【課題】狭い配光角で出射した光線において、混色を促進できるＬＥＤ照明装置用の光学素子及びそれを用いたＬＥＤ照明装置を提供する。
【解決手段】複数のＬＥＤ光源２の光放出側に配置され、ＬＥＤ光源２からの発光光が入射する凹状の入射面３と、入射面３から入射した光を反射する反射面８と、発光光を外部に放出する出射面５とを備えたＬＥＤ用光学素子は、出射面５は、複数のマイクロレンズを並べたレンズアレイＬＡを形成しており、以下の式を満たす。
５＜φ２／φ１≦１０ （１）
２．２≦Ｒ／Ｄ≦２．５ （２）
２≦Ｌ／φ１≦３ （３）
但し、
φ１：ＬＥＤ光源２の直径（ｍｍ）
φ２：出射面３の直径（ｍｍ）
Ｒ：マイクロレンズＭＳの曲率半径（ｍｍ）
Ｄ：隣接するマイクロレンズＭＳの光軸間距離（ｍｍ）
Ｌ：入射面３の深さ（ｍｍ） （もっと読む）

【課題】 投影光学系の結像特性の変動量をより正確に求める。
【解決手段】 単位露光エネルギー当たりの結像特性の変動量を露光係数として、基板を露光するための露光光が第１波長帯域である場合の投影光学系の光学特性の変動量のデータを用いて第１波長帯域の露光係数を算出し、第２波長帯域の露光係数を第１波長帯域の露光係数を用いて算出し、第２波長帯域の露光係数を用いて第２波長帯域の露光光を用いて基板を露光する場合の投影光学系の結像特性の変動量を算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】投影露光装置において、広い露光エリアを確保しながら、高精度のパターンを形成する。
【解決手段】投影露光装置の投影光学系３０において、第１レンズ群３２、第２レンズ群３４、第３レンズ群３６、第４レンズ群３８を備え、第１レンズ群３２と第２、３レンズ群３４、３６との間に、偏光ビームスプリッタ４０を配置する。そして、マスクＰＭの光軸上点からのマージナル光線ＭＬ１、ＭＬ２が偏光ビームスプリッタ４０の入射面に対し垂直入射するように、第１レンズ群３２の光学特性が定められている。 （もっと読む）

【課題】収差の発生を抑制できる投影光学系を提供する。
【解決手段】投影光学系は、第１面からの照射光を第２面に供給して、第１面の像を第２面に投影する。投影光学系は、照射光の光路に配置可能であり、照射光のうち、第１偏光成分の光と第２偏光成分の光との間で発生する位相差を低減する位相差補償部材Ｅ１と、光路に位相差補償部材Ｅ１が配置されるように位相差補償部材Ｅ１をリリース可能に保持する保持機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被投射面上の照度分布の偏りを緩和し、投射画像の品質を向上させる画像表示装置に関する。
【解決手段】 照明光学系と、反射型画像表示素子と、反射型画像表示素子を構成する微小ミラーからの反射光を被投射面に投射する投射光学系と、を有してなり、照明光学系は、光源と、光源から出射される光を集光する集光器と、集光器の近傍に入射端を有する照明均一化素子と、照明均一化素子の出射端から反射型画像表示素子までの間に配置されている複数のリレーレンズおよび第１折り返しミラーと第２折り返しミラーと、を有し、投射光学系は、複数のレンズからなる投射レンズと、投射レンズを介して出射される反射光を被投射面に向けて反射するミラーと、ミラーと被投射面との間に配置される防塵ガラスと、を有し、防塵ガラスは、被投射面に投射される反射光の照度分布の偏りを緩和する画像表示装置による。 （もっと読む）

