【課題】 投影光学系の結像特性の変動量をより正確に求める。
【解決手段】 単位露光エネルギー当たりの結像特性の変動量を露光係数として、基板を露光するための露光光が第１波長帯域である場合の投影光学系の光学特性の変動量のデータを用いて第１波長帯域の露光係数を算出し、第２波長帯域の露光係数を第１波長帯域の露光係数を用いて算出し、第２波長帯域の露光係数を用いて第２波長帯域の露光光を用いて基板を露光する場合の投影光学系の結像特性の変動量を算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】変倍比２０倍以上の高変倍を達成しつつ、コンパクト化もなされ、さらに諸収差が良好に補正されたズームレンズ及びそれを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇｒ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇｒ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇｒ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇｒ４と、正の屈折力を有する第５レンズ群Ｇｒ５から構成され、各レンズ群の間隔を変えることにより変倍を行うズームレンズであって、変倍時に、前記第１レンズ群Ｇｒ１から前記第４レンズ群Ｇｒ４までの各々のレンズ群が移動するようになっており、前記第５レンズ群Ｇｒ５は変倍時、合焦時ともに移動しないレンズ群であり、以下の条件式を満足する。６．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜１５．０（１）ただし、ｆ１：第１レンズ群の焦点距離ｆ２：第２レンズ群の焦点距離 （もっと読む）

【課題】 樹脂レンズを用いて光学性能の向上を図りつつ、樹脂レンズ特有の複屈折や屈折率の不均一性に対する光学性能の劣化を軽減し、かつ樹脂レンズのレンズ面に起因するゴースト光の発生を軽減すること。
【解決手段】 複数のレンズ群を有する光学系であって、複数のレンズ群のうち最も像側に配置される最終レンズ群には、像面側に凹面を向けた樹脂材料よりなる樹脂レンズと、該樹脂レンズその像面側に１枚以上の硝子材料よりなる硝子レンズを有しており、
樹脂レンズの像面側のレンズ面の曲率半径Ｒｐ２、樹脂レンズの像側に隣接した第１硝子レンズの物体側のレンズ面の曲率半径Ｒｒ１、樹脂レンズと硝子レンズの間隔ｄｐ、樹脂レンズの焦点距離ｆｐ、樹脂レンズと第１硝子レンズの合成焦点距離ｆｒを各々適切に設定すること。 （もっと読む）

