プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法
【課題】マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防する。
【解決手段】マスク２を収納するマスクストッカー４０に、マスク２の下面の縁を支持するマスク支持部４４ａと、マスク支持部４４ａより盛り上がったマスク落下防止部４４ｂとを有する複数のマスク受け４２を設ける。少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに、マスク２の下面への接触の有無によりマスク２の有無を検出するマスク検出機構５１，５２，５３，５４，５５，５６を設ける。マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク２を載せるハンドリングアーム３１を有するマスク搬送装置３０により、マスク２を複数のマスク受け４２に搭載し、またマスク２を複数のマスク受け４２から持ち上げる。
【解決手段】マスク２を収納するマスクストッカー４０に、マスク２の下面の縁を支持するマスク支持部４４ａと、マスク支持部４４ａより盛り上がったマスク落下防止部４４ｂとを有する複数のマスク受け４２を設ける。少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに、マスク２の下面への接触の有無によりマスク２の有無を検出するマスク検出機構５１，５２，５３，５４，５５，５６を設ける。マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク２を載せるハンドリングアーム３１を有するマスク搬送装置３０により、マスク２を複数のマスク受け４２に搭載し、またマスク２を複数のマスク受け４２から持ち上げる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法に係り、特に、マスクをマスク搬送装置によりマスクストッカーからマスクホルダへ搬送するプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
プロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクとチャックに支持された基板とを極めて接近させて露光を行う。マスクホルダは、露光光が通過する開口と、開口の周囲に設けられた吸着溝とを有し、吸着溝によりマスクの周辺部を真空吸着して、マスクをチャックに支持された基板に向かい合わせて保持する。
【０００４】
一般に、プロキシミティ露光装置には、使用していないマスクを収納するマスクストッカーが設けられており、マスクストッカー内には、複数のマスクが上下に並べて収納されている。マスクストッカーに収納されていたマスクは、マスク搬送装置により、マスクホルダへ搬送される。特許文献１には、マスク搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−８６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マスクストッカー内には、マスクの下面の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受けが設けられている。各マスク受けには、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部と設けられており、マスク支持部に支持されたマスクが横ずれしても、マスクの側面がマスク落下防止部に接触して、マスクの落下が防止される構造となっている。
【０００７】
マスクストッカーへのマスクの搬入、及びマスクストッカーからのマスクの搬出は、マスク搬送装置のハンドリングアームにより行われる。従来は、マスクストッカー内のマスクの有無を、投光部と受光部とから成る非接触式の光学センサーを用いて検出し、検出結果に基づき、マスク搬送装置を駆動していた。光学センサーは、投光部と受光部とがマスク受けによりマスクが支持される高さを挟んで設置され、投光部から照射した光を受光部で受光し、受光部で受光した光の強度から、マスクの有無を検出していた。
【０００８】
しかしながら、従来の光学センサーは、受光部により受光される光の強度が、マスクに形成されたパターンにより変化するため、誤検出が発生する恐れがあった。また、マスク搬送装置のハンドリングアームによりマスクをマスク受けに搭載する際、マスクの縁がマスク受けのマスク落下防止部に引っ掛かって、マスクがマスク受けに正常に搭載されない場合がある。その場合、光学センサーがマスクの存在を検出すると、マスクが傾いた状態でマスク搬送装置がマスクを取りに行き、マスク搬送装置のハンドリングアームがマスクに衝突する恐れがあった。
【０００９】
本発明の課題は、マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のプロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを備え、複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持して、マスクを収納するマスクストッカーと、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に設けられ、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構と、マスクを載せるハンドリングアームを有するマスク搬送装置と、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置を制御して、マスクを複数のマスク受けに搭載し、またマスクを複数のマスク受けから持ち上げてマスクホルダへ搬送する制御装置とを備えたものである。
【００１１】
