【課題】マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防する。
【解決手段】マスク２を収納するマスクストッカー４０に、マスク２の下面の縁を支持するマスク支持部４４ａと、マスク支持部４４ａより盛り上がったマスク落下防止部４４ｂとを有する複数のマスク受け４２を設ける。少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに、マスク２の下面への接触の有無によりマスク２の有無を検出するマスク検出機構５１，５２，５３，５４，５５，５６を設ける。マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク２を載せるハンドリングアーム３１を有するマスク搬送装置３０により、マスク２を複数のマスク受け４２に搭載し、またマスク２を複数のマスク受け４２から持ち上げる。 （もっと読む）

【課題】原版を迅速に、かつ安全に搬送するのに有利な搬送システムを提供する。
【解決手段】この搬送システム１は、原版３に形成されたパターンを基板に露光する少なくとも１つの露光装置２と、原版３を保持し露光装置２に搬送する搬送車４と、該搬送車４が走行する走行路５とを有する。このとき、露光装置２が敷設される面から、露光装置２に設置された原版３を搬入する搬入口９までの高さが、搬送車４が走行する面から、搬送車４が原版３を保持して走行する際の原版３の保持位置までの高さよりも高く、搬送車４の保持位置と、露光装置２が搬入口９から原版３を受け取る位置とが一致する。 （もっと読む）

【課題】装置コストを大幅に抑制することができる露光装置、露光方法及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】スキャン露光装置１は、基板ＷをＸ方向に搬送する基板搬送機構１０と、マスクＭをそれぞれ保持し、Ｙ方向に沿って配置される複数のマスク保持部１１と、露光用光を照射する照射部１４と、各マスク保持部１１の下面と対向可能なマスクトレー部３３を有するマスクチェンジャー２と、を備える。マスクチェンジャー２は、マスクトレー部３３に載置されるマスクＭを、Ｘ方向及びＺ方向回りのθ方向に駆動可能な駆動機構３５Ａ、３５Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、搬送装置のメンテナンス作業を効率よく行うことができる搬送装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】 マスクケース搬送装置（２９）のメンテナンス方法は、ＣＺ軸駆動部（２６）によってケース保持部（２３）を上下方向の第１位置に配置する工程（Ｓ１０２）と、最上段、最下段および中央段に設けられた複数のＣＺ軸駆動部２６のカバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第１取り外し作業を行う工程（Ｓ１０６）と、第１取り外し作業後に取り外されていない複数の前記カバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第２取り外し作業を行う工程（Ｓ１０７）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】部品の点数の大幅な増加や大型化等を防ぎつつ、マスクの交換時間を短くすること。
【解決手段】第１のマスクＭ１での露光中に、第１のハンドラ１１ａがマスク保管部６から次に使用する第２のマスクＭ２を取り出し、プリアライメントステージ５に載せてプリアライメントを行う。露光が終わると第２のハンドラ１２ａが第１のマスクＭ１をプリアライメントステージ５まで運ぶ。マスク退避機構１３の第３のハンドラ１３ａは第１のマスクＭ１を受け取りいったん保持する。第２のハンドラ１２ａは、第２のマスクＭ２を保持し、マスクステージ２へ搬送する。同時に第３のハンドラ１３ａが保持していた第１のマスクＭ１を第１のハンドラが受け取ってマスク保管部６に回収する。マスク退避機構１３を設けマスクを退避させるようにしたのでマスクの交換時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】大型化の方向にあるマスクよりも更に大きな基板への露光であっても、微細なドットパターンが転写されることのない露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置において、マスク１００を下方からマスクホルダへ押し付けるマスクリフタ１０１と、マスクの位置の調整を行なうためのマスクプッシャ１０２と、マスクの位置の調整の際に、マスクとマスクホルダとの間の摩擦抵抗を低減するためのガスを供給する開口部１０３−１１を備えたマスクホルダを有する。 （もっと読む）