【課題】色収差を良好に補正し、かつ、温度変化によるフォーカス位置のずれを抑えて、そのフォーカスずれ量の焦点距離間較差を小さくしたズームレンズを提供する。
【解決手段】ズームレンズＺＬは、可視光を含む領域において用いられ、ズーミング時に移動する移動群を複数有し、少なくとも１つの移動群内に、条件式：Ｖｄ＜５５，０．００１８×Ｖｄ＋Ｐ＜０．６５を満たす材料から成る負レンズを少なくとも１枚有し、少なくとも１つの移動群内に、条件式６０＜Ｖｄ，０．６４５＜０．００１８×Ｖｄ＋Ｐ，９×１０^-6＜ｄＮ／ｄＴを満たす材料から成る正レンズを少なくとも１枚有し（Ｖｄ：ｄ線に関するアッベ数、Ｐ＝（Ｎｇ−ＮＦ）／（ＮＦ−ＮＣ）、Ｎｇ：ｇ線に関する屈折率、ＮＦ：Ｆ線に関する屈折率、ＮＣ：Ｃ線に関する屈折率、ｄＮ／ｄＴ：常温近辺での温度変化に対する屈折率変化率）、ズーミング時に負レンズと正レンズとが光軸上を同方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】 高ズーム比で、広角端から望遠端における全ズーム範囲にわたり色収差を良好に補正し、全ズーム範囲において高い光学性能を有し、且つ環境温度の変化があっても、ピント変動の少ないズームレンズ及びそれを有する撮像装置を提供すること。
【解決手段】 物体側から順に、変倍中固定の正の第１レンズ群と、変倍に伴い光軸方向に移動する負の第２レンズ群Ｕ２と、変倍に伴い光軸方向に移動して変倍に伴う像面の変動を補正する負の第３レンズ群Ｕ３と、変倍中固定の正の第４レンズ群から構成されるズームレンズにおいて、第４レンズ群は物体側から順に群内の最も大きい空気間隔で隔てられる正の第４ａレンズ群と正の第４ｂレンズ群を有し、第３レンズ群と第４ａレンズ群と第４ｂレンズ群を構成するレンズ材料のアッベ数と部分分散比と屈折率温度変化係数を適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】ＢＤ／ＤＶＤ／ＣＤの３種類の光ディスクの互換を共通の対物レンズで行うことを可能としつつ、温度や光源の波長変化時にも高次球面収差を発生することが抑制され、また波長特性と温度特性とのバランスを良好に確保できる光ピックアップ装置用の対物レンズ、及びそれを用いた光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】光ピックアップ装置用の対物レンズにおいて、ＢＤ／ＤＶＤ／ＣＤの３種類の光ディスクの互換を共通の対物レンズで行うことができ、対物レンズの中央領域と中間領域に重畳した基礎構造において、境界を挟んで中央領域側のピッチと中間領域側のピッチとの大小関係と、段差の向きとの関係とから、第３の光ディスク使用時にオーバーの球面収差を与えてフレア出しを行うことができるという特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】光学レンズ、光走査装置、および、画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学レンズ４は、一方の面が凹形状に形成された回折面１１を有するとともに他方の面が凸形状に形成された屈折面２１を有し、（イ）前記回折面１１の両端側に、前記回折面１１の凹形状の線対称となる曲率で形成された凸状部材１６が設けられているか、（ロ）前記屈折面２１の両端側に、前記屈折面２１の凸形状の線対称となる曲率で形成された凹状部材２６が設けられているか、または、（ハ）前記回折面１１の両端側に、前記凸状部材１６が設けられているとともに、前記屈折面２１の両端側に、前記凹状部材２６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】撮像レンズにおいて、小型かつ低コストに構成し、広角化と高い光学性能を実現する。
【解決手段】物体側に凸面を向けたメニスカス形状で負のパワーを持つ第１レンズＬ１と、負のパワーを持つ第２レンズＬ２と、正のパワーを持つ第３レンズＬ３と、絞りと、正のパワーを持つ第４レンズＬ４と、負のパワーを持つ第５レンズＬ５との実質的に５枚のレンズからなる。第１〜第５レンズＬ１〜Ｌ５は少なくとも一方の面が非球面である。第３レンズＬ３の焦点距離、全系の焦点距離および全系のバックフォーカスに関する所定の条件式を満足する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の温度変化による投影光学系の光学特性の変動を高い精度で予測しその影響を低減する。
【解決手段】原版のパターンの像を投影光学系ＰＯによって基板Ｗ上に形成して該基板Ｗを露光する露光装置１００は、前記投影光学系ＰＯの温度計測箇所の温度を計測する温度計測部ＴＰと、前記温度計測部ＴＰによって計測された温度の変化に基づいて前記投影光学系ＰＯの光学特性の変化を予測し、その予測に基づいて前記光学特性の変化による前記基板Ｗに形成される像の状態の変化を低減する処理を実行するコントローラＣＴと、を備え、前記コントローラＣＴは、前記温度計測箇所の温度の変化に対する２次遅れ応答関数に従って前記光学特性の変化を予測する。 （もっと読む）

