【課題】クランプ力を増加でき大型で大重量のフォトマスク基板を容易にクランプでき、傷つけることなく運搬できるフォトマスク基板の運搬治具を提供する。
【解決手段】フォトマスク基板の運搬治具は、全長の調整が可能な外アームと内アームと、外アームの端部近傍に設けられフォトマスクの一端面をクランプ可能な、弾性クランプ部材を備えた可動クランプ部を持つ可動側ワーククランプ機構と、内アームの端部近傍に設けられ他端面をクランプする固定クランプ部を持つ固定側ワーククランプ機構を有し、可動側ワーククランプ機構は、可動クランプ部を進退させるクランプハンドルが取り付けられたトグル機構を有する。 （もっと読む）

この発明は、マスク基板（１１０）をクリーニングするためのマスククリーニング装置（１０１）及び方法に関する。本発明に係る実施の一形態は、トラップが冷却トラップ（１２０）を構成するマスククリーニング装置（１０１）である。更なるヒータ（１３０）が加熱機能を果たす。マスククリーニング装置（１０１）は、支持手段（１０５）と、エアロゾル（１５５）をマスク基板（１１０）へ吹き出すためのエアロゾルノズル（１５０）とを更に備えている。クリーニングプロセスの第１段階では、マスク基板（１１０）がヒータ（１３０）に接近し、マスク基板（１１０）が加熱される。クリーニングプロセスの第２段階では、ガス流（１７０）が停止され、マスク（１１０）が冷却トラップ（１２０）の近傍へ搬送される。冷却トラップ（１２０）は冷却される。クリーニングプロセスの第３段階では、エアロゾルノズル（１５０）がマスク基板（１１０）に向けてエアロゾル（１５５）を吹き出し、それにより、粒子がマスク基板（１１０）から分離されるようになる。この実施の形態は、分離された粒子を捕捉するためにサーモフォレティック力（ｔｈｅｒｍｏｐｈｏｒｅｔｉｃ：温度便乗性）を使用する。本発明に係る他の実施の形態は、分離された粒子を捕捉するために真空、静電力及び／又はゲッター金属を使用する。
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