【課題】広い波長帯域で使用できる多層膜光学素子を単純な製造工程で得る。
【解決手段】この多層膜反射鏡１０においては、平坦な基板１１上に多層膜構造２０が、その上に上部積層構造３０が形成されている。多層膜構造２０においては、第１の高密度物質層２１と第１の低密度物質層２２とが周期的に積層されている。上部積層構造３０においては、第２の高密度物質層３１と第２の低密度物質層３２とが積層されている。多層膜構造２０と上部積層構造３０との界面において、第１の低密度物質層２２と第２の低密度物質層３２とが直接接するような積層順序とされる。従って、第２の高密度物質層３１の材料が第１の高密度物質層２１と等しく、かつ第２の低密度物質層３２の材料が第１の低密度物質層２２と等しい場合には、基板１１側から、ＡＢＡＢ・・・ＡＢＡＢＢＡという順序の積層構造が形成される。 （もっと読む）

【課題】可視光線透過率が高く、近赤外線遮蔽性に優れ、内部応力が小さいため高温・多湿な環境下でも変形しない透明導電膜及びそれを含むディスプレイフィルタを提供する。
【解決手段】本発明による透明導電膜は、透明基板上に第１屈折透明薄膜と金属薄膜とが繰り返し積層され、且つ第１屈折透明薄膜と金属薄膜との間に第１屈折透明薄膜よりも屈折率が低い第２屈折透明薄膜が積層されてなる透明導電膜であって、ここで、第２屈折透明薄膜は、その厚さが第１屈折透明薄膜の厚さに対して１０％以上、６５％以下で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

特にＥＵＶリソグラフィ装置用の応力低減型反射光学素子を構成する軟Ｘ線及び極端紫外線波長域内の作業波長用の反射光学素子であり、前記反射光学素子は、基板（２）上に前記作業波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料（４１，４２）からなる第１の多層膜系（４）を備え、該多層膜系が前記基板（２）に層応力を及ぼし、前記基板（２）上に周期的に交互の少なくとも２つの材料（６１，６２）からなる第２の多層膜系（６）を備え、該多層膜系が前記第１の多層膜系（４）と前記基板（２）との間に配置され、前記基板（２）に反対方向の層応力を及ぼし、前記第２の多層膜系（６）の前記少なくとも２つの材料の第１の材料（６１）が、前記第２の多層膜系（６）の少なくとも１つの他の材料（６２）の１ｎｍまでの厚さの層によって、前記第１の材料（６１）がアモルファス状態で存在するような間隔で遮断されている。第２の実施例では、前記第２の多層膜系（６）の一つの材料はニッケル又はニッケル合金である。
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【課題】高い反射率を得ることが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明の多層膜反射鏡は、Ｍｏを主成分とするＭｏ層とＳｉを主成分とするＳｉ層とからなるＭｏ-Ｓｉペア層を積層した多層膜反射鏡であって、Ｍｏ-Ｓｉペア層におけるＭｏ層の厚さとＳｉ層の厚さの和が略一定であり、入射光の進行方向からみて、入射光が最初に入射する第１層目のＭｏ層から離れたＭｏ層であるに従い、Ｍｏ層の厚さが増大することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広い範囲の入射角度で反射特性を持ち、膜厚設計の自由度を向上させた軟Ｘ線ミラーを実現する。
【解決手段】Ｓｉ層１１とＭｏ層１２の交互層の一定膜厚構造に対して、各層の厚さ又は周期長を不均一にして、軟Ｘ線領域に対する反射特性を拡大するための最適化を行う。Ｓｉ層１１とＭｏ層１２の間には、この２種類の材料の界面拡散を防止する機能を有するＢ４Ｃ層１３を設けた不均一膜厚構造とすることで、ＭｏＳｉｘの形成による反射率の低下を防ぐとともに、膜厚設計の自由度を向上させる。 （もっと読む）

