【課題】 被投射面上の照度分布の偏りを緩和し、投射画像の品質を向上させる画像表示装置に関する。
【解決手段】 照明光学系と、反射型画像表示素子と、反射型画像表示素子を構成する微小ミラーからの反射光を被投射面に投射する投射光学系と、を有してなり、照明光学系は、光源と、光源から出射される光を集光する集光器と、集光器の近傍に入射端を有する照明均一化素子と、照明均一化素子の出射端から反射型画像表示素子までの間に配置されている複数のリレーレンズおよび第１折り返しミラーと第２折り返しミラーと、を有し、投射光学系は、複数のレンズからなる投射レンズと、投射レンズを介して出射される反射光を被投射面に向けて反射するミラーと、ミラーと被投射面との間に配置される防塵ガラスと、を有し、防塵ガラスは、被投射面に投射される反射光の照度分布の偏りを緩和する画像表示装置による。 （もっと読む）

【課題】照度の低下を防止し、照度むらの低減を図ることができる画像投射装置を得る。
【解決手段】リフレクタ１１を有する光源、照明均一化素子４、リレーレンズ５，６、第１、第２折り返しミラー７，８を有してなる照明光学系と、配列された各ミラー画素を傾けて画像を形成し照明光学系によって照明光が照射される反射型空間光変調素子１０と、反射型空間光変調素子１０で反射される光を画像投射面に投射する投射光学系２０と、を有する。第２折り返しミラー８は、投射光学系２０の鏡筒部分と第２折り返しミラー８との機械的な重なり合いを避けるための切り欠き８１を有し、リフレクタ１１を有する光源ユニット１は、反射型空間光変調素子１０の照明領域において切り欠き８１に対応する部分の照度分布調整を行うための位置調整部材を有する。 （もっと読む）

【課題】 スクリーンとの距離が至近であっても、鮮明な大画面表示をすることができる画像表示装置に関する。
【解決手段】 光源から出射された光を画像表示素子に照射する照明光学系と、照明光学系からの照明光が照射され投射画像を形成する画像表示素子と、全体で正の屈折力を有し、画像表示素子において形成された投射画像を被投射面に投射光学系と、を有し、投射光学系は、投射レンズと、第１ミラーと、凹面ミラーである第２ミラーとを有してなり、投射レンズを透過して第１ミラーに入射する投射画像に係る投射光束は発散光束であり、第１ミラーで反射された後に第２ミラーで反射された投射光束が一旦集光した後に被投射面に投射され、投射レンズのうち第１ミラーに最も近いレンズのレンズ面は、凸面である画像表示装置による。 （もっと読む）

【課題】照明光学系の光利用効率が高く、縦置き可能な画像表示装置に関する。
【解決手段】光源、集光器、光ミキシング素子、カラーフィルタ、反射型画像表示素子、第１リレーレンズ及び第２リレーレンズ、第１折り返しミラー及び第２折り返しミラーからなる照明光学系と、反射型画像表示素子を構成する複数の微小ミラーのうちオン状態にある微小ミラーからの反射光を被投射面に投射する投射光学系と、を有し、反射型画像表示素子が有する表示面と被投射面との成す角が略直交しており、第１リレーレンズが光源と光ミキシング素子が成す光軸に対してチルトしている、画像表示装置による。 （もっと読む）

【課題】撮像装置のコンパクト化を図るとともに、製造時におけるコスト削減、工程の簡略化を図る。
【解決手段】撮像装置は、１つの媒質で形成された基材上に配備された第１ミラー２１と第２ミラー２２を備えた結像光学系２を備え、第１ミラー、第２ミラーは、非回転対称な非球面形状を有する表面反射ミラーであるとともに、軸上主光線に対して互いに偏心して配備され、結像光学系の開口絞り２４から入射した光線は、第１ミラーと第２ミラーで反射され、撮像素子１上に結像されるまでに１回交差する光路を形成する。 （もっと読む）

