぼ外し、有効反射範囲さらには表示領域には実質的な影響が出ない様にする自由曲面反射ミラーの支持方法である。
【解決手段】自由曲面反射ミラー１は、左右対称かつ上下非対称形状であって表示領域よりも１０％以下で広い範囲を持つ有効反射範囲２を有する。自由曲面反射ミラー１を支持するための拘束点を、有効反射範囲２の左右対称となる方向の頂点近傍に、２点３ａ，３ｂを設け、２点の拘束点３ａ，３ｂと２等辺３角形のほぼ頂点となる位置であって有効反射範囲２の上下非対称となる方向の頂点近傍に、他の１点３ｃを設け、有効反射範囲２の面積の８０％以上が２等辺３角形の面積に含まれる様な合計３点３ａ，３ｂ，３ｃで、自由曲面反射ミラー１を拘束・支持する。 （もっと読む）