【課題】支点部及び調整ネジの間にバネを配置すると、バネによる付勢力がミラー保持部材にもモーメントとして作用する。
【解決手段】ミラー４を保持するミラー保持部材３を、マウント部材２に、支点部８により傾動自在にかつ調整ネジ６により傾動角を調整自在に支持する。該調整ネジ６及び支点部８と一軸上に、前記ミラー保持部材３をマウント部材２に向けて付勢する圧縮バネ１０，１１を備えた座１２，１３を配置する。 （もっと読む）

【課題】精度上の要求を満たしつつ、大型化及び軽量化の両立を可能にするミラー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１４を形成する板状の母材１１が、板ガラスを加熱によって軟化させ湾曲させることで形成されるととともに、研磨を含む表面仕上処理を施した光学面である表面１１ａを有するので、ミラー本体１０の光学的な精度を高めることができる。すなわち、母材１１の表面（光学面）１１ａは、加熱を利用した湾曲によって所望の曲率を有する曲面になっているだけでなく、研削や研磨といった表面仕上処理によって精度劣化につながる微視的な凹凸や巨視的な凹凸が除去されて光学的に精密なものとなっている。よって、この表面１１ａ上に反射膜１４を形成することにより、湾曲した板状でありながら高精度の反射面を有するミラー本体１０を得ること。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ集光ミラーを再現性よく位置決めするとともに、ＥＵＶ集光ミラーにおける歪みの発生を抑制する。
【解決手段】基板材と、基板材の第１の面に設けられた反射膜と、基板材の第１の面と異なる第２の面に設けられた複数の突起部とを含むミラーと、複数の突起部をそれぞれ支持する複数の支持部であって、複数の突起部をガイドするための複数の溝がそれぞれ形成された複数の支持部と、複数の突起部を、複数の支持部の溝に向けてそれぞれ押し付ける複数のクランプ部と、を備えていても良い。 （もっと読む）

【課題】光学アセンブリにおけるビーム経路に交換可能な光学部品を十分な精度と再現性を持って配置すること。交換機構及び交換可能な光学部品から妨害的な振動が光学アセンブリに伝わるのを防ぐこと。交換機構によって生成される粒子によって、光学アセンブリ又はそれに備わるそれぞれの光学部品の汚染を防止すること。
【解決手段】複数の光学部品（２）を有する光学アセンブリ（１）に関し、少なくとも１つの光学部品（２’，２”）は光学アセンブリ（１）から可動的に分離された構造体（５）に接続され、これによって上記光学部品（２’、２”）はその他の光学部品（２）及び光学アセンブリ（１）からも十分に可動的に分離される。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィ装置の投影システムといった真空光学システム内の光学要素のための向上された冷却配置を提供する。
【解決手段】 真空環境で動作する光学要素を熱調節する方法である。光学要素は少なくとも１つの光学面と少なくとも１つの熱伝達面を有する第１の本体を含む。第１の本体は位置および／または向きにおいて動的に制御される。かかる方法は、第２の熱伝達面を含む第２の本体の温度を所望の温度に制御することと、第２の本体を第１の本体に隣接して位置決めし、本体間に接触がない状態で実質的に一定の配置に第１および第２の熱伝達面を維持するように位置および／または向きにおいて第２の本体を動的に制御することと、第１および第２の熱伝達面によって画定される熱伝達空間内にガスを熱伝達媒体として送出する一方で、熱伝達空間内のガスの圧力を約３０Ｐａと約３００Ｐａの間の所定値となるよう制御することとを含む。 （もっと読む）

光学素子を支持するフレームと、第一表面及び第二表面を有し、且つ、フレームを第一、第二、及び、第三の地点接触に位置付ける磁性吸引をもたらすベース部材とを含む、運動力学的な光学マウント。運動力学的な光学マウントは、第一表面から第二表面にベース部材を通じて延びるネジ山付き偏揺れ及び縦揺れ調節キャビティを更に含み、ベース部材の第一表面又は第二表面の何れかから偏揺れ及び縦揺れ調節キャビティ内に挿入し得るネジ山付き偏揺れ及び縦揺れ調節インサートと共に、第一表面又は第二表面の何れかの方向から地点接触のうちの２つ地点接触の調節を可能にする。
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【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