【課題】小型で簡単な構成によって、被走査面上におけるビームスポット径の変動とビームスポット位置の変動とを補正することが可能となる走査光学系を提供する。
【解決手段】
光源手段から放射された光束を偏向手段により偏向して被走査面上に結像させる光路中に、被走査面上でのビームスポット径の変動およびビームスポット位置の変動を補償する補償手段を備えた走査光学系であって、
補償手段は、
光学系を構成する該光学系の光軸に沿って配置された該光軸と光軸に対して垂直な対称軸を含む対称面に対して面対称な形状の光学面を有する複数の光学素子と、
対称軸に平行な方向に複数の光学素子の相対位置を変化させる第１の駆動手段と、
複数の光学素子の相対位置の変化に影響を及ぼすことなく、対称軸と平行な方向に複数の光学素子全体の位置関係を変化させる第２の駆動手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな装置構成により，被走査面における像面湾曲，副走査倍率及び主走査方向の光走査速度のばらつきを小さくでき，また，光束の発振波長の変化や環境変化に対し，被走査面上における副走査方向のピント移動量が小さい光走査装置を提供すること。
【解決手段】ポリゴンミラー３０と感光体ドラム１表面との間に配置され走査光を感光体ドラム１表面に結像させるとともに，その走査速度を略一定化させる結像光学機器４０が，主走査方向に正のパワーを有するとともに副走査方向に負のパワーを有する第１の走査光レンズ４１，それよりも感光体ドラム１側に配置され，主走査方向に負のパワーを有するとともに副走査方向に正のパワーを有する第２の走査光レンズ４２を備え，さらに，光源１０とポリゴンミラー３０との間のビーム光の進路におけるシリンドリカルレンズ２３の表面に設けられた回析光学素子２４を備える。 （もっと読む）

【課題】所定の回転軸を中心にして楕円を回転させたときにできる楕円体の内周面の一部又は全部によって構成された楕円鏡を用いた光学ユニットに関し、整った光を、照射面積を変えて出力する。
【解決手段】光源２１から発せられた光に由来する光Ｌｓが集束する所定点１１０と、所定の回転軸Ｒ１を中心にして楕円を回転させたときにできる楕円体の内周面の一部又は全部によって構成され回転軸Ｒ１上に第１焦点ｆ１および第２焦点ｆ２を有し、第１焦点ｆ１が所定点１１０に一致し、所定点１１０を通過してきた光Ｌ１１，２１，３１を反射する楕円鏡１１１と、第１焦点ｆ１が所定点１１０に一致した状態を保ったまま、所定点１１０を通過してきた光Ｌ１１，２１，３１が楕円鏡１１１に当たる楕円鏡１１１上の位置を調整可能な調整手段１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】組立て作業を行い易くし、且つ、装置をコンパクト化する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部１０１と、レーザ光を反射して偏向させる偏向体１０４と、偏向体１０４で偏向されたレーザ光を感光体１４表面上に等速度で走査させる走査レンズ１０５と、感光体１４の外部に向けて偏向された走査レンズ１０５を透過したレーザ光を反射する反射面を表面に備える反射体１０６と、反射面によって反射されたレーザ光を受光して当該受光を示す検出信号を出力する同期センサ１０８とを備え、反射面は、レーザ光の走査方向である主走査方向の両端から中心に向かうにつれて凹み度合いが大きくなる円弧状の曲面で構成され、反射体１０６は、反射面の主走査方向の中心位置が、当該反射体１０６の主走査方向の中心位置から主走査方向におけるレーザ光の進行方向に予め定められた範囲ずれた位置にされている光走査装置１１。 （もっと読む）

【課題】高いスループットを達成することのできる光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学ユニット２０は、光源装置と被照射面との間に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して反射する複数の入射側ミラー要素４７を有する入射側フライアイミラー４５と、入射側フライアイミラー４５で波面分割された露光光ＥＬを反射する複数の射出側ミラー要素６７を有する射出側フライアイミラー６５とを備える。また、光源装置と入射側フライアイミラー４５との間に挿入可能に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して、その反面分割した露光光ＥＬを、射出側フライアイミラー６５の位置に配置される射出側フライアイミラーに入射させる射出側フライアイミラー５０を備える。 （もっと読む）

