【課題】支点部及び調整ネジの間にバネを配置すると、バネによる付勢力がミラー保持部材にもモーメントとして作用する。
【解決手段】ミラー４を保持するミラー保持部材３を、マウント部材２に、支点部８により傾動自在にかつ調整ネジ６により傾動角を調整自在に支持する。該調整ネジ６及び支点部８と一軸上に、前記ミラー保持部材３をマウント部材２に向けて付勢する圧縮バネ１０，１１を備えた座１２，１３を配置する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ集光ミラーを再現性よく位置決めするとともに、ＥＵＶ集光ミラーにおける歪みの発生を抑制する。
【解決手段】基板材と、基板材の第１の面に設けられた反射膜と、基板材の第１の面と異なる第２の面に設けられた複数の突起部とを含むミラーと、複数の突起部をそれぞれ支持する複数の支持部であって、複数の突起部をガイドするための複数の溝がそれぞれ形成された複数の支持部と、複数の突起部を、複数の支持部の溝に向けてそれぞれ押し付ける複数のクランプ部と、を備えていても良い。 （もっと読む）

【課題】光学素子の角度を高精度で調整可能であり、角度調整後にロックネジを螺合することなく、そのまま設定角度が長期間安定する光学素子ホルダに対して、角度調整ネジの回転をスムーズにさせる改良を加える。
【解決手段】ミラー46を装着する保持部材14と、保持部材14と対向配置されたベース部材12と、ベース部材12の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材14の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、保持部材14とベース部材12間を接合方向に付勢する圧縮コイルバネ70を備え、各角度調整ネジの軸にベアリング76のインナーレース76aを装着すると共に、そのアウターレース76bにプーリー78を装着し、このプーリー78間に弾性ベルト80を掛け渡した光学素子ホルダ10において、各角度調整ネジの雄ネジ非形成部とブッシュ30との間にベアリング31を介装させた。 （もっと読む）

本発明は、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システムであって、第１光学コンポーネント（１１０，２１０，９１０）と、第２光学コンポーネント（１２０，２２０，９２０）と、第１光学コンポーネント及び第２光学コンポーネントの相対関係を６自由度で判定する測定構成体とを備え、測定構成体は、第１光学コンポーネント及び第２光学コンポーネントの相対位置を６つの異なる長さ測定部（１３１〜１３６；２３１〜２３６）で判定するよう構成され、該長さ測定部（１３１〜１３６；２３１〜２３６）は、第１光学コンポーネント（１１０，２１０，９１０）と第２光学コンポーネント（１２０，２２０，９２０）との間に直接延在する光学システムに関する。 （もっと読む）

光学素子を支持するフレームと、第一表面及び第二表面を有し、且つ、フレームを第一、第二、及び、第三の地点接触に位置付ける磁性吸引をもたらすベース部材とを含む、運動力学的な光学マウント。運動力学的な光学マウントは、第一表面から第二表面にベース部材を通じて延びるネジ山付き偏揺れ及び縦揺れ調節キャビティを更に含み、ベース部材の第一表面又は第二表面の何れかから偏揺れ及び縦揺れ調節キャビティ内に挿入し得るネジ山付き偏揺れ及び縦揺れ調節インサートと共に、第一表面又は第二表面の何れかの方向から地点接触のうちの２つ地点接触の調節を可能にする。
（もっと読む）

【課題】光学素子を迅速に且つ複数の方向に移動又は変位させることができる光学素子駆動装置、鏡筒、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子駆動装置４２は、第１ミラー２８の周縁部に配置される３つの駆動装置４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃを備えている。これら各駆動装置４１Ａ〜４１Ｃは、第１ミラー２８の光軸２８ａに平行な第１の方向への第１電磁気力と、前記第１の方向に交差すると共に、第１ミラー２８の周縁部に沿った第２の方向への第２電磁気力とを発生する駆動源４５をそれぞれ有している。 （もっと読む）

【課題】 熱的展開を伴う巻尺および前記巻尺を備える展開可能な構造を提供する。
【解決手段】 本発明は、少なくとも２層の堆積を含む巻尺（１０）であって、この巻尺（１０）が複合材料（１１）をベースとした支持層と呼ばれる第１の層と、使用状態において、その要素を巻かれたまたは折り畳まれた位置に維持するために、ポリマーがガラス状態にあるような高いガラス転移温度を有する前記ポリマーをベースとした最上層（１２）と呼ばれる層とを含むことを特徴とする巻尺（１０）に関する。
本発明は、さらに、とりわけ宇宙用途を対象とした前記巻尺を含む展開可能な構造に関する。 （もっと読む）