【課題】露光時に基板をフォトマスクに対して近接・離反させる距離を短くし、露光処理精度および作業速度を向上させる。
【解決手段】露光装置は、フォトマスク１の周縁１ａに引張力を加えるために該周縁１ａに取り付けられるアクチュエータ２を含む。アクチュエータ２は、エアシリンダ装置１３の作動により、フォトマスク１に平行な基板１６の搬送経路Ｔから遠ざかる位置へと傾動可能である。 （もっと読む）

【課題】突き上げピンによるマスクの損傷を防止し、かつ露光時の露光むらを抑制する。
【解決手段】チャック１０に、チャック１０の内部から上昇する複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを設ける。各突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、マスクをマスク搬送装置によりチャック１０へ搬入し、マスクを複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスク搬送装置から受け取る。ステージによりチャック１０を移動して、マスクの位置決めを行い、マスクを複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスクホルダ２０に装着した後、各突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの先端をチャック１０の表面と同じ材質のもの（パッド３０）に変更する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成のマスク交換機構により、エアパッドとの干渉を確実に防止しつつ、マスクの交換を行なうことができるスキャン露光装置および液晶ディスプレイ用基板を提供する。
【解決手段】近接スキャン露光装置１のマスクチェンジャ２は、上面にマスクＭが載置可能なマスクトレー４１と、エアパッド２１より高い位置に配置され、マスクトレー４１をＹ方向に駆動する駆動ベルト機構４２と、マスクトレー４１がマスク保持部１１の下方を移動する際、エアパッド２１と接触しないようにマスクトレー４１を直動案内する直動案内機構４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の搬送時、及び露光時におけるガラス基板の保持において、ガラス基板を安全に保持することが可能な露光装置用基板アダプタ及び露光装置を提供する。
【解決手段】マスクアダプタ８０は、マスクＭの周縁部を囲う開口８１ａを形成するフレーム部８１と、開口８１ａの周縁に設けられ、マスクの周縁部と当接してマスクＭを保持する保持部８２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】外部への振動伝達を防止することができる移動体装置を提供する。
【解決手段】物体を移動させる移動体ＭＳＴと、前記移動体を所定方向に駆動する駆動装置４８Ａ，４８Ｂと、前記駆動装置により前記移動体を駆動する際に発生する反作用力を回転エネルギーに変換する変換部９０，９２とを備える。 （もっと読む）

【課題】負圧室の天板の交換を短時間で行い、生産性を向上する。
【解決手段】透明な天板２１は、マスクホルダ２０の開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダ２０と共に負圧室を形成する。負圧室にマスクの単位面積当たりの質量を相殺する負圧をかけることによって、マスクのたわみが抑制される。Ｘステージ５は、チャック１０をマスクホルダ２０の下方から離れた受け渡し位置へ移動する。マスクホルダ２０は、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを有し、ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを移動して開口を天板２１より大きく広げる。マスク搬送ロボット５０は、天板搬送用パレット４１に搭載された天板２１を、マスクホルダ２０の広げた開口を通して、マスクホルダ２０の下方へ搬出し又はマスクホルダ２０の下方から搬入する。 （もっと読む）

【課題】マスク上のパターンを高精度で基板上に投影露光する。
【解決手段】マスク１１に照明光を照射する照明光学系１０と、照明光を基板上に投影する投影光学系１２とを備えた露光装置において、マスクのパターン面に所定の第１曲面を形成させる第１保持体２１ａ，２１ｂと基板の結像面に所定の第２曲面を形成させる第２保持体２２ａ，２２ｂとを有し、第１曲面と第２曲面とを維持しつつ、マスク上のパターンを基板上に投影露光する。また、第２曲面は第１曲面に合わせて形成されるものとする。 （もっと読む）

