【課題】構造体において発生する不要な周波数の振動を低減することができる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、構造体２、圧電素子５、基台４、および突出部４４を備える。構造体２は、ミラー部２１、一対の捩れ梁部２２、および本体部２３を有する。ミラー部２１は、揺動軸Ｏを中心として揺動可能に支持される。一対の捩れ梁部２２は、ミラー部２１を揺動可能に支持する。本体部２３には、一対の捩れ梁部２２の各々のうち、ミラー部２１に接続する端部とは反対側の端部が接続される。圧電素子５は、本体部２３の一方の板面に接合され、ミラー部２１を共振揺動させるための振動力を発生させる。突出部４４は、基台４から突出し、本体部２３のうち圧電素子５が接合される板面の反対側の板面に固定される。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーでではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレート５８に連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互に連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部が揺動される際に、構造体の振動を抑制することが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】平板状の構造体と、構造体の一部が固定される台座と、駆動部とを備える光スキャナである。構造体は、ミラー部と、ミラー部を両持ち支持する捩れ梁部と、捩れ梁部の端部に連結され、ミラー部から離間する方向に延出する本体部とを有する。本体部には、捩れ梁部の端部よりもミラー部から離間した位置に貫通孔が形成される。貫通孔よりもミラー部から離間した位置には、台座に対して固定される被固定部が設けられる。橋渡し部分は、捩れ梁部の長手方向に沿う方向に伸長し、貫通孔を橋渡しすることで本体部と被固定部分とを接続する。 （もっと読む）

【課題】待機状態における消費電力が小さく、待機状態からの復帰時に速やかに画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】輝度変調部６は、光源１２が出射する光ビームＬの輝度を、画像情報Ｖに応じて変調する。揺動面２２は、Ｘ軸方向に揺動し、光源１２から出射された光ビームＬをＸ軸方向に走査する。駆動部２６は、揺動面２２を揺動させるように駆動する。揺動面３２は、Ｙ軸方向に揺動し、光源１２から出射された光ビームＬを第２の方向に走査する。揺動面３２を揺動させるように駆動する駆動部（３６，３７）と、処理部５は、輝度変調部６、駆動部２６、駆動部（３６，３７）の駆動をそれぞれ制御し、光源１２の駆動を一時的に停止させる待機状態への移行を命令する待機命令信号Ｓｂを入力した場合において、駆動部（３６，３７）の駆動を停止させるように処理する。 （もっと読む）

【課題】振動素子のトーションバーの真直度を向上させることにより、該振動素子の異常振動を抑止し、振れ角の拡大を図ることができる振動素子、光走査装置及びこれを用いた画像形成装置並びに画像投影装置を提供する。
【解決手段】金属合金からなるトーションバーと前記トーションバーの一部に設けられている揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部とを備え、前記トーションバーは、引張り加工または必要に応じてしごき加工が施された材料、または、材料の真直度が略等しいものを背中合わせにして接合してなる材料を振動素子として構成する。 （もっと読む）

【課題】光検出素子のミラー部の角度を検出する検出部の特性変化があった場合でも、光検出素子のミラー部の角度を精度よく検出することができる光走査装置及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０を両側から支持する一対の梁部の捻れ変位によりミラー部１０が揺動軸Ｌｙ回りに揺動してミラー部１０により光束を走査する光走査素子と、光走査素子へ駆動信号を出力してミラー部１０を揺動軸回りに揺動させる制御部と、ミラー部１０の揺動軸Ｌｙ回りの角度を検出する検出部と、ミラー部１０の揺動軸Ｌｙ回りの角度が、光束を走査する角度範囲外の所定角度以上となることを規制する規制部材１７ａ，１７ｂとを備え、制御部は、規制部材１７ａ，１７ｂに到達するようにミラー部１０を揺動軸Ｌｙ回りに回動させ、検出部により規制部材１７ａ，１７ｂにミラー部が到達したと判定したときの検出部による検出結果に基づき、駆動信号の波形を調整する。 （もっと読む）