また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、マスクを収納するマスクストッカーに、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを設け、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設け、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けに搭載して、複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持し、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けから持ち上げてマスクホルダへ搬送するものである。
【００１２】
本発明のマスク検出機構は、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するので、従来の光学センサーの様なマスクのパターンによる誤検出が発生しない。そして、マスク検出機構を、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に設けるので、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることが確認され、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損が予防される。
【００１３】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、マスク検出機構が、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを有するものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、マスク検出機構に、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを設け、センサーにより移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在を検出するものである。
【００１４】
マスクがマスク受けのマスク支持部に搭載されていないときは、移動部材が付勢機構により上方へ付勢されて下方へ移動せず、センサーが移動部材の下方への移動を検出しないので、マスクの存在が検出されない。マスクがマスク受けのマスク支持部に搭載されると、マスクの重みにより移動部材が付勢機構の付勢力に逆らって下方へ移動し、センサーが移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在が検出される。移動部材と付勢機構とセンサーとを用いた簡単な構成で、マスク受けに正常に搭載されたマスクの存在が確実に検出される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設けることにより、マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防することができる。
【００１６】
さらに、マスク検出機構に、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを設け、センサーにより移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在を検出することにより、移動部材と付勢機構とセンサーとを用いた簡単な構成で、マスク受けに正常に搭載されたマスクの存在を確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図３】マスク搬送装置の上面図である。
【図４】マスクストッカーの内部の側面図である。
【図５】マスク収納部の上面図である。
【図６】図６（ａ）はマスク検出機構が設けられていないマスク受けの正面図、図６（ｂ）は同側面図である。
【図７】図７（ａ）はマスク検出機構が設けられたマスク受けの正面図、図７（ｂ）は同側面図である。
【図８】マスク検出機構の動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、マスク搬送装置３０、マスクストッカー４０、及び制御装置６０を含んで構成されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板をチャック１０へ搬入し、また基板をチャック１０から搬出する基板搬送装置、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００１９】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００２０】
図１において、チャック１０は、基板のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送装置により、基板がチャック１０へ搬入され、また基板がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板のロード及びチャック１０からの基板のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板をチャック１０にロードする際、基板搬送装置から基板を受け取り、基板をチャック１０からアンロードする際、基板搬送装置へ基板を受け渡す。チャック１０は、基板の裏面を真空吸着して支持する。
【００２１】
図２において、基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられており、開口の下方には、マスク２が装着されている。マスクホルダ２０の下面の開口の周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ２０は、吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。
【００２２】
チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図２の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図２の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。
