【課題】積層方向の光学特性を容易に微調整可能な光学素子の製造方法、および薄膜パターン基板を提供する。
【解決手段】薄膜パターン基板上に離型層を介して薄膜を形成し、薄膜をパターニングして光学素子３Ａ用の１層目〜１６層目の複数の薄膜パターン３０と、光学素子３Ｂ用の１層目〜１６層目の複数の薄膜パターン３１を形成して薄膜パターン基板を作製する。次に、光学素子３Ａを構成する複数の薄膜パターン３０のうち、２層目、４層目、６層目、１０層目、１２層目、１４層目、１６層目の薄膜パターン３０_２、３０_４、３０_６、３０_１０、３０_１２、３０_１４、３０_１６にフェムト秒レーザ光を照射して屈折率を変化させる。次に、薄膜パターン基板とターゲット基板との接合、離間を繰り返すことにより、複数の薄膜パターン３０、３１をターゲット基板に積層、転写して光学素子３Ａ，３Ｂを製造する。 （もっと読む）

【課題】画像表示装置がより少ない工程数によって作製され、光利用効率が高い。
【解決手段】光源１０１からの光は導光素子１０２へ導かれ、導光素子１０２内で光が反射を繰り返し、出射光に配置されたカラーフィルタ１０３へ達し、フィルタ１０３によって領域ごとに所定の光が出射され、透過型の空間光変調器である液晶素子１０４、偏光素子１０５によって画像が形成され、スクリーン面１０６に表示される。フィルタは、金属膜および非金属積層膜から成る積層膜が積層され、非金属積層膜には空孔によって所定ピッチの微細周期構造が形成されている。 （もっと読む）

【課題】広い入射角度範囲にわたり、高反射かつ、照度ムラの少ないＸ線用の多層膜ミラーを実現する。
【解決手段】基板１００上に、屈折率差を有するＳｉ膜１２とＭｏ膜１１を交互に積層してＸ線用の多層膜ミラー１０を形成する。入射光Ｒの入射角度が小さい左端位置Ａから入射角度２５度の斜入射の右端位置Ｂに向かって、増大する入射角度に合わせて周期長Ｍを最適化するとともに、周期長Ｍに対するＭｏ膜１１の膜厚比（γ）を増大させることで、反射率の入射角度依存性を低減する。このようにして、多層膜ミラーの反射光の照度ムラを抑える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、単純な構造により、所定の波長の光を選択的に反射する光学多層膜を提供することを目的とする。
【解決手段】 波長λの光に実質的に透明な透明薄膜層と金属層との周期的な交互積層構造を有し、前記波長λの光を選択的に反射することを特徴とする光学多層反射膜。 （もっと読む）

【課題】スパッタリングロールコータを用いて優れた光学特性を有する吸収型多層膜ＮＤフィルターを安定して製造する方法を提供する。
【解決手段】この製造方法は、光源11と、光源からの光を３光路に分配しその２光路を構成する第一、第二光ファイバ121、122が成膜室１内に導入される分岐光ファイバ12と、第一光ファイバから照射され薄膜が形成された樹脂フィルム100を透過した光を受光する第一受光ファイバ201の端部20、第二光ファイバから照射された光を受光する第二受光ファイバ202の端部19および第三光ファイバ123の端部18がそれぞれ接続される測定光切替器17とを備えた透過率モニターを用い、第一受光ファイバを経由し測定された透過率と第二受光ファイバを経由し測定された透過率を、第三光ファイバを経由し測定された光源光量に基づき補正すると共に補正値に対応させて成膜条件を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ（ＰＤＰ）ディスプレイの電磁波防止及び光フィルタリング機能を有する光学フィルタ部材を提供すること。
【解決手段】 透明樹脂基板を含み、連続マグネトロンスパッタリング法によって、透明樹脂基板の片面に、電磁波防止及び光フィルタリング機能を有する蒸着層と、蒸着層と重ね合わせ蒸着層の酸化または侵食を阻止するプラスチックフィルム層と、蒸着層と接触し引き出し電極とする金属薄膜とを成膜し、蒸着層はＴｉＯ_２／ＡＺＯＹまたはＩＴＯ／Ａｇ／ＡＺＯＹまたはＩＴＯ／ＴｉＯ_２に相当する膜系の反復蒸着層により構成された１３層または１７層の膜層構造とする。これにより、コストを大幅に削減することができ、生産性が高く、強度が高く、光透過率が高く、電磁波防止及び光フィルタリングの効果に優れ、長寿命化が得られる。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を均質化し、所望の角度範囲内に入る光線の出射を可能とする。
【解決手段】光源１０１からの光が導光素子１０２へ導かれ、導光素子１０２内で光が反射を繰り返し、多層膜１０３へ達する。多層膜１０３は、所定の角度内の光を透過し、所定の角度外の光を反射する角度制限機能を有する。多層膜１０３へ達した光の内、所定の角度内の光のみが、出射光１０４となって導光素子外へ出射され、所定の角度外の光は多層膜１０３で反射され、再び導光素子へ入射し、多重反射を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】Ｐ偏光と、Ｓ偏光との乖離を抑え、ランダム偏光に対して良好な反射率の特性を有すると共に、リップルを抑えた特性を有する光学素子等を提供すること。
【解決手段】屈折率が１よりも大きい媒質で形成された第１の光学部材１０１と第２の光学部材１０２と、多層膜部１０３とを備え、多層膜部１０３は第１の薄膜層と、第１の薄膜層よりも高い屈折率を有する第２の薄膜層との、少なくとも２種類の薄膜層が交互に積層された構造を有し、第１の光学部材１０１と第２の光学部材１０２とは、接着手段によって接合されており、所定の条件式を満足し、多層膜部１０３で、入射光のうち第１の波長帯域の光を反射させ、第１の波長帯域よりも短い第２の波長帯域の光及び第１の波長帯域よりも長い第３の波長帯域の光を透過させる特性を有する。 （もっと読む）