【課題】 スクリーンとの距離が至近であっても、鮮明な大画面表示をすることができる画像表示装置に関する。
【解決手段】 光源から出射された光を画像表示素子に照射する照明光学系と、照明光学系からの照明光が照射され投射画像を形成する画像表示素子と、全体で正の屈折力を有し、画像表示素子によって形成された投射画像を被投射面に投射する投射光学系と、を有し、投射光学系は、複数のレンズ群からなるレンズ光学系と、第１ミラーおよび凹面ミラーである第２ミラーを有してなるミラー光学系と、を有してなり、第１ミラーと第２ミラーとの間に、レンズ光学系の光軸に最も近い画像表示素子に係る画素の中間像が形成され、画像表示素子と被投射面がなす角度は略直角であり、第１ミラーは、位置調整可能に保持されている。 （もっと読む）

【課題】投射された画像の周辺部の明るさを向上させる。
【解決手段】反射型のライトバルブを、ランプ光源と照明光学系により照明し、ライトバルブに表示された画像を投射光学系により、防塵ガラスを介して投射結像する画像表示装置において、投射光学系が、複数のレンズからなる屈折光学系ＰＯＳＬと、ライトバルブＬＢから屈折光学系に導光される光量を制限する開口絞りＳと、屈折光学系の像側に配置される凹面ミラーを有するミラー光学系ＣＮＭを有し、ライトバルブＬＢと開口絞りＳとの間に、正の屈折力を有し、ライトバルブＬＢに対してアンダーな像面湾曲を有するレンズ群Ａ（ＬＧＡ）が配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表示画面の「中心と周辺のピントずれ」を補正する機能と、「投射画像全体のピントボケ」を補正する機能をもった画像表示装置を実現する。
【解決手段】ライトバルブＬＢと、光源および照明光学系と、投射光学系と、これら保護する外装手段を有し、投射光学系は、レンズ群ＬＩ〜ＬＩＶによって構成される屈折光学系と、曲面ミラーＣＮＭを有するミラー光学系からなり、第１および第２のフォーカス構造を有し、第１のフォーカス構造は、ライトバルブＬＢの実像を被投射面に投射してフォーカス合わせを行なうとき、屈折光学系中のレンズ群ＬＩＩ、ＬＩＩＩを、ライトバルブＬＢの法線方向に、それぞれ異なる移動量で変位させることを可能とし、第２のフォーカス構造ＩｎＡ、ＩｎＢは、各レンズ群を、ライトバルブの法線方向に、第１のフォーカス構造とは異なる移動量で移動させるものであり、外装手段により保護組付けを実施した後は操作不能となる。 （もっと読む）

【課題】照度の低下を防止し、照度むらの低減を図ることができる画像投射装置を得る。
【解決手段】リフレクタ１１を有する光源、照明均一化素子４、リレーレンズ５，６、第１、第２折り返しミラー７，８を有してなる照明光学系と、配列された各ミラー画素を傾けて画像を形成し照明光学系によって照明光が照射される反射型空間光変調素子１０と、反射型空間光変調素子１０で反射される光を画像投射面に投射する投射光学系２０と、を有する。第２折り返しミラー８は、投射光学系２０の鏡筒部分と第２折り返しミラー８との機械的な重なり合いを避けるための切り欠き８１を有し、リフレクタ１１を有する光源ユニット１は、反射型空間光変調素子１０の照明領域において切り欠き８１に対応する部分の照度分布調整を行うための位置調整部材を有する。 （もっと読む）

【課題】 装置の小型化が可能で、かつ、表示画像の劣化の低減可能な画像表示装置を得る。
【解決手段】 光源１と、入射光の出射を制御して画像を表示する画像表示素子７と、光源から出射された光で画像表示素子を照明する照明光学系と、画像表示素子の表示面に表示された画像を被投射面２０に投射して拡大表示させる投射光学系と、を備えた画像表示装置であって、画像表示素子の表示面と被投射面とは略直交し、投射光学系は、レンズ光学系８と、レンズ光学系を透過した光を反射する第１ミラー９と、第１ミラーで反射された光を被投射面に向けて反射する第２ミラー１０と、を備え、レンズ光学系は、画像表示素子と被投射面との光路上に中間像（Ｐ１，Ｐ２）を結像し、２つのミラーのいずれか一方のミラーを中間像が跨ぐように設定され、中間像に跨れたミラーは、その光学面が鉛直方向下向きに配置されている。 （もっと読む）