【００２３】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないＺ−チルト機構により、マスクホルダ２０をＺ方向（図２の図面上下方向）へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、マスク２と基板１との位置合わせが行われる。
【００２４】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。また、本実施の形態では、Ｘステージ５及びＹステージ７によりチャック１０をＸＹ方向へ移動することにより、マスク２と基板１との位置合わせを行っているが、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動するステージを設けて、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動することにより、マスク２と基板１との位置合わせを行ってもよい。
【００２５】
図１において、ベース３の奥には、マスク搬送装置３０及びマスクストッカー４０が設けられている。マスクストッカー４０には、複数のマスクが上下に並べて収納されている。マスク搬送装置３０は、マスク２をマスクストッカー４０からマスクホルダ２０へ搬送し、またマスク２をマスクホルダ２０からマスクストッカー４０へ搬送する。
【００２６】
図３は、マスク搬送装置の上面図である。マスク搬送装置３０は、マスク２を載せる複数のハンドリングアーム３１を備えている。各ハンドリングアーム３１の上面には、複数のマスク受け３２が設けられており、各マスク受け３２は、ハンドリングアーム３１に搭載されたマスク２の下面の縁を支持する。
【００２７】
図４は、マスクストッカーの内部の側面図である。マスクストッカー４０内には、マスク２を収納する複数のマスク収納部４０ａと、マスクケース４３を搭載するマスクケース搭載部４０ｂとが設けられている。各マスク収納部４０ａには、プレート４１の上に、マスク２の下面の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。図５は、マスク収納部４０ａの上面図である。本実施の形態では、破線で示したマスク２の各辺に対して、マスク受け４２が２つずつ設けられている。これらのマスク受け４２の内、少なくとも１つのマスク受け４２には、後述するマスク検出機構が設けられている。
【００２８】
図６（ａ）はマスク検出機構が設けられていないマスク受けの正面図、図６（ｂ）は同側面図である。マスク受け４２は、マスク受け部材４４と、台座ブロック４５とを含んで構成されている。マスク受け部材４４の上面には、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部４４ａと、マスク支持部４４ａより盛り上がったマスク落下防止部４４ｂとが設けられている。図６（ｂ）において、マスク受け４２に破線で示すマスク２が搭載されたとき、マスク支持部４４ａに支持されたマスク２が横ずれしても、マスク２の側面がマスク落下防止部４４ｂに接触して、マスク２の落下が防止される。マスク落下防止部４４ｂには、マスク受け４２にマスクを搭載する際、マスクの縁を案内するためのテーパ部４４ｃが設けられている。
【００２９】
なお、マスク受け４２の数及び配置は、図５に示した例に限らず、マスク搬送装置３０のハンドリングアーム３１の数及び配置に応じて適宜決定される。
【００３０】
図４において、マスクケース搭載部４０ｂには、マスクケース４３を搭載するプレート４１が設けられている。マスク２を収納したマスクケース４３は、専用の台車により、マスクストッカー４０のマスクケース搭載部４０ｂへ移動される。なお、マスクストッカー４０へ移動される際、マスクケース４３の上部及び手前側には着脱可能な蓋が取り付けられているが、図４では、蓋を外した状態が示されている。マスクケース４３内には、マスク２の下面の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。各マスク受け４２の構造は、図６と同様である。マスクケース４３に収納されたマスク２は、マスク搬送装置３０のハンドリングアーム３１により、マスクストッカー４０のマスク収納部４０ａへ移送される。
【００３１】
以下、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法について説明する。図７（ａ）はマスク検出機構が設けられたマスク受けの正面図、図７（ｂ）は同側面図である。また、図８は、マスク検出機構の動作を説明する図である。図７及び図８において、マスク検出機構は、移動部材５１、ロッド５２、ガイド５３、圧縮コイルバネ５４、ブラケット５５、及びセンサー５６を含んで構成されている。
【００３２】
図８（ａ），（ｂ）において、マスク検出機構が設けられたマスク受け４２のマスク受け部材４４には、マスク支持部４４ａに貫通孔が設けられており、貫通孔には、下方から移動部材５１が挿入されている。また、マスク検出機構が設けられたマスク受け４２の台座ブロック４５には、段差付き貫通孔４５ａが設けられており、段差付き貫通孔４５ａには、移動部材５１、ロッド５２、ガイド５３、及び圧縮コイルバネ５４が収容されている。さらに、台座ブロック４５の底部には、切り欠き部４５ｂが形成されており、切り欠き部４５ｂには、センサー５６が挿入されている。段差付き貫通孔４５ａの下端は、切り欠き部４５ｂにつながっている。その他の構造は、図６に示したマスク検出機構が設けられていないマスク受けと同様である。
【００３３】
移動部材５１の下端には、ロッド５２が連結されており、ロッド５２はガイド５３により上下に案内されている。移動部材５１は、圧縮コイルバネ５４により上方へ付勢されており、マスクがマスク受け部材４４のマスク支持部４４ａに搭載されていないとき、図８（ａ）に示す様に、移動部材５１の上端がマスク支持部４４ａから突き出ている。このとき、ロッド５２の下端は、台座ブロック４５の切り欠き部４５ｂへ突き出ていない。台座ブロック４５の側面にはブラケット５５が取り付けられており、ブラケット５５にはセンサー５６が取り付けられている。センサー５６は、設定した検出範囲内にある物体を検出する近接型センサーであって、その検出部が台座ブロック４５の切り欠き部４５ｂに挿入されている。
