【課題】 長期に亘って安定した分光特性を有するＮＤフィルターを提供することを目的とする。また、多数の濃度または連続的に変化する減衰率を有する薄膜型ＮＤフィルターを容易に且つ一体化して供給可能とするＮＤフィルターの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る薄膜型ＮＤフィルターは、光透過性の基板上に１層以上の透明誘電体膜と低級金属窒化膜とが積層形成されてなることを特徴とする。また、本発明に係る他の薄膜型ＮＤフィルター６１は、光透過性の基板６２上に１層以上の透明誘電体膜６３ａ，６３ｂ，６３ｃと光吸収膜６４ａ，６４ｂとが積層形成されてなる薄膜型ＮＤフィルターであって、上記透明誘電体膜６３ａ，６３ｂ，６３ｃは同一膜内において略等しい膜厚を有し、上記光吸収膜６４ａ，６４ｂは同一膜内において異なる膜厚を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 反射帯域の長波長側または短波長側で反射の落ち込み(リップル)を減少させ、必要とする波長域全体で一様な反射率が得られる赤外フィルターを提供する。
【解決手段】 赤外域光学用基板の表面及び裏面に形成された赤外フィルターであって、膜構成として[（０．５Ｍ）Ｈ（０．５Ｍ）]ｎ＾または[（０．５Ｈ）Ｍ（０．５Ｈ）]ｎ＾という一つの周期層を有する。 （もっと読む）