【課題】１つの成形品で形成した結像素子アレイを複数個配列してなる結像素子アレイと、結像素子アレイを用いた画像形成装置を提供することにある。
【解決手段】実施形態に係る結像素子アレイは、入射面、出射面及び反射面を有し、入射面に入射した光を集光して光束が小さくなったところで、反射面で反射し、反射した光を出射面から出射して像点に結像する一体成形された結像素子を複数個有し、複数個の結像素子を配列し、反射面の周囲に、反射面で反射した光以外の光が出射面に進行するのを阻止する面を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】より小型の投射光学系を提供する。
【解決手段】第一の画像０１１と共役な第二の画像を形成する第一の光学系０１３、及び、第二の画像からの光を反射する反射光学素子を含むと共に第二の画像と共役な第三の画像を被投射面０１６に投射する第二の光学系０１５を含む、投射光学系において、第一の光学系は、絞り０１２、並びに、絞りと第二の画像との間に設けられる、正の屈折力を備えた少なくとも一つの光学素子及び負の屈折力を備えた少なくとも一つの光学素子を含み、正の屈折力を備えた少なくとも一つの光学素子における最も強い正の屈折力を備えた光学素子は、絞りと負の屈折力を備えた少なくとも一つの光学素子における最も強い負の屈折力を備えた光学素子との間に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 光源手段から画像情報に応じて光変調された光束を２次元走査が可能な走査手段で偏向走査し、被投射面に対して投射画像を斜め方向から投射して２次元画像を形成するとき、歪みが少なく良好な投射画像を得ること。
【解決手段】 光源手段から発せられた光束を互いに直交する方向に走査する走査手段と、該走査手段により走査された走査光束を被投射面に投射する投射系と、投射系は互いに平行偏心したパワーのある第１，第２の光学要素と、基準面内で第１，第２の光学要素の光軸から離れた位置に近軸曲率中心を有するパワーのある反射手段を有し、中心光束は被投射面の法線に対して斜方向から入射しており、走査基準点を通り、第１，第２の光学要素の光軸に対して平行な軸を基準軸とするとき、第１の光学要素と、第２の光学要素の光軸を適切に設定したこと。 （もっと読む）

【課題】 スクリーンとの距離が至近であっても、鮮明な大画面表示をすることができる画像表示装置に関する。
【解決手段】 光源から出射された光を画像表示素子に照射する照明光学系と、照明光学系からの照明光が照射され投射画像を形成する画像表示素子と、全体で正の屈折力を有し、画像表示素子によって形成された投射画像を被投射面に投射する投射光学系と、を有し、投射光学系は、複数のレンズ群からなるレンズ光学系と、第１ミラーおよび凹面ミラーである第２ミラーを有してなるミラー光学系と、を有してなり、第１ミラーと第２ミラーとの間に、レンズ光学系の光軸に最も近い画像表示素子に係る画素の中間像が形成され、投射レンズのうち第１ミラーに最も近いレンズのレンズ面は、凸面である画像表示装置による。 （もっと読む）