【００３４】
図８（ａ）に示す様に、マスクがマスク受け部材４４のマスク支持部４４ａに搭載されていないときは、移動部材５１が圧縮コイルバネ５４により上方へ付勢されて下方へ移動しないので、ロッド５２の下端がセンサー５６の検出範囲内に入らず、センサー５６がロッド５２を検出しない。図８（ｂ）に示す様に、マスク２がマスク受け部材４４のマスク支持部４４ａに搭載されると、マスク２の重みにより移動部材５１が圧縮コイルバネ５４の付勢力に逆らって下方へ移動し、ロッド５２の下端がセンサー５６の検出範囲内に入って、センサー５６がロッド５２を検出する。マスク検出機構は、センサー５６によるロッド５２の検出の有無から、マスク２の有無を検出する。移動部材５１と圧縮コイルバネ５４とセンサー５６とを用いた簡単な構成で、マスク受け４２に正常に搭載されたマスク２の存在が確実に検出される。
【００３５】
マスク検出機構は、マスク２の有無の検出結果を、図１の制御装置６０へ出力する。図１において、制御装置６０は、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置３０を制御して、マスク２をマスクストッカー４０の複数のマスク受け４２に搭載し、またマスク２をマスクストッカー４０の複数のマスク受け４２から持ち上げてマスクホルダ２０へ搬送する。
【００３６】
本実施の形態のマスク検出機構は、マスク２の下面への接触の有無によりマスク２の有無を検出するので、従来の光学センサーの様なマスク２のパターンによる誤検出が発生しない。そして、マスク検出機構を、少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに設けるので、マスク２がマスクストッカー４０内のマスク受け４２に正常に搭載されていることが確認され、マスク２の搬入又は搬出時のマスク２の破損が予防される。
【００３７】
以上説明した実施の形態によれば、少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに、マスク２の下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設けることにより、マスク２のパターンによるマスク２の有無の誤検出を防止するとともに、マスク２がマスクストッカー４０内のマスク受け４２に正常に搭載されていることを確認して、マスク２の搬入又は搬出時のマスク２の破損を予防することができる。
【００３８】
さらに、マスク検出機構に、マスク２の下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材５１と、移動部材５１を上方へ付勢する圧縮コイルバネ５４と、移動部材５１の下方への移動を検出するセンサー５６とを設け、センサー５６により移動部材５１の下方への移動を検出して、マスク２の存在を検出することにより、移動部材５１と圧縮コイルバネ５４とセンサー５６とを用いた簡単な構成で、マスク受け４２に正常に搭載されたマスク２の存在を確実に検出することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
２０ マスクホルダ
３０ マスク搬送装置
３１ ハンドリングアーム
３２ マスク受け
４０ マスクストッカー
４０ａ マスク収納部
４０ｂ マスクケース搭載部
４１ プレート
４２ マスク受け
４３ マスクケース
４４ マスク受け部材
４４ａ マスク支持部
４４ｂ マスク落下防止部
４４ｃ テーパ部
４５ 台座ブロック
５１ 移動部材
５２ ロッド
５３ ガイド
５４ 圧縮コイルバネ
５５ ブラケット
５６ センサー
６０ 制御装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法に係り、特に、マスクをマスク搬送装置によりマスクストッカーからマスクホルダへ搬送するプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
プロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクとチャックに支持された基板とを極めて接近させて露光を行う。マスクホルダは、露光光が通過する開口と、開口の周囲に設けられた吸着溝とを有し、吸着溝によりマスクの周辺部を真空吸着して、マスクをチャックに支持された基板に向かい合わせて保持する。
【０００４】
一般に、プロキシミティ露光装置には、使用していないマスクを収納するマスクストッカーが設けられており、マスクストッカー内には、複数のマスクが上下に並べて収納されている。マスクストッカーに収納されていたマスクは、マスク搬送装置により、マスクホルダへ搬送される。特許文献１には、マスク搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−８６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マスクストッカー内には、マスクの下面の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受けが設けられている。各マスク受けには、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部と設けられており、マスク支持部に支持されたマスクが横ずれしても、マスクの側面がマスク落下防止部に接触して、マスクの落下が防止される構造となっている。
【０００７】
マスクストッカーへのマスクの搬入、及びマスクストッカーからのマスクの搬出は、マスク搬送装置のハンドリングアームにより行われる。従来は、マスクストッカー内のマスクの有無を、投光部と受光部とから成る非接触式の光学センサーを用いて検出し、検出結果に基づき、マスク搬送装置を駆動していた。光学センサーは、投光部と受光部とがマスク受けによりマスクが支持される高さを挟んで設置され、投光部から照射した光を受光部で受光し、受光部で受光した光の強度から、マスクの有無を検出していた。
【０００８】