【課題】積層する膜の総数を少なくすることができ、かつ積層する各層の厚みを薄くすることができるとともに、光の入射角のずれによる透過帯域及び阻止帯域のシフト幅を小さくすることができ、かつ阻止帯域を従来よりも広くすることができる波長分離膜及びそれを用いた光通信用フィルタを得る。
【解決手段】高屈折率材料からなる第１の薄膜と低屈折率材料からなる第２の薄膜とを交互に積層した構成を備える波長分離膜であって、第１の薄膜がＳｉ薄膜であり、第２の薄膜が、Ｔａ_２Ｏ_５薄膜、Ｎｂ_２Ｏ_５薄膜、ＺｒＯ_２薄膜、またはＡｌ_２Ｏ_３薄膜であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】
亜鉛の酸化物を含む導電性積層体を用いた場合に、亜鉛を含む酸化物と接する接着材層が変質しない光学フィルターを提供することである。
【解決手段】
高屈折率薄膜層と銀または銀合金を含む金属薄膜層とを積層し、さらに亜鉛の酸化物を含む層を設けた導電性積層体と接着材層との間に、周期表第５族または第６族の元素を少なくとも１つ含む薄膜層を形成することにより、接着材層の変質を抑制した耐環境性における信頼性の高い光学フィルターを提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造によりコンパクトな光学素子を提供する。
【解決手段】屈折率が異なる二つの第１薄膜２、第２薄膜３を交互に積層した二つの第１反射領域５、第２反射領域６を有し、この二つの第１反射領域５、第２反射領域６の間に基板１よりも大きな熱膨張係数を有する材料からなる膨張領域４を挟んだ共振器構造を備え、温度を変化させることにより膨張領域４の光学長を変化させて、透過又は反射する波長を可変にする。 （もっと読む）

【課題】低コストで且つ狭帯域の波長フィルタリングが可能な波長フィルタ、及び該波長フィルタを使用した波長フィルタリング方法及び装置を提供する。
【解決手段】特定波長の反射光強度を低減する波長フィルタであって、入射部、出射部、及び前記入射部からの入射光に対する反射面を備えた光透過性部材と、前記反射面の外側に設けられた金属薄膜と、該金属薄膜の外側に設けられた誘電体薄膜とを備え、前記金属薄膜の厚さが１０〜１００ｎｍであり、前記誘電体薄膜の厚さが２００〜２００００ｎｍであることを特徴とする波長フィルタ。 （もっと読む）

本発明は、ガラス窓等用の赤外線反射層システムに関し、該層システムの特製は、熱処理後、例えば、ガラス窓を曲げたり、硬化した後でも維持される。銀を赤外線反射層として用いる。ＮｉＣｒＯｘとＺｎ（Ａｌ）Ｏｘの組み合わせを銀の下層ブロッカーとして用いる。また、化学量論的層もプレブロッカー層として用いる。具体的な作用点を、ＴｉＯｘＮｙの第１の誘電体層について選択する。二重下層ブロッカーとしてのＮｉＣｒＯｘとＺｎＡｌＯｘの層の厚さ及び酸化の程度と、ＴｉＯｘＮｙ基層の作用点の調和が、コーティングの焼き戻し性にとって重要である。
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【課題】様々な薄膜コーティング、電気光学要素、及びこれらの要素を組み込んだアセンブリを提供する。
【解決手段】電気光学要素は、多くの車両及び建築用途で一般的になっている。様々な電気光学要素構成は、窓及びミラーのための可変透過率及び／又は可変反射率を提供する。本発明は、様々な薄膜コーティング、電気光学要素、及びこれらの要素を組み込んだアセンブリに関する。 （もっと読む）

