顕微鏡システムは、照明フィールドを規定する少なくとも一つのレンズと、レンズを通して試料を照明するための照明光ビームを発する少なくとも一つの光源とを含む。少なくとも一つの検出器が、ピクセルごとに試料からくる検出光ビームを検出するために設けられる。電気回路が検出器から下流側に接続され、当該電気回路は、少なくとも一つのレンズの照明フィールドの波長依存輝度分布を格納するための記憶ユニットを含む。電気回路は、均質に照明された画像フィールドを形成するために、格納された波長依存輝度分布をピクセルごとに用いる。照明フィールドを均質に照明するために、格納された波長依存輝度分布に応じて照明光ビームの強度をピクセルごとに制御するために、操作可能要素が設けられる。
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照射光線束を発生する少なくとも１つの光源（１、３）と、前記照射光線束の光出力を調整するための音響光学素子（１３）と、前記照射光線束を試料（２７）の上に又はこれを透過して導くためのビーム偏向装置（１９、３６）とを有する走査型顕微鏡は、音響光学素子（１３）により前記照射光線束から部分光線束を空間的に分離し、この部分光線束を特に処理のために試料に向けるビームガイド手段を備える。
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【課題】 拡張性に優れ、さらに標本に対して不必要な光を当てないようにした顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 対物レンズ７と標本３の光像を観察する接眼レンズ１１を有する顕微鏡本体１側面に光源１３とＣＣＤカメラ２２を有する投光管１２を設け、顕微鏡本体１内で光源１３の光を標本３に反射し標本３からの光を接眼レンズ１１に透過するダイクロイックミラー２５ａと光源１３からの光を標本３に反射する全反射ミラー２４ａを選択的に光路に挿入可能にするとともに、投光管１２内で光源１３からの光をキューブターレット２３に反射し標本３からの光をＣＣＤカメラ２２に透過するダイクロイックミラー１６ａと光源１３からの光をキューブターレット２３に反射する全反射ミラー１７ａを選択的に光路に挿入可能にし、さらに光源１３の光を遮光するシャッタ２７を設け、全反射ミラー２４ａ、１７ａが同時に光路に挿入されたとき光源１３の光を遮光する。 （もっと読む）

【課題】対象物の画像を形成する方法、及び対象物の画像を形成するための装置を提供する。
【解決手段】対象物の照射、及び対象物が位置する区域からの光の検出、並びに検出された光に基づく画像の形成を含み、対象物の照射は、撮像平面又は空間内の画素を識別し、各個々の画素に対して、検出された光出力の所定の第１の閾値に達するまで、ある一定の長さの時間に亘って対象物の一部分を照射することにより行われ、また、各個々の画素に対して対応する露出時間が指示され、それに続いて画像は、少なくとも１つの所定の照射パラメータに依存する計算された光出力値を各個々の画素に対して判断することにより構成される、対象物の画像を形成する方法。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 被照明物体を均一に照明できる照明レンズ系を持たない照明装置を有する光学装置を提供する。
【解決手段】 面発光照明装置７と被照明物体１２と被照明物体１２の像を結像する結像光学系１３からなる光学装置において、面発光照明装置７は、面発光素子および、または発光素子の集合体からなる発光装置８と、発光装置８を支持する支持体９と、面発光素子または発光素子の集合体に電気を供給する電源装置１０と、面発光素子または発光素子の発光強度や発光強度分布等の発光状態を制御する発光状態制御装置１１から構成される。 （もっと読む）