しかしながら、従来の光学センサーは、受光部により受光される光の強度が、マスクに形成されたパターンにより変化するため、誤検出が発生する恐れがあった。また、マスク搬送装置のハンドリングアームによりマスクをマスク受けに搭載する際、マスクの縁がマスク受けのマスク落下防止部に引っ掛かって、マスクがマスク受けに正常に搭載されない場合がある。その場合、光学センサーがマスクの存在を検出すると、マスクが傾いた状態でマスク搬送装置がマスクを取りに行き、マスク搬送装置のハンドリングアームがマスクに衝突する恐れがあった。
【０００９】
本発明の課題は、マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のプロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを備え、複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持して、マスクを収納するマスクストッカーと、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に設けられ、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構と、マスクを載せるハンドリングアームを有するマスク搬送装置と、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置を制御して、マスクを複数のマスク受けに搭載し、またマスクを複数のマスク受けから持ち上げてマスクホルダへ搬送する制御装置とを備えたものである。
【００１１】
また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、マスクを収納するマスクストッカーに、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを設け、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設け、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けに搭載して、複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持し、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けから持ち上げてマスクホルダへ搬送するものである。
【００１２】
本発明のマスク検出機構は、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するので、従来の光学センサーの様なマスクのパターンによる誤検出が発生しない。そして、マスク検出機構を、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に設けるので、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることが確認され、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損が予防される。
【００１３】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、マスク検出機構が、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを有するものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、マスク検出機構に、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを設け、センサーにより移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在を検出するものである。
【００１４】
マスクがマスク受けのマスク支持部に搭載されていないときは、移動部材が付勢機構により上方へ付勢されて下方へ移動せず、センサーが移動部材の下方への移動を検出しないので、マスクの存在が検出されない。マスクがマスク受けのマスク支持部に搭載されると、マスクの重みにより移動部材が付勢機構の付勢力に逆らって下方へ移動し、センサーが移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在が検出される。移動部材と付勢機構とセンサーとを用いた簡単な構成で、マスク受けに正常に搭載されたマスクの存在が確実に検出される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設けることにより、マスクのパターンによるマスクの有無の誤検出を防止するとともに、マスクがマスクストッカー内のマスク受けに正常に搭載されていることを確認して、マスクの搬入又は搬出時のマスクの破損を予防することができる。
【００１６】
さらに、マスク検出機構に、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを設け、センサーにより移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在を検出することにより、移動部材と付勢機構とセンサーとを用いた簡単な構成で、マスク受けに正常に搭載されたマスクの存在を確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図３】マスク搬送装置の上面図である。
【図４】マスクストッカーの内部の側面図である。
【図５】マスク収納部の上面図である。
【図６】図６（ａ）はマスク検出機構が設けられていないマスク受けの正面図、図６（ｂ）は同側面図である。
【図７】図７（ａ）はマスク検出機構が設けられたマスク受けの正面図、図７（ｂ）は同側面図である。
【図８】マスク検出機構の動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、マスク搬送装置３０、マスクストッカー４０、及び制御装置６０を含んで構成されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板をチャック１０へ搬入し、また基板をチャック１０から搬出する基板搬送装置、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００１９】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００２０】