【課題】光学薄膜の内部応力のために基板が歪んだり膜剥がれが発生する等のトラブルを効果的に回避できる光学部品の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１の成膜面の反対側に、光学薄膜３を単独で基板１に形成した場合に基板１に生ずる反りとは逆の方向に反りを与える反り付与層２を、蒸着またはスパッタリングにより予め形成する工程と、反り付与層２の形成後に基板１の成膜面に蒸着またはスパッタリングにより光学薄膜３を形成する工程と、光学薄膜３の形成後に反り付与層２を除去する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射率に影響を与えることなく、多層膜ミラーが有する内部応力の解消を図ることが可能となる多層膜ミラーを提供する。
【解決手段】Ｘ線領域における、真空の屈折率との差が相対的に大きい屈折率を有する低屈折率層と、相対的に小さい屈折率を有する高屈折率層とを、交互に積層した多層膜を基板上に有する多層膜ミラーを構成する。
そして、このような多層膜ミラーの基板１１と多層膜１５との間に、元素の一部に置換型拡散可能で且つ原子半径が異なる他元素を含有させた材料で構成された応力緩和層１２が設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】多層膜反射鏡の膜応力による変形を抑え、反射率の低下を抑制することが可能となるＸ線領域の波長を有する光に対して用いられる多層膜反射鏡の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線領域における、真空の屈折率との差が相対的に大きい屈折率を有する低屈折率の物質による層と、相対的に小さい屈折率を有する高屈折率層とを、スパッタ法によって交互に積層した多層膜が形成される。
これらの多層膜をスパッタ法によって成膜する工程を、高屈折率層（Ｓｉ）の形成に圧縮応力の生じる方向に膜成長するスパッタガス（Ｎｅガス）を用い、低屈折率層（Ｍｏ）の形成に引張応力の生じる方向に膜成長するスパッタガス（Ｘｅガス）を用いる工程によって構成する。 （もっと読む）

【課題】 Ｓｉ層上に拡散層が形成されることによる反射率の低下を防止する多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】 基板表面にＭｏを主成分とする層６とＳｉを主成分とする層８を交互に周期的に成膜し、前記Ｓｉを主成分とする層８上に拡散防止層１０を形成した構造を有するＭｏ／Ｓｉ多層膜１２を備える多層膜反射鏡２であって、前記拡散防止層１０は、前記Ｓｉを主成分とする層８が有する原子間空隙に入る最大の球の半径の８０％以上の共有原子価半径を有する原子により構成される。 （もっと読む）

【課題】Ａｕを用いた無偏光ビームスプリッタにおいて、取扱時や加工時においてＡｕ層に傷がつくのを防止するとともに、Ａｕ層のプリズムからの剥離を防止し、且つ波長６４０〜８２０ｎｍの可視域の光に使用できるようにする。
【解決手段】第１のプリズムの斜面に、誘電体材料からなる１層以上の下地層、層厚１３〜３５ｎｍのＡｕ層、誘電体材料からなる１層以上の保護層を順次積層形成し、前記保護層の最外層と第２のプリズムの斜面を接着剤で接合する。そして波長６４０〜６８０ｎｍ及び波長７６０〜８１０ｎｍにおける、Ｐ偏光及びＳ偏光の所定入射角度での平均反射率Ｒ（％）と平均透過率Ｔ（％）、Ａｕ層の層厚Ｄ（ｎｍ）が下記式（１）を満足するようにする。
25.2×X²＋12.4×X＋6.84＜D＜31.6×X²＋12.6×X＋10.4 ・・・（１）
ただし、X=R/(R+T) （もっと読む）

【課題】広い入射角度で目標波長の光に対する反射率を維持することが可能な多層膜を有する光学素子及びそれを有する露光装置を提供する。
【解決手段】光の反射率を高める多層膜を有する反射型光学素子であって、前記多層膜は、第１の入射角度範囲で入射する光に対して所定の波長近傍において最大反射率を略維持する第１の反射特性を有する第１の積層体１３０と、前記第１の反射特性と組み合わされることによって当該第１の入射角度範囲よりも広い第２の入射角度範囲で入射する光に対して前記所定の波長近傍で一定の反射率を維持する第２の反射特性を有する第２の積層体１４０とを有することを特徴とする光学素子を提供する。 （もっと読む）