【課題】大型の被露光材を露光するために、複雑且つ高コストの露光機構を要することなく、露光に使用するマスクのコストを抑えることである。
【解決手段】本発明に係る露光装置は、光源からの照射光を遮断する遮光領域と照射光を透過させる透光領域とを金属板に形成した複数のメタルマスクと、光源と搬送された被露光材との間に、複数のメタルマスクを保持するマスク保持部とを備える。マスク保持部は、同一平面上に並置された複数のメタルマスクを、隣り合うメタルマスクの各端部が互いに接触するように、連結して保持するものであり、複数のメタルマスクは、並置且つ連結されることによって全体として１個のメタルマスクを構成すると共に、マスク保持部に対して、それぞれ個別に着脱できるものである。 （もっと読む）

【課題】マスクを保持する吸着力が低下した場合でも、マスクの落下を防止することができる露光装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】マスク保持部１１には、前記マスクＭを真空吸着するための吸着溝４１が形成されており、前記吸着溝４１と、真空圧を発生させる第２の真空圧ポンプ５２とを接続する空気圧回路６０には、第２の真空圧ポンプ５２へのエアを遮断する切替弁６１が設けられ、且つ、第２の真空圧ポンプ５２には無停電電源装置が取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】大型化の方向にあるマスクよりも更に大きな基板への露光であっても、微細なドットパターンが転写されることのない露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置において、マスク１００を下方からマスクホルダへ押し付けるマスクリフタ１０１と、マスクの位置の調整を行なうためのマスクプッシャ１０２と、マスクの位置の調整の際に、マスクとマスクホルダとの間の摩擦抵抗を低減するためのガスを供給する開口部１０３−１１を備えたマスクホルダを有する。 （もっと読む）

【課題】突き上げピンによるマスクの損傷を防止し、かつ露光時の露光むらを抑制する。
【解決手段】チャック１０に、チャック１０の内部から上昇する複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを設ける。各突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、マスクをマスク搬送装置によりチャック１０へ搬入し、マスクを複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスク搬送装置から受け取る。ステージによりチャック１０を移動して、マスクの位置決めを行い、マスクを複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスクホルダ２０に装着した後、各突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの先端をチャック１０の表面と同じ材質のもの（パッド３０）に変更する。 （もっと読む）

【課題】大型のマスクを、ハンドリングアームから落下する恐れなく安全に搬送する。
【解決手段】マスク２をハンドリングアーム５０に搭載して搬送するマスク搬送装置に、ハンドリングアーム５０の傾きを調節する傾き調節機構を設け、マスク２を搭載したハンドリングアーム５０を、傾き調節機構により、ハンドリングアーム５０のたわむ方向と反対方向に傾けながら、マスク２を搬送する。マスク２を搭載したハンドリングアーム５０のたわみ量が小さくなり、大型のマスク２が、ハンドリングアーム５０から落下する恐れなく安全に搬送される。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ方式を用いた基板の露光において、タクトタイムを短縮する。
【解決手段】チャック１０の露光位置側の周辺部に第１の真空区画１０ａを設け、チャック１０の中央部に第２の真空区画１０ｂを設け、チャック１０の露光位置と反対側の周辺部に第３の真空区画１０ｃを設け、受け渡し位置で、基板１をチャック１０に搭載し、第１の真空区画１０ａの真空引きを行った後、チャック１０を受け渡し位置から露光位置へ移動するのと並行して、第２の真空区画１０ｂの真空引きを行い、第２の真空区画１０ｂの真空引きを行った後、第３の真空区画１０ｃの真空引きを行う。 （もっと読む）

【課題】省スペース化が図られると共に、プリアライメントによる位置精度を維持したまま基板を露光領域に搬送できる露光装置用基板搬送機構及びそれを用いた基板位置調整方法を提供する。
【解決手段】基板搬送機構２０は、略矩形状の基板Ｗに対してマスクＭを介して露光用光ＥＬを照射し、基板ＷにマスクＭのパターンＰを露光する近接スキャン露光装置１に適用され、基板Ｗを浮上させて支持すると共に、基板Ｗを所定方向に搬送する。基板搬送機構２０は、基板搬入側領域ＩＡに設けられ、基板搬入側領域ＩＡで待機される基板Ｗのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構５０を備える。プリアライメント機構５０は、基板Ｗの対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な基準ピン５１，５２と、対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、基板Ｗに向かう方向に移動可能な押し当てピン５３，５４とを有する。 （もっと読む）

【課題】吸着対象としての板状体における歪の発生を防止することが可能で、かつ、所定の寸法精度を満足することができる吸着部材を提供する。
【解決手段】吸着ポート１は、板状体を吸着するための吸着部材であって、板状体を吸着する吸着面１１１を有する吸着部１１０と、吸着部１１０を支持し、所定の箇所に固定するための支持部１２０と、吸着部１１０と支持部１２０とを連結する連結部１３０とを備え、吸着部１１０の吸着面１１１の平面度は、０．１μｍ以上３μｍ以下であり、当該吸着部材はセラミックスからなる。 （もっと読む）

【課題】マスクをマスクステージに吸着保持する時にマスクに応力が作用して歪みが生じた際、マスクステージにマスクを保持させた状態で歪みを解消することができ、保持されたマスク形状の再現性を高め、高精度の露光転写を行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】分割逐次露光装置ＰＥでは、マスクステージ１が、マスクＭの互いに対向する２辺に対応して配置されて、それぞれ複数のボックス溝１６ｂ（１６ｂ１，１６ｂ２，・・・１６ｂ１０）を有する一対のチャック部１６を備える。各チャック部１６における複数のボックス溝１６ｂは、互いに独立にマスクＭに吸着力を付与可能である。 （もっと読む）

【課題】吸着力を低下させる異常がワークに存在するか否かをコストの大幅な上昇等を招くことなく検出することのできる露光装置を提供する。
【解決手段】ワークステージ１２上に露光すべきワークＷを吸着して露光を行う露光装置は、ワーク吸引孔１６の吸引圧が−３０ｋＰａを超えるとＯＮ状態になり且つ−３０ｋＰａを下回るとＯＦＦ状態になる第１のバキュームセンサ２０と、ワーク吸引孔１６の吸引圧が０ｋＰａを超えるとＯＮ状態になり且つ０ｋＰａを下回るとＯＦＦ状態になる第２のバキュームセンサ２１と、バキュームセンサ２０，２１のＯＮ／ＯＦＦ状態に基づいて吸着力を低下させる異常がワークＷに存在するか否かを検出する異常検出手段２２とを備えている。 （もっと読む）