図１において、チャック１０は、基板のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送装置により、基板がチャック１０へ搬入され、また基板がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板のロード及びチャック１０からの基板のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板をチャック１０にロードする際、基板搬送装置から基板を受け取り、基板をチャック１０からアンロードする際、基板搬送装置へ基板を受け渡す。チャック１０は、基板の裏面を真空吸着して支持する。
【００２１】
図２において、基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられており、開口の下方には、マスク２が装着されている。マスクホルダ２０の下面の開口の周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ２０は、吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。
【００２２】
チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図２の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図２の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。
【００２３】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないＺ−チルト機構により、マスクホルダ２０をＺ方向（図２の図面上下方向）へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、マスク２と基板１との位置合わせが行われる。
【００２４】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。また、本実施の形態では、Ｘステージ５及びＹステージ７によりチャック１０をＸＹ方向へ移動することにより、マスク２と基板１との位置合わせを行っているが、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動するステージを設けて、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動することにより、マスク２と基板１との位置合わせを行ってもよい。
【００２５】
図１において、ベース３の奥には、マスク搬送装置３０及びマスクストッカー４０が設けられている。マスクストッカー４０には、複数のマスクが上下に並べて収納されている。マスク搬送装置３０は、マスク２をマスクストッカー４０からマスクホルダ２０へ搬送し、またマスク２をマスクホルダ２０からマスクストッカー４０へ搬送する。
【００２６】
図３は、マスク搬送装置の上面図である。マスク搬送装置３０は、マスク２を載せる複数のハンドリングアーム３１を備えている。各ハンドリングアーム３１の上面には、複数のマスク受け３２が設けられており、各マスク受け３２は、ハンドリングアーム３１に搭載されたマスク２の下面の縁を支持する。
【００２７】
図４は、マスクストッカーの内部の側面図である。マスクストッカー４０内には、マスク２を収納する複数のマスク収納部４０ａと、マスクケース４３を搭載するマスクケース搭載部４０ｂとが設けられている。各マスク収納部４０ａには、プレート４１の上に、マスク２の下面の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。図５は、マスク収納部４０ａの上面図である。本実施の形態では、破線で示したマスク２の各辺に対して、マスク受け４２が２つずつ設けられている。これらのマスク受け４２の内、少なくとも１つのマスク受け４２には、後述するマスク検出機構が設けられている。
【００２８】
図６（ａ）はマスク検出機構が設けられていないマスク受けの正面図、図６（ｂ）は同側面図である。マスク受け４２は、マスク受け部材４４と、台座ブロック４５とを含んで構成されている。マスク受け部材４４の上面には、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部４４ａと、マスク支持部４４ａより盛り上がったマスク落下防止部４４ｂとが設けられている。図６（ｂ）において、マスク受け４２に破線で示すマスク２が搭載されたとき、マスク支持部４４ａに支持されたマスク２が横ずれしても、マスク２の側面がマスク落下防止部４４ｂに接触して、マスク２の落下が防止される。マスク落下防止部４４ｂには、マスク受け４２にマスクを搭載する際、マスクの縁を案内するためのテーパ部４４ｃが設けられている。
【００２９】
なお、マスク受け４２の数及び配置は、図５に示した例に限らず、マスク搬送装置３０のハンドリングアーム３１の数及び配置に応じて適宜決定される。
【００３０】
図４において、マスクケース搭載部４０ｂには、マスクケース４３を搭載するプレート４１が設けられている。マスク２を収納したマスクケース４３は、専用の台車により、マスクストッカー４０のマスクケース搭載部４０ｂへ移動される。なお、マスクストッカー４０へ移動される際、マスクケース４３の上部及び手前側には着脱可能な蓋が取り付けられているが、図４では、蓋を外した状態が示されている。マスクケース４３内には、マスク２の下面の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。各マスク受け４２の構造は、図６と同様である。マスクケース４３に収納されたマスク２は、マスク搬送装置３０のハンドリングアーム３１により、マスクストッカー４０のマスク収納部４０ａへ移送される。
【００３１】