光学アセンブリ（２９）は、ミラー本体（２６）を有する少なくとも１つのミラー（２４）を備える。ミラー（２４）は、第１支持体部分（３１）及び第２支持体部分（３２）を有する支持体（３０）により担持される。少なくとも１つの熱的に分離する領域（３３）を、２つの支持体部分（３１、３２）間に配置する。支持体部分（３１、３２）の少なくとも一方又はそれに熱的に結合した本体の、少なくとも１つの表面部分（３８、４１）を、変更表面部分（３８、４１）の熱放出係数ε_ｍが非変更表面部分の熱放出係数ε_ｕと少なくとも１０パーセント異なるよう変更する。その結果、熱放出係数を予め決定することにより熱安定性が向上した光学アセンブリが得られる。 （もっと読む）

【課題】従来の反射ミラー支持機構では、落下等の衝撃が加わった際に、反射ミラーが位置ズレし易かった。
【解決手段】光を反射する反射ミラー２２の反射面に接し、その反射面を弾力性をもって押圧する弾性支持部３３と、弾性支持部が接する反射面とは反対側の背面に先端が接触する調整ピン３１とを備え、調整ピン３１の先端を前後させることにより反射面の位置を調整する。そして、反射ミラー２２以外の所定部分に係止される係止部と、反射ミラー２２の少なくとも１つの側面３５に接触してまたは近傍に配置され、反射ミラー２２の移動を規制する移動規制部３４とを有するミラー支持部材３２を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス露光装置等の精密光学機械において、光学素子の変形を抑制することのできる光学素子保持機構等を提供する。
【解決手段】光学系鏡筒内のミラー１（光学素子）は、３組の保持部材セット１０で保持されている。これら保持部材セット１０は、ミラー１側周面に１２０°振り分けられて分散配置されている。保持部材セット１０は、リングに連結される連結部材１８を備えている。連結部材１８の内側には、ミラー１側周面に接着剤１７で接着される接着部材１６と、この接着部材１６からミラー１の周方向の双方向にそれぞれ延びる２枚の板バネ１１とが設けられている。板バネ１１は、２枚のバネ片１２が剛体片１３を挟んで直列に接続されてなる。板バネ１１はミラー１の径方向に容易に変形できる。そのため、ミラー１の不均一な局所変形を小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、色ずれのないカラー画像を提供できる画像形成装置およびその画像形成装置に適した光走査装置を提供することにある。
【解決手段】この発明の光走査装置１は、色分解された色成分に対応するＹ，Ｍ，ＣおよびＢの４本のレーザビームＬをひとまとめにした状態で偏向する光偏向装置５と、光偏向装置により偏向された４本のレーザビームを、対応する画像が形成される第１ないし第４の感光体ドラム５８ (Ｙ，Ｍ，ＣおよびＢ) のそれぞれに案内する第１ないし第３の折返しミラー３３Ｂ，３３Ｙ，３３Ｍ，３３Ｃ，３５Ｙ，３５Ｍ，３５Ｃ，３７Ｙ，３７Ｍおよび３７Ｃと、それぞれのミラーにより感光体ドラムに向けて折返された４本のレーザビームに対して所定の角度で配置された第１ないし第４の平行平板ガラス３９Ｂ，３９Ｙ，３９Ｍならびに３９Ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】角度調整時に比較的強い保持力を確保できると共に、必要な調整幅に応じて保持力を柔軟に加減でき、ロック時における位置ずれも生じにくく、製造も容易なミラーホルダを提供する。
【解決手段】ミラー保持部材14と、ベース部材12と、複数の角度調整ネジ22,24,26と、連結ネジ30と、皿バネ群34と、皿バネ群34を収納するための凹部32と、連結ネジ30の先端を挿通させる貫通孔33と、皿バネ群34の圧縮応力を受け止める段部32aと、ミラー保持部材14に形成されたネジ穴44とを備え、連結ネジ30を皿バネ群34に挿通させ、その先端をミラー保持部材14のネジ穴44に螺合させることにより、皿バネ群34が連結ネジ30の頭部30aと段部32aとの間に配置されることを特徴とするミラーホルダ10。 （もっと読む）