【課題】性能及び製作容易性を確保したまま画像投射装置の小型化を図る。
【解決手段】画像投射装置は、光源と、上記光源側から入射される光から画像を生成して反射させる画像生成部と、上記光源側から入射される光を上記画像生成部に向けて透過させ、上記画像生成部により反射されて再入射される光を全反射させるプリズムと、上記光源及び上記プリズムの間に配置され、上記光源側から入射される光を反射させる反射面と、上記反射面により反射された光を上記プリズム側に透過させる透過面とを有するリレーレンズと、上記プリズムにより全反射された光を拡大透過させる投射レンズ部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】改善された検査装置、反射屈折対物系および屈折対物系を提供する。
【解決手段】検査装置５００は、第１ビーム５２２を受け、第１ビーム５２４をウェーハ５０８から反射するべく誘導するように構成された反射屈折対物系５０４と、反射したビームによって作り出された第１の像を検出する第１センサ５１０、第２ビーム５２４をウェーハ５０８から反射するべく誘導するように構成された屈折対物系５０６と、反射したビームによって作り出された第２の像を検出する第２センサ５１２を備える。検査装置５００は、ウェーハから反射されたビームによって作り出された第３の像を検出するように構成される第３センサ５１４も備えることができ、第１および第２の像は、ＣＤ測定に使用され、第３の像は、ＯＶ測定に使用され得る。第２ビームは、約２００ｎｍ〜約４２５ｎｍのスペクトル範囲を、第３ビームは約４２５ｎｍ〜約８５０ｎｍのスペクトル範囲を有する。 （もっと読む）

【課題】読取ヘッドの製造コストの低減と小型化を図る
【解決手段】光学素子１５は、光学ブロック２０と、この光学ブロック２０の第１，第２曲面２３，２５の表面に形成された第１反射膜２１及び第２反射膜２２と、補償光学ブロック１８ａから構成される。第１反射膜２１が形成された第１曲面２３は、Ｐ偏光を透過し、Ｓ偏光を反射する。光源部１３ａからＰ偏光の照明光が第１曲面２３の外面に入射し、これが透過して対物面２４から原稿１１に照射される。原稿１１からの物体光が対物面２４から第１曲面２３に入射する。物体光のうちＰ偏光の正反射光は、第１曲面２３を透過し、Ｓ偏光となる拡散反射光が第２曲面２５に向けて反射される。反射光は、第２反射膜２２が形成された第２曲面２５で反射されて射出面２６から光学ブロック２０の外部に射出されて結像する。 （もっと読む）

【課題】各被走査面によって反射して発生する光線が走査結像光学系に届かないようにし、走査結像光学系による反射光が他の被走査面に届くことによる画像不良の発生を防止できる光走査装置を提供する。
【解決手段】走査結像光学系を構成する光学素子のうち、副走査方向に屈折力を持ち被走査面５ａに最も近い光学素子（長尺トロイダルレンズ１０）から出射した主走査方向中心近傍の光線ＬＢ１と、光線ＬＢ１が被走査面で反射した後の光線ＬＢ２とのなす角度をθ1、光線ＬＢ１と、長尺トロイダルレンズ１０における副走査方向の端１０ａと光線ＬＢ１が被走査面で反射する反射点５ｂを結んだ線とのなす角度をθ2、とするとき、各被走査面による反射光が、θ1＞θ2の条件を満足し、且つ、光偏向器の回転軸に垂直な面から遠ざかるようにする。 （もっと読む）

【課題】実像の浮遊量を増大できる実用的な表示装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、表示部と、結像素子と、第１反射部と、を備えた表示装置が提供される。前記表示部は、光を出射する。前記結像素子は、主面を有し、物体の実像を、前記主面を対称面とした前記物体の対称位置に結像する。前記結像素子は、前記主面の法線方向に沿ってみたときに前記表示部と重ならない部分を有する。前記第１反射部は、前記主面と対向する部分を有し、前記表示部から出射した前記光を反射して前記結像素子の前記表示部と重ならない前記部分に入射させる。 （もっと読む）

【課題】照明光の指向性を変化させることができる照明装置及び照明装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】透明な複数の電極を備える第１基板と、透明な共通電極を備える第２基板との間に液晶層が配置されて成る液晶レンズを備える照明装置において、液晶レンズからの出射光の指向性を、液晶層に対する電圧の印加の仕方によって変化させることにより、照明光の指向性を変化させ、照明装置の照明性能の向上を図る。 （もっと読む）