以下、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法について説明する。図７（ａ）はマスク検出機構が設けられたマスク受けの正面図、図７（ｂ）は同側面図である。また、図８は、マスク検出機構の動作を説明する図である。図７及び図８において、マスク検出機構は、移動部材５１、ロッド５２、ガイド５３、圧縮コイルバネ５４、ブラケット５５、及びセンサー５６を含んで構成されている。
【００３２】
図８（ａ），（ｂ）において、マスク検出機構が設けられたマスク受け４２のマスク受け部材４４には、マスク支持部４４ａに貫通孔が設けられており、貫通孔には、下方から移動部材５１が挿入されている。また、マスク検出機構が設けられたマスク受け４２の台座ブロック４５には、段差付き貫通孔４５ａが設けられており、段差付き貫通孔４５ａには、移動部材５１、ロッド５２、ガイド５３、及び圧縮コイルバネ５４が収容されている。さらに、台座ブロック４５の底部には、切り欠き部４５ｂが形成されており、切り欠き部４５ｂには、センサー５６が挿入されている。段差付き貫通孔４５ａの下端は、切り欠き部４５ｂにつながっている。その他の構造は、図６に示したマスク検出機構が設けられていないマスク受けと同様である。
【００３３】
移動部材５１の下端には、ロッド５２が連結されており、ロッド５２はガイド５３により上下に案内されている。移動部材５１は、圧縮コイルバネ５４により上方へ付勢されており、マスクがマスク受け部材４４のマスク支持部４４ａに搭載されていないとき、図８（ａ）に示す様に、移動部材５１の上端がマスク支持部４４ａから突き出ている。このとき、ロッド５２の下端は、台座ブロック４５の切り欠き部４５ｂへ突き出ていない。台座ブロック４５の側面にはブラケット５５が取り付けられており、ブラケット５５にはセンサー５６が取り付けられている。センサー５６は、設定した検出範囲内にある物体を検出する近接型センサーであって、その検出部が台座ブロック４５の切り欠き部４５ｂに挿入されている。
【００３４】
図８（ａ）に示す様に、マスクがマスク受け部材４４のマスク支持部４４ａに搭載されていないときは、移動部材５１が圧縮コイルバネ５４により上方へ付勢されて下方へ移動しないので、ロッド５２の下端がセンサー５６の検出範囲内に入らず、センサー５６がロッド５２を検出しない。図８（ｂ）に示す様に、マスク２がマスク受け部材４４のマスク支持部４４ａに搭載されると、マスク２の重みにより移動部材５１が圧縮コイルバネ５４の付勢力に逆らって下方へ移動し、ロッド５２の下端がセンサー５６の検出範囲内に入って、センサー５６がロッド５２を検出する。マスク検出機構は、センサー５６によるロッド５２の検出の有無から、マスク２の有無を検出する。移動部材５１と圧縮コイルバネ５４とセンサー５６とを用いた簡単な構成で、マスク受け４２に正常に搭載されたマスク２の存在が確実に検出される。
【００３５】
マスク検出機構は、マスク２の有無の検出結果を、図１の制御装置６０へ出力する。図１において、制御装置６０は、マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置３０を制御して、マスク２をマスクストッカー４０の複数のマスク受け４２に搭載し、またマスク２をマスクストッカー４０の複数のマスク受け４２から持ち上げてマスクホルダ２０へ搬送する。
【００３６】
本実施の形態のマスク検出機構は、マスク２の下面への接触の有無によりマスク２の有無を検出するので、従来の光学センサーの様なマスク２のパターンによる誤検出が発生しない。そして、マスク検出機構を、少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに設けるので、マスク２がマスクストッカー４０内のマスク受け４２に正常に搭載されていることが確認され、マスク２の搬入又は搬出時のマスク２の破損が予防される。
【００３７】
以上説明した実施の形態によれば、少なくとも１つのマスク受け４２のマスク支持部４４ａに、マスク２の下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設けることにより、マスク２のパターンによるマスク２の有無の誤検出を防止するとともに、マスク２がマスクストッカー４０内のマスク受け４２に正常に搭載されていることを確認して、マスク２の搬入又は搬出時のマスク２の破損を予防することができる。
【００３８】
さらに、マスク検出機構に、マスク２の下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材５１と、移動部材５１を上方へ付勢する圧縮コイルバネ５４と、移動部材５１の下方への移動を検出するセンサー５６とを設け、センサー５６により移動部材５１の下方への移動を検出して、マスク２の存在を検出することにより、移動部材５１と圧縮コイルバネ５４とセンサー５６とを用いた簡単な構成で、マスク受け４２に正常に搭載されたマスク２の存在を確実に検出することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
２０ マスクホルダ
３０ マスク搬送装置
３１ ハンドリングアーム
３２ マスク受け
４０ マスクストッカー
４０ａ マスク収納部
４０ｂ マスクケース搭載部
４１ プレート
４２ マスク受け
４３ マスクケース
４４ マスク受け部材
４４ａ マスク支持部
４４ｂ マスク落下防止部
４４ｃ テーパ部
４５ 台座ブロック
５１ 移動部材
５２ ロッド
５３ ガイド
５４ 圧縮コイルバネ
５５ ブラケット
５６ センサー
６０ 制御装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、該マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを備え、該複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持して、マスクを収納するマスクストッカーと、
少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に設けられ、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構と、
マスクを載せるハンドリングアームを有するマスク搬送装置と、