長形帯状片（１０）とサブアセンブリ（１２）を含むトートバンド型レゾナントスキャナが開示される。長形帯状片は長手方向への長さと、長手方向に垂直な幅方向への幅と、幅方向と長手方向の両方に垂直な厚さ方向への厚さを有し、厚さは幅より実質的に小さく、幅方向と長手方向は、帯状片の幅／長さ平面を規定する。サブアセンブリは、帯状片の一部に取り付けられ、２つの半分割部分（１４、１６）を含む。帯状片の熱膨張率は、ハウジング内のその取付構造のそれと同じである。
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【課題】形状の自由度が高く、薄型化・軽量化が容易で、配線形成コストが低く、且つ、寸法変動が小さい振動ミラー用台座およびこれを用いた光走査装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を走査して被投影面に映像を投影する振動ミラーと、該振動ミラーを支持する台座とを備える光走査装置において、台座を液晶ポリエステルから構成する。台座の成形方法としては、例えば射出成形を使用することができるが、他の方法でもよい。 （もっと読む）

【課題】周辺部材に振動が伝わることを極力防止可能な可動部を備える光スキャナを得る。
【解決手段】正四角錐状の凹部２０３は、異方性エッチングにより形成される。ウェハ上に正方格子状のマスキングを施し、ＫＯＨ、あるいは水酸化テトラメチルアンモニウムを用いて異方性エッチングを行う。マスキングを施された部位が第１及び第２の突起２４０、２５０における等脚台形の断面において、頂辺を形成する。異方性エッチングは、マスキングされた部位から斜め方向にウェハを腐食させる。腐食により、正四角錐状の凹部２０３の斜面が形成される。等脚台形の長辺と正四角錐の斜面との角度は約５４．７度である。正方格子状のマスキングにおいて、格子どうしの距離は、光反射面２０１と裏面２０２との間の長さが約２から５μｍとなるように決定される。これにより、複数の正四角錐状の凹部２０３が格子状に裏面２０２上に並べられる。 （もっと読む）