本発明は、入射光（１３５）を受け且つ入射光の光成分を選択して透過（１１５）させる干渉フィルタ（１００）に関する。干渉フィルタ（１００）は、金属ミラー（１１０）、誘電体ミラー（１３０）、及び金属ミラー（１１０）と誘電体ミラー（１３０）との間に配置されたスペーサ（１２０）を含む。金属ミラー（１１０）及び誘電体ミラー（１３０）は、スペーサ（１２０）内での光学干渉を可能にして、入射光の光成分を選択して透過させるように構成される。１つの金属ミラーと１つの誘電体ミラーとを用いることは、従来技術に係る手法に対して、フィルタ内の層の総数を削減し且つ透過サイドバンドを除去するのに必要な更なるフィルタの数を削減しながら、高いフィネス及び広い阻止帯域を有するスペクトル応答を達成することを可能にする。
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【課題】樹脂フィルムを基板とした低反射性と耐環境性に優れた吸収型多層膜ＮＤフィルターとその製造方法を提供する。
【解決手段】この吸収型多層膜ＮＤフィルターは、樹脂フィルム基板の少なくとも片面に誘電体膜層と吸収膜層とを交互に積層させて成る吸収型多層膜を具備し、吸収膜層が金属膜で構成され、誘電体膜層がＳｉＯｘ（但しｘは２未満）で構成されると共に、最表面側の誘電体膜層上にＭｇＦ_２膜層が積層され、更に、上記誘電体膜層はＳｉＣおよびＳｉを主成分とする成膜材料を用いた物理気相成長法により成膜された波長５５０ｎｍにおける消衰係数が０．００５〜０．０５のＳｉＯｘ（１．５＜ｘ＜２）膜により構成され、上記吸収膜層は物理気相成長法により成膜された波長５５０ｎｍにおける屈折率が１．５〜３．０かつ消衰係数が１．５〜４．０の金属膜により構成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバーを介してミラー部がフレームに対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)とを交互に積層した応力制御層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

本発明は、赤外線又は太陽放射線反射特性を有し、特に銀又は銀含有金属合金から製造された、金属機能性層（４０）と、２つの反射防止コーティング（２０、６０）とを含む薄膜積重体を主要面に備えたガラス基材（１０）であり、該コーティングはそれぞれ少なくとも２つの誘電層（２２、２４、２６；６２、６４、６６）を含んでいて、該機能性層（４０）が両方の反射防止コーティング（２０、６０）の間に配置されているガラス基材であって、各反射防止コーティング（２０、６０）が機能性層（４０）と接触又は近接した、すなわち機能性層（４０）から１０ｎｍ以内に、少なくとも１つの高屈折率誘電層（２４、６４）を含むことを特徴とするガラス基材（１０）に関する。
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【課題】特定波長帯の光を選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を透過することができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、光が入射する入射面を有する光学層と、光学層内に形成された波長選択反射膜とを備える。光学層が、波長選択反射膜の両主面にそれぞれ形成された第１の光学層、および第２の光学層を備える。第１の光学層は、波長選択反射膜が形成される面に１次元配列または２次元配列された構造体を有し、構造体の主軸が、入射面の垂線を基準にして構造体の配列方向に傾いている。 （もっと読む）

【課題】建築用および車両用安全グレージングにおいて非平面状のグレージングを容易に組み込んだ複屈折性誘電体多層反射フィルム及びそれらから作製される光学物品を提供する。
【解決手段】対象となる波長領域で少なくとも幅１００ｎｍの帯域の光の少なくとも５０％を反射する複屈折性誘電体多層支持体１５と、フィルムが可視光透過性であるようにかつその反射帯域が拡張されるように設定された厚さを有する金属もしくは金属合金の層１８と、架橋高分子層１６と、を含む可視光透過性かつ赤外線反射性のフィルムを含有するヒートミラーフィルムは、改良された赤外線反射性を有する。このフィルムは、金属もしくは金属合金の層を損傷または変形させる可能性を減少させた状態でグレージング（とくに、非平面状車両用安全グレージング）に接合またはラミネーションさせる。 （もっと読む）

【課題】特定波長帯の光を選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を透過することができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、光が入射する入射面を有する光学層と、光学層内に形成された波長選択反射膜とを備える。波長選択反射膜は、特定波長帯の光を選択的に指向反射するのに対して、特定波長体以外の光を透過するものである。入射角（θ、φ）（但し、θ：入射面に対する垂線と、入射面に入射する入射光または入射面から出射される反射光とのなす角、φ：入射面内の特定の直線と、入射光または反射光を入射面に射影した成分とのなす角）で入射面に入射した光のうち、特定波長帯の光を正反射（−θ、φ＋１８０°）以外の方向に選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を透過すると共に、特定波長帯以外の光に対して透明性を有する。 （もっと読む）

【課題】７層積層構造を基本形とし、高日射遮蔽性、視認性、意匠性（反射色が目立たない）に優れた透明積層フィルムを提供すること。
【解決手段】透明高分子フィルムの少なくとも一方面に、第１金属酸化物薄膜、第１金属薄膜、第２金属酸化物薄膜、第２金属薄膜、第３金属酸化物薄膜、第３金属薄膜、第４金属酸化物薄膜がこの順に積層された積層構造を有し、第１金属薄膜と第２金属薄膜との間の膜厚、および、第２金属薄膜と第３金属薄膜との間の膜厚が、５５ｎｍ〜８５ｎｍ以下の範囲内にある透明積層フィルムとする。第１金属薄膜、第２金属薄膜、および、第３金属薄膜から選択される１種または２種以上の薄膜の少なくとも一方面には、さらに金属酸化物より主に構成されるバリア薄膜が形成されていることが好ましい。 （もっと読む）