【課題】１種類のマスクケースを用いて、複数の露光ユニットのマスクストッカに挿入方向を間違うことなくマスクを供給することができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＰＥでは、露光ユニット１００Ａ，１００Ｂは、並列配置され、露光ユニット１００Ａ，１００Ｂは、各露光ユニット１００Ａ，１００Ｂの対称位置に配置され、複数枚のマスクＭを収容し、且つマスクＭのマスク供給口１９Ａ，１９Ｂが互いに対向するように配置されるマスクストッカ１８Ａ，１８Ｂと、マスクストッカ１８Ａ，１８Ｂから所定のマスクＭをマスクステージ１０Ａ，１０Ｂに供給するマスクローダ１７Ａ，１７Ｂと、を備え、マスクストッカ１８Ａ，１８ＢにマスクＭを供給し、露光ユニット１００Ａ，１００Ｂ間を移動自在、且つ回転自在なマスクケース２０を備える。 （もっと読む）

【課題】複数のマスクを露光装置から効率的に回収し又分配できる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置３０が、受け渡し位置を挟んで、搬送ラインＬに沿った一方の端側でマスクストッカＭＳ１，ＭＳ２との間でマスクＭの受け渡しを行い、少なくとも露光中は、搬送ラインＬに沿った他方の端側で待機するので、待機位置からマスクストッカＭＳ１，ＭＳ２に向かう動作で使用済みマスクＭの回収を行い、マスクストッカＭＳ１，ＭＳ２から待機位置に向かう動作で未使用マスクＭの搬送を行えるため、１往復動作でマスクＭの回収及び装着を実現でき、必要な時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】温度変化による位置決め精度の低下がなく、製品歩留まりと信頼性の向上が可能となる静電チャックを提供する。
【解決手段】セラミック中に埋設された電極３を具備した静電チャック１において、該セラミックの２３±３℃の温度範囲における熱膨張係数が−０．５×１０^-6〜０．５×１０^-6／℃であり、かつ、該セラミックと該電極３の２３±３℃の温度範囲におけるそれぞれの熱膨張係数の差が−０．１×１０^-6〜０．１×１０^-6／℃であり、かつ、前記電極３の上面に形成された前記セラミック層２の厚みが０．５〜２．５ｍｍであり、前記電極３の厚さが０．０１〜０．８ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】 モータ効率を低下させることなく高い冷却能力を有するリニアモータを提供する。
【解決手段】 第１方向に沿って形成された２つの直線部Ｌを有するコイル体Ｃが固定子３１と可動子との一方に設けられる。コイル体Ｃの２つの直線部Ｌの間に形成された空芯部Ｋに、温度調整用媒体が流れる管体ＣＰの少なくとも一部を第１方向に沿って配設する。 （もっと読む）

【課題】 半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの各種の基板処理装置に付着する０．２〜２．０μｍ程度の粒子径の異物を効率良く除去できるクリーニング部材を提供することを課題とする。

【解決手段】 搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層が設けられてなるクリーニング機能付き搬送部材において、クリーニング層の膜厚のばらつきが１０％以下であることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材、とくに、上記のクリーニング層が実質的に粘着力を有しない上記構成のクリーニング機能付き搬送部材。 （もっと読む）

【課題】 マスクの交換時間を短縮させることができる露光システムを有する平板表示装置の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも一つ以上のマスクが積載される第１マスクローディング／アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第１マスク搬送装置と、前記第１マスクローディング／アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第２マスクローディング／アンローディング装置と、前記第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第２マスク搬送装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク、フォトマスクブランクス及びガラス基板等の基板を安定した状態で保持し、複数枚入りの基板ケースからの基板の取り出しと１枚入りの基板ケースへの基板の収納が容易にできる基板把持用ハンドラーを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくともグリップ１１と、メインアーム１２と、サブアーム１３と、基板保持部１４と、レバー１５とからなる基板把持用ハンドラーであって、前記基板保持部１４がメインアーム１２の中心軸よりサブアーム１３にて所定の距離ずらした位置に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）