【課題】受光部にて受光される背景光ノイズを低減すると共に、対象物からの微弱な戻り光を受光部にてより的確にとらえ、且つ、装置の小型化等を図る。
【解決手段】光学装置１０は、レーザ光源１２及びコリメートレンズ１４と、コリメートレンズ１４から出射されたレーザ光の反射角度を変更するように回動可能とされると共に、両面が反射面２６Ａ，２６Ｂとされて一方の反射面２６Ａでコリメートレンズ１４から出射されたレーザ光を反射し他方の反射面２６Ｂで対象物からの戻り光を反射する走査ミラー２６を有して構成されたメムスミラー１６と、一方の反射面２６Ａで反射されたレーザ光が他方の反射面２６Ｂの向く側に出射されるように、一方の反射面２６Ａで反射されたレーザ光を複数回反射させて対象物に向けて出射させる光線方向変換鏡１８と、他方の反射面２６Ｂで反射された戻り光を受光する結像レンズ２０及び受光素子２２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】低速走査部固有の不要な共振の影響を抑制することができる画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、画像信号に応じた光を出射する光源部と、第一の走査方向に対して相対的に高速に光を走査する高速走査部と、第一の走査方向とは略直交する第二の走査方向に対して相対的に低速に光を走査する低速走査部と、を備えた。画像表示装置は、低速走査部の走査領域を略二分する第一走査領域の光と第二走査領域の光をそれぞれ光軸の異なる第一光路と第二光路とに分岐する光路分岐部と、光路分岐部で第一光路と第二光路に分岐した第一走査領域の光と第二走査領域の光とを同一光軸の光路に合流させる光路合成部と、第一走査領域と第二走査領域とでそれぞれ連続して異なる画像フレームの光を光源部から出射させる制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の中心位置の上下方向の変位が小さく、駆動周波数以外の振動成分の影響を受けにくく、レーザー光の走査精度が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】基板１は、ミラー部４を支持する梁部３を軸対称として長手方向両端部が各々支持部５に固定されている。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わっても櫛歯電極が破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、可動板２と固定フレーム４との間に設けられた櫛歯電極５と、可動板２のうち櫛歯電極５の近傍部位に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、固定フレーム４に向けて突設されており、可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が固定フレーム４に接触し、可動板２の側方への変位が制限される。従って、外部から衝撃が加わっても、櫛歯電極５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１と、この支持体１に支持された第一の支持部２と、この第一の支持部２の他端に支持された第一のアーム３と第二のアーム４とからなる音叉振動子６と、この音叉振動子６の振動中心９に支持された第二の支持部１１と、この第二の支持部１１の他端に支持されたミラー部１２とを備え、前記第二の支持部１１をミアンダ形状と、この第二の支持部１１の一部に振動を制御するためのモニター用圧電素子８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部とを備えている。光走査装置は、ミラー支持部を通り、反射ミラー面を横断する軸を中心として反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる。光走査装置は、枠体とミラー支持部とを別体に設けた。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーを用いた光走査装置において、振動ミラーの動作時における光源手段である半導体レーザーへの戻り光の影響によるパワー変動を防止する。
【解決手段】光源手段１０７，１０８、光源手段を変調駆動する光源駆動手段、光源手段から射出される光ビームを偏向して主走査領域を往復走査する偏向手段１０６、偏向手段からの光ビームを被走査面上に導く走査結像光学系１２５、偏向手段からの光ビームを一以上の検出面で検出する光ビーム検出手段ＰＤ１、ＰＤ２を有し、偏向手段の反射面の最大振れ角が、光源手段から射出される光ビームの偏向手段の反射面への入射角よりも大きい。光源手段の発光光量を制御する光源駆動手段を備え、光源駆動手段には、非画像形成期間のうち、偏向手段の最大振れ角から主走査領域を走査する走査角に至る期間に光源手段１０７，１０８を強制消灯する発光量制御期間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】製造を比較的簡単なものとしつつ、優れた振動特性を発揮することができるアクチュエータおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、可動板２２と、可動板２２を回動可能とするように可動板２２に連結された１対の連結部２３，２４とを備える振動部と、振動部を支持する支持部２１と、可動板２２を回動させる駆動手段とを有し、振動部は、可動板２２の回動中心軸Ｘに沿った方向での１箇所で第１の部材２Ａと第２の部材２Ｂとに分割され、第１の部材２Ａと第２の部材２Ｂとが接合膜を介して接合されており、接合膜６は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳデバイスの振動を用いた光スキャナにおいては、光のスキャンに機械的振動を使用しているため、外部から振動が与えられた場合にスキャン動作が突発的に変動してしまい、動作不良となることがある、という課題があった。
【解決手段】 光源と、振動により光をスキャンする可動片により構成される光スキャナであって、スキャンされた光ビームを検知する１つあるいは２つ以上の手段と、該光ビーム検知手段により得られた時間情報に基づいて可動片の振動状態を判定する手段と、該判定手段により異常振動と判定された場合にスキャン動作を中止する手段を有する光スキャナとする。 （もっと読む）

【課題】揺動体が設けられた部分とは別の部分に光検出器を設けなくてよく、装置の小型化が容易となる光スキャナを提供することである。
【解決手段】光源から発生した光ビームを走査する光スキャナは、支持部107と、支持部に対して揺動軸の回りに揺動可能に支持された揺動体101、104と、揺動体を駆動するための駆動手段とを有する。少なくとも1つの光検出器108が支持部107に設けられ、少なくとも1つの揺動体101には光反射素子が設けられる。駆動手段により揺動体を揺動させることで、光ビームを反射して走査範囲に走査するとき、所定の走査角の光ビームを光検出器108に導光する様に走査範囲内に反射部が設けられている、 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能な可動板２１と、可動板２１の板面と対向するように設けられ、可動板２１または可動板２１と接合された付属物（永久磁石７１〜７４）との衝突により可動板２１の挙動を規制する規制部材６１〜６４とを有し、規制部材６１〜６４は、可動板２１が衝突する部分に緩衝部６１２〜６４２を備えており、可動板２１が緩衝部６１２〜６４２に衝突することで、緩衝部６１２〜６４２が可動板２１の慣性力を吸収しつつ、可動板２１の挙動を規制するように構成されている。 （もっと読む）