【課題】小型で簡単な構成によって、被走査面上におけるビームスポット径の変動とビームスポット位置の変動とを補正することが可能となる走査光学系を提供する。
【解決手段】
光源手段から放射された光束を偏向手段により偏向して被走査面上に結像させる光路中に、被走査面上でのビームスポット径の変動およびビームスポット位置の変動を補償する補償手段を備えた走査光学系であって、
補償手段は、
光学系を構成する該光学系の光軸に沿って配置された該光軸と光軸に対して垂直な対称軸を含む対称面に対して面対称な形状の光学面を有する複数の光学素子と、
対称軸に平行な方向に複数の光学素子の相対位置を変化させる第１の駆動手段と、
複数の光学素子の相対位置の変化に影響を及ぼすことなく、対称軸と平行な方向に複数の光学素子全体の位置関係を変化させる第２の駆動手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型でフィードバック系が不要となる簡単な構成で、結像位置の変動を補償することが可能となる結像位置補償光学系等を提供する。
【解決手段】結像位置の変動を補償する結像位置補償光学系であって、
結像位置補償光学系の光軸に沿って配置された複数の光学素子と、
複数の光学素子をそれぞれ支持する複数の支持部材と、を備え、
光学素子は、結像位置補償光学系の光軸と該光軸に対して垂直な対称軸を含む対称面に対して面対称な形状の光学面を有し、
支持部材の体積変化により対称軸に沿って複数の光学素子の相対位置を変化させることによって、結像位置の変動を補償する。 （もっと読む）

【課題】広角レンズで重要視される概ね水平画角１８０（ｄｅｇ）近傍が大きく写るような射影特性とし、さらに収差を良好に補正し、小型、且つ安価でありながら優れた光学性能を持つ撮像レンズを得る。
【解決手段】物体側から順に、物体側に凸面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズである第１レンズと、撮像側の面が非球面を持ち、物体側に凸面を向けた負の屈折力を有するメニスカスレンズである第２レンズと、非球面を持たず、物体側に凸面を向けた正の屈折力を有する第３レンズと、開口絞りと、両側に凸面となり正の屈折力を有し、両側非球面である第４レンズとの４枚のレンズを配置し、所定の条件式を満足する事により、周辺の視認性を向上させるレンズを可能とする。 （もっと読む）

【課題】半導体モジュールをコンパクトなものとし、シンプル且つ安価な構成でありながら、温度変化等の感度を小さく抑えることにより結合効率の変動を抑えることができる光通信用のレンズユニット及びそれを用いた半導体モジュールを提供する。
【解決手段】レンズＣＬを支持するカバーＣＶを、温度変化時に膨張又は収縮することにより、回折構造により抑制しきれなかった焦点位置の変動の少なくとも一部を抑制するような線膨張率を有する素材から形成すれば、温度変化時にカバーＣＶの熱膨張又は収縮によってレンズＣＬと半導体レーザＬＤの相対的間隔が変化するので、温度変化に起因した焦点位置の変動を一部補正することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より小型化を図りつつ諸収差をより良好に補正し得る５枚レンズ構成の撮像光学系ならびにこれを備える撮像装置およびデジタル機器を提供する。
【解決手段】撮像光学系１は、物体側から順に第１ないし第５レンズ１１〜１５を備え、第１レンズ１１が物体側に凸の正の屈折力を有し、第２レンズ１２が負の屈折力を有し、第５レンズ１５が負の屈折力を有して像側に凹であって中心軸の交点位置を除く位置に垂接点を持つ非球面形状を有する。そして、撮像光学系１は、全系焦点距離をｆ、第５レンズ１５の焦点距離、最大画角主光線での物体側面のサグ量、芯厚、最大画角主光線でのe線光路長および軸上主光線でのｃ線光路長をｆ５、ｚ５ｏ、ｔ５、ｐ５ｅおよびｐ５ｃ、最大像高をＹ、光学全長をＴＬとする場合に、０．２＜｜ｆ５／ｆ｜＜０．５、１＜｜ｚ５ｏ／ｔ５｜＜４、２．５＜ｐ５ｅ／ｐ５ｃ＜５および０．６３＜Ｙ／ＴＬ＜０．９を満たす。 （もっと読む）