【課題】角度調整可能に光学部品を固定するに際し、押圧力の均等性を維持し、正確にその光学部品を支持することが可能な光学部品固定機構を提供する。
【解決手段】調整ビス３０７、第１突起部３０８、及び板バネ３００等の弾性部材をミラーＭＩ等の光学部品の両端に取り付ける。第１突起部３０８は、調整ビス３０７による設置角度変更の支点となる。板バネ３００は、ミラーＭＩの端部側面（ＩＩＩ面）の調整ビスに近い方を押圧するビス側押圧部と、ＩＩＩ面の第１突起部３０８に近い方を押圧する突起側押圧部とを有する。さらに、上記突起側押圧部は、光学部品の調整ビスによる設置角度の変更に連動して、押圧力が変更されるよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】保持による歪み及び熱膨張による歪みがなく高制度に光学素子を保持する。
【解決手段】光学素子１４と、光学素子を保持する保持部材１８と、光学素子を保持部材に固定する固定部材５０ａ〜５０ｃ，５１ａ〜５１ｃとからなる。光学素子は、３つのＸ方向取付基準部２８ａ〜２８ｃと周縁部から突出する３つの耳部２７ａ〜２７ｃとを有し、耳部に３つのＹ，Ｚ方向取付基準部２９ａ，２９ｂ，３２を有する。保持部材は、光学素子の３つのＸ方向取付基準部が当接する３つの当たり面４８ａ〜４８ｃと、光学素子の３つのＹ，Ｚ方向取付基準部が当接する３つの位置決め部４９ａ〜４９ｃとを有する。固定部材は、３つのＸ方向取付基準部を３つの当たり面に付勢する３つのＸ方向押さえばね５１ａ〜５１ｃと、３つのＹ，Ｚ方向取付基準部を３つの位置決め部に付勢する３つのＹ，Ｚ方向押さえばね５０ａ〜５０ｃとからなる。 （もっと読む）

【課題】 ミラーが駆動系等の振動の影響により振動して、そこに入射する光の反射光の結像位置が狙いの位置からずれてしまわないようにする。
【解決手段】 ミラー１１の光を反射させる反射面１１ａに略直角な下側のミラー端面１１ｂを、その長手方向の略中央付近の領域ａ，ｂの２個所について、ミラー端面１１ｂの他の部分よりも面粗さを粗くする処理をした面１１ｃ，１１ｄとし、その面粗さを粗くした部分の面１１ｃ，１１ｄを支持部材１３，１４で下側から保持して支持する。それにより、ミラー１１の面１１ｃ，１１ｄと支持部材１３，１４との間には大きな摩擦力が生じるので、ミラー１１の振動が低減される。 （もっと読む）

【課題】ミラーを均一な荷重で固定部材に固定し、高い平面度を維持する事ができる光学装置のミラー保持構造を提供する。
【解決手段】表裏面が平行なミラー２９の所定の端部を保持してミラー２９を反射面として用いる光学装置の固定部材に固定する弾性支持部材４０の保持具であって、弾性支持部材４０は、ミラー２９の所定の端部を挟持する略コノ字状のバネ性を有する弾性材部４１と、弾性材部４１の略コノ字状の上下辺に設けられミラー２９の表裏両面に対向して当接する球面形状の加重部と、を備え、前記ミラーの反射面でない裏面に配置される弾性支持部材４０の球面形状の加重部を前記固定部材へ固定する。 （もっと読む）

本発明は、減衰圧電性平滑画像作動装置を有するライトエンジンを備えられた投射型ディスプレイに係る。ライトエンジンは、ミラー及びミラーを位置付けるアクチュエータを有する。アクチュエータは、アクチュエータをミラーに対して結合するチルト手段を有する。チルト手段は、そこに取り付けられた減衰材を有する。減衰材は、高分子材料であり得る。
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