本発明は、支持体を用意し、前記支持体の片側にマルチカラーマスクをコーティングし、支持体の反対側に可視光により硬化可能な層をコーティングし、光硬化可能な層をマスクを通して可視光に露光して光により硬化可能な層を露光部分において硬化させて硬化パターンを形成することを含む、積層透明構造体を形成する方法に関する。
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【課題】 下層に密パターンを形成し、上層にパターンを形成するレジストパターンの形成方法において、ミキシングを抑制できるレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】 次の（i）〜（ii）の工程；（i）基板上に第１のネガ型レジスト組成物を用いて第１のレジスト層を形成し、選択的に露光する工程；（ii）該第１のレジスト層の上に第２のネガ型レジスト組成物又はポジ型レジスト組成物を用いて第２のレジスト層を形成し、選択的に露光した後、第１のレジスト層と第２のレジスト層を同時に現像して、前記第１のレジスト層の未露光部の一部を露出させる工程；を含むレジストパターンの形成方法であって、前記第２のネガ型レジスト組成物又はポジ型レジスト組成物として、第１のレジスト層を溶解しない有機溶剤に溶解したものを用いることを特徴とするレジストパターンの形成方法。 （もっと読む）