【課題】副鏡の基準位置調整を行い、主鏡と副鏡との間隔に生じたアフォーカル状態からのずれを修正し、対象物に対し正確にレーザー光を照射するレーザー照射装置を提供する。
【解決手段】反射光学系１０からの射出光が平行光であるか否かを検出する検出系３０と、副鏡１２の光軸方向の位置を検出する位置センサ４０と、対象物までの距離を計測する測距計と、副鏡１２を光軸に沿って移動させる駆動機構６０と、射出光が平行光であると検出されたとき位置センサ４０により検出された副鏡１２の位置を基準位置として、対象物までの距離に応じて対象物にレーザー光を集光させるための副鏡１２の基準位置からの移動量及び移動方向を演算し、演算結果に基づいて、駆動機構６０の駆動制御を行う制御装置７０とを有し、主鏡１１と副鏡１２との間隔が対象物に対してレーザー光を正確に集光する距離に調整された反射光学系１０を介して、レーザー光を対象物に照射する。 （もっと読む）

【課題】照明条件に関する安定性が高く、所望の瞳強度分布を精度良く安定的に形成することのできる照明光学系。
【解決手段】光源ＬＳからの光により被照射面を照明する照明光学系ＩＬは、第１の所定面に沿って配列されて個別に制御される複数の第１光学要素を有し、第１光学要素に入射した光の向きを可変的に変調して射出する空間光変調器４と、空間光変調器４と被照射面との間の光路中に配置されて、第２の所定面に沿って配列された複数の第２光学要素を有し、第２光学要素に入射した光の向きを固定的に偏向して射出する光偏向器６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】２次元の走査で得られる２次元像の歪が少なく、高精度な分解能を有し、かつ簡易な構成でコンパクトな２次元走査装置を提供すること。
【解決手段】２次元走査装置１００は、光を出力する光源１１１と、被検面１０１に対するＸ方向の走査を担当するミラー１２１と、被検面１０１に対するＹ方向の走査を担当するミラー１２２と、Ｘ方向とＹ方向とでパワーが異なり、Ｘ方向のパワーが正であるレンズ１３１と、Ｘ方向とＹ方向とでパワーが異なり、Ｙ方向のパワーが正であるレンズ１３２とを備え、ミラー１２１，１２２が、レンズ１３１，１３２からなるレンズ群より光源１１１側に配置されており、当該レンズ群が、Ｘ方向とＹ方向とのいずれか一方に被検面１０１を走査する場合には、テレフォトタイプの光学系として機能し、他方に走査する場合には、レトロフォーカスタイプの光学系として機能することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
円筒スクリーンに１８０°近くの映像を投影する光学系において、歪みを抑えるとともに、全面でピントが合った高解像の投影像を形成する。
【解決手段】
本発明の光学系は、映像表示素子１３に表示された映像を投影する投影光学系１４と、投影光学系１４にて投影された映像を反射して円筒スクリーン１１に１８０°近い映像を投影するシリンドリカルな円筒反射面１２と、を備え、投影光学系１４は、円筒反射面１２で発生する非点収差を補正する補正光学系Ｌ２を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムで映像に特殊効果を施すことができ、レンズユニットの交換により着脱する必要がない撮像機器を提供すること。
【解決手段】撮像レンズユニット機器１は、被写体Ｗを撮影する撮影カメラ５０に着脱自在に装着され所定のレンズ９を設けたユニットフレーム２の入射口から前記撮影カメラの撮像素子５１までの光路中に配置される波面制御機構５を有する撮像レンズユニット機器であって、前記波面制御機構は、前記光路中に配置され波面制御面となる薄膜ミラー６と、この薄膜ミラーの裏面に当接して当該薄膜ミラーを凹面、凸面あるいは凹凸面に変形させる複数の押動凸部７と、この押動凸部のそれぞれを出没駆動させる駆動手段８とを備え、前記被写体の光の方向を前記薄膜ミラーで反射して前記被写体の光を前記光路に沿って送り出すことで前記被写体の光を制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 像担持体に光を照射するミラーと，像担持体と，光偏向器の配置を改良して，光走査装置全体のコンパクト化を図ることが出来る光走査装置を提供すること。
【解決手段】 この光走査装置は，光源からの光線を反射して偏向する光偏向器の反射方向に設置され，光偏向器で反射された光線が通過する１個以上のレンズと，光源に対応して設けられ，レンズを通過した光線を案内する反射ミラー群と，前記光源から出て，反射ミラー群を経由した光線が結像する像担持体とを備えた光走査装置であって，前記反射ミラー群は，前記レンズを通過した光線を前記像担持体の方向へ反射する第３の反射ミラーを少なくとも備えて構成され，前記第３の反射ミラーと前記像担持体とは，前記光偏向器によって反射されて前記レンズを通過する光路を挟んで互いに反対側に配置されていることを特徴とする光走査装置として構成されている。 （もっと読む）