本発明によれば、二つの帯域干渉フィルター（12,14）を単一の複合干渉フィルター（10）の中に組み入れる干渉フィルター（10）が提供される。前記の二つのフィルターのそれぞれが、前記のフィルター表面に対して指定された角度で入射する光の同一波長に集中する少なくとも一つの帯域カーブ有する。しかしながら、前記のフィルター構成部材の帯域カーブシフトは同じではないことから、入射角が指定された角度からそれると、伝送された光が減少する。
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【課題】陰極側から光を出射する構成において、色純度、色再現性を高め、さらに、光の取り出し効率を優れたものとすることができる光学干渉フィルタを提供すること、また、高品位な画像を長期にわたり表示することができる表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】光学干渉フィルタ１０２は、互いに間隔を隔てて設けられ、光の一部を透過し残部を反射する機能を有する複数の半透過層１３を有し、互いに隣り合う２つの半透過層１３間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、当該２つの半透過層１３間の距離Ｌに応じた波長の光を外部に出射し得るように構成され、各半透過層１３は、Ａｇに、Ａｇとは原子半径の異なる添加金属を添加してなる金属材料を主材料として構成されている。 （もっと読む）

【課題】多層薄膜のカラーシフト効果を利用しつつ、特定のパターンを用いた偽造・変造が困難で真偽判別が容易なユニークな色調と色彩を有し、目視可能で偽造・変造・改竄などの不正行為が困難な情報を付与し、かつ、偽造・変造などの不正行為の事実を肉眼により簡単に判定可能な表示体及び光学効果機能の発現方法を提供する。
【解決手段】第一の基材上に、セラミックス薄膜層、透明樹脂薄膜層または金属薄膜層から選ばれる少なくとも１層以上の光学薄膜層を有する第一の積層体を具備し、第二の基材上に、セラミックス薄膜層、透明樹脂薄膜層または金属薄膜層から選ばれる少なくとも１層以上の光学薄膜層を有する第二の積層体を具備し、該第一の積層体と第二の積層体の光学薄膜層同士を重ねることで光学効果機能を発現する。 （もっと読む）

【課題】波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域において、高い反射率を有し、かつ耐熱性及び耐傷性に優れた広帯域反射鏡を得る。
【解決手段】波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域の光を反射するための広帯域反射鏡１であって、第１の高屈折率材料層と第１の低屈折率材料層とを交互に積層させた波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域のうち短波長側の帯域の光を反射するための第１の反射積層膜３と、第２の高屈折率材料層と第２の低屈折率材料層とを交互に積層させた波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域のうち長波長側の帯域の光を反射するための第２の反射積層膜４とを備え、第１の反射積層膜３が光の入射側に配置され、第２の反射積層膜４が、第１の反射積層膜３を透過してきた光を反射することができる位置に配置され、かつ両方の反射膜層の各屈折率材料が適切に選択されている。 （もっと読む）

スペクトル純度フィルタは、極端紫外線を反射するように構成される。スペクトル純度フィルタは、基板と、基板の上面上の反射防止コーティングとを含む。反射防止コーティングは、赤外放射を透過させるように構成される。また、スペクトル純度フィルタは、極端紫外線を反射し、かつ赤外放射を実質的に透過させるように構成された多層スタックを含む。 （もっと読む）

【課題】
光透過特性の入射角依存性を緩和することができ、薄型化およびコストの削減を図ることができるＩＲカットフィルタを提供すること。
【解決手段】透明基材２と、この透明基材２上に形成され、複数の誘電体薄膜５と複数の銀薄膜６とが積層されてなる多層膜３とを備え、多層膜３によって、光透過特性の入射角依存性が所定の限度内に抑えられていること。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィ機器に適用するＥＵＶ放射とＤＵＶ放射の比を拡大する多層ミラーを提供すること。
【解決手段】スペクトル純度増強層を上部に含む多層ミラーが提供され、スペクトル純度増強層は、第１スペクトル純度増強層を含むが、多層ミラーと第１スペクトル純度増強層の間に、任意選択で、中間層、又は第２スペクトル純度増強層及び中間層を設けることもできる。したがって、多層ミラー／第１スペクトル純度増強層、多層ミラー／中間層／第１スペクトル純度増強層、及び多層ミラー／第２スペクトル純度増強層／中間層／第１スペクトル純度増強層の構成の多層ミラーが可能である。ＥＵＶ放射よりもＤＵＶ放射が比較的大きく減少するように、垂直入射放射のスペクトル純度を高めることができる。 （もっと読む）