【課題】反射鏡の設置誤差が結像特性に与える影響を小さく抑えた反射型投影光学装置の提供。
【解決手段】物体(i=0)からでた光を反射光として反射させる第１の反射面を有する第１の素子(i=1)と、前記反射光を反射させ像面(i=3)に結像させる第２の反射面を有する第２の素子(i=2)とを、備えた投影光学装置において、少なくとも球面収差、コマ収差、及び非点収差が補正され、第１の素子(i=1)は、前記第１の反射面として、非球面の反射面を有し、第２の素子(i=2)は、前記第２の反射面として、非球面の反射面を有する。好ましくは、第１の素子(i=1)及び第２の素子(i=2)は、光軸に対して回転対称な非球面の反射面を有する。より好ましくは、第１の素子(i=1)の近軸マージナル光線の光線高比γ₁が、例えば、 0.5≦γ₁＜1 の領域にある。 （もっと読む）

【課題】投影装置に用いられる光源装置を提供する。
【解決手段】複数の光源ユニットと反射手段を含む投影装置用光源装置を提供する。各々の光源ユニットは内面が半楕円面である第一の反射マスク、反射部と灯芯部を有し、灯芯部は半楕円面の焦点に位置し、反射手段は少なくともひとつの光源ユニットからの光の経路に設置される。反射部と半楕円面の設置により各々の光源ユニットからの光は半円錐状で出力し、更に反射手段により、複数の光源ユニットからの出力光を円錐状の光に合成し、これによって、一つのバルブを有する光源装置からの光の入射角と同様な入射角で光を発することにより輝度を向上する。 （もっと読む）

【課題】光線の偏向角度に配慮しつつ効率的に光線を偏向することが可能な投影光学系及びそれを有する露光装置、並びに、かかる露光装置を利用したデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】物体面上のパターンを像面上に縮小投影する反射型投影光学系であって、前記物体面からの光を、第１乃至第６反射面の順に反射する６枚の反射面を有し、所定の平面上において、前記物体面上の円弧形状の照明領域の中心にある物点から射出する主光線と前記第１乃至第４反射面との交点をそれぞれ第１乃至第４の交点とし、前記円弧形状の照明領域は円弧を弦の垂直二等分線に沿って所定距離だけ平行移動した領域であることを特徴とする投影光学系。 （もっと読む）

【課題】 画素の角度変調によって画像を表示する反射型の表示素子を備える画像投影装置であって、フィールドレンズやＴＩＲプリズムを用いることなく照明光と投影光とを良好に分離し得るものを提供する。
【解決手段】 表示素子(30)の画素の偏向軸を表示素子(30)の表示領域の長辺に平行にし、投影光学系(40)の入射瞳を、表示領域の中心における法線上から表示領域の短辺に平行な方向に変位させる。さらに、表示領域の下端から投影光学系(40)の入射瞳に達する投影光のうち最も下の光線と、照明光学系(20)から表示領域の上端に達する照明光のうち最も上の光線との交点に基づいて、表示素子(30)から表示素子(30)に最も近い光学部品までの距離を定める。 （もっと読む）

【課題】 一次元光変調素子と光偏向手段を用いた装置構成において、一次元像を走査して二次元像を生成するとともに、小型化や低コスト化を実現する。
【解決手段】 光偏向手段８を内部に含む光学系６と、一次元光変調素子４とを備えた光走査装置１において、光学系６の物体側に一次元光変調素子４を配置し、絞り位置に光偏向手段８を配置する。光学系６において、正パワーの前群７と正パワーの後群９を配置し、一次元光変調素子４による光変調で得られる一次元像を光偏向手段８で走査して光学系６の像面に二次元像を結像させる。プロジェクタ装置等への適用において、該二次元像を投射光学系によって拡大投影することができる。 （もっと読む）