【課題】像ぶれ補正レンズ群の小型化と軽量化を図るとともに、像ぶれ補正時における結像性能の劣化が少なく、広角高変倍で大型のイメージセンサーにも対応可能なズームレンズ系を得る。
【解決手段】物体側から順に、負の屈折力を持つ第１レンズ群、正の屈折力を持つ第２レンズ群、及び正の屈折力を持つ第３レンズ群で構成され、短焦点距離端から長焦点距離端への変倍に際し、第１レンズ群と第２レンズ群のレンズ群間隔が減少し、第２レンズ群と第３レンズ群のレンズ群間隔が増加するズームレンズ系において、第２レンズ群は、物体側から順に、正の屈折力を持つ第２Ａレンズ群、及び負の屈折力を持つ第２Ｂレンズ群で構成されていること、第２Ｂレンズ群は、負単レンズで構成されていること、及び第２Ｂレンズ群を構成する負単レンズは、光軸直交方向に移動して結像位置を変位させることにより像ぶれを補正する像ぶれ補正レンズであるズームレンズ系。 （もっと読む）

【課題】Ｆ２程度の十分な明るさを有し、諸収差が良好に補正された、５枚構成の小型の撮像レンズを提供する。
【解決手段】物体側より順に、正の屈折力を有し物体側に凸面を向けた第１レンズＬ１と、負の屈折力を有し像側に凹面を向けた第２レンズＬ２と、正または負の屈折力を有する第３レンズＬ３と、正の屈折力を有し像側に凸面を向けた第４レンズＬ４と、負の屈折力を有し像側に凹面を向けた第５レンズＬ５と、からなり、第５レンズＬ５の像側面は非球面形状を有し、光軸との交点以外の位置に変曲点を有する。 （もっと読む）

【課題】レンズ面と遮光部材の開口との位置関係を温度変化に依らずに安定させて、良好な結像性能を実現可能とする技術を提供する。
【解決手段】レンズ面が形成された透明媒体を備え、物体から射出してレンズ面を経由しつつ透明媒体を透過する光を結像することで、物体の正立等倍像を形成する結像光学素子であって、レンズ面に対応して開口が形成されており、当該開口によって通過する光を制限する遮光膜をさらに備え、遮光膜は、透明媒体に製膜されている。 （もっと読む）

【課題】広い視野領域にわたり、高い光学性能を有し、しかも環境変化があっても高い光学性能を維持することができる反射屈折光学系を得る。
【解決手段】物体１０３の中間像ＩＭを形成する第１結像光学系Ｇ１と、中間像を像面１０５に結像させる第２結像光学系Ｇ２を有し、第１結像光学系は光透過部Ｍ１Ｔと裏面反射部とした第１の光学素子Ｍ１と、光透過部Ｍ２Ｔと裏面反射部とした第２の光学素子Ｍ２を有し、第１の光学素子と第２の光学素子は互いに裏面反射部Ｍ１ａ、Ｍ２ｂが対向するように配置されており、物体からの光束は、順に第１の光学素子の光透過部、第２の光学素子の裏面反射部、第１の光学素子の裏面反射部、第２の光学素子の光透過部を介した後に第２結像光学系に出射しており、第２結像光学系を構成する少なくとも３つのレンズ成分Ｌ１，Ｌ９，Ｌ１０は環境変化によって生ずる収差変動を補正するために光軸方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】低輝度環境下でも、被写体を視認可能な画像を形成できる画像形成装置を提供する。
【解決手段】環境温度が上昇した場合、保持部材１２３の熱膨張によってコリメータ１３は半導体レーザ１２から相対的に遠ざかるように変位する。又、温度上昇により半導体レーザ１２の発振波長が長波長側にシフトするので、回折構造１３ｄの回折パワーが増大するように変化する。これらの相乗効果により、環境温度が上昇時にも、ピントズレを抑制できる。 （もっと読む）