【課題】電源投入後すぐに投写画像を投写することが可能で、動きぼけのない滑らかな投写画像を投写することが可能で、かつ、投写面全面にわたってピントぼけのないシャープな投写画像を投写することが可能なプロジェクターを提供する。
【解決手段】１次元的に配列される複数のレーザー光源を有する１次元レーザー光源アレイ１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを備える照明装置１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂと、各照明装置から射出される光を導光するリレー光学系３００と、各照明装置から射出される光を２次元投写画像を形成するように走査する１次元走査装置４００と、各照明装置から射出される光を投写面に投写する投写光学系６００とを備えるプロジェクターであって、投写光学系６００は、１次元走査装置４００の走査により発生する像面湾曲を補償するような像面湾曲収差を有することを特徴とするプロジェクター１０００。 （もっと読む）

【課題】撮像光学系において、フォーカス又はズーム機能を含めて反射光学系で構成することにより、従来の結像レンズ光学系において発生していたフレアやゴーストを防ぎ、ダイナミックレンジの範囲を拡大することを可能にした撮像装置を提供すると共に、フォーカス又はズーム動作に伴う画像の横ずれを最小限に抑制すること。
【解決手段】少なくとも、撮像光学系２と、撮像光学系２により被写体の光学像を結像する撮像素子８とを備える撮像装置において、撮像光学系２は、その結像光学系において少なくとも１つを反射ミラー９で構成すると共に、反射ミラー９の１つがフォーカス又はズーム動作の際に入射中心光線と射出中心光線のなす角の２等分線と平行に移動することを特徴とする撮像装置である。 （もっと読む）

【課題】全長の短い小型の撮像装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤ１２とレンズユニット８１と、を具備する撮像装置１であって、レンズユニット８１が、入射光をＣＣＤ１２の周囲に導光するレンズ群８２と、レンズ群８２が導光した光を光軸Ｏ方向に反射し、中央部にＣＣＤ１２が配置されたリングミラー２２と、リングミラー２２が反射した光をＣＣＤ１２に導光する、ＣＣＤ１２と対向する光軸Ｏ上の位置に配置された形状可変ミラー４０と、を有し、レンズユニット８１が格子状に配置された複数のレンズユニット８１を有するレンズユニット基板８０から個片化されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイ光学素子を用いた場合であっても、光強度分布（有効光源）を高精度に形成することができる露光装置を提供する。
【解決手段】光源と、照明光学系と、投影光学系とを備える露光装置であって、前記照明光学系は、前記光源からの光を反射する反射面を有する複数のミラーエレメントを含み、前記複数のミラーエレメントのそれぞれの前記光源からの光に対する角度を独立して制御することが可能なミラーアレイ光学素子と、前記光源からの光を前記ミラーアレイ光学素子に入射させると共に、前記複数のミラーエレメントのうち前記反射面で反射された光が前記レチクルに入射するように前記角度が制御された所定のミラーエレメントで反射された光が入射する第１の光学系と、前記光源からの光を前記光学系に入射させる第２の光学系と、前記光学系からの光が入射する第３の光学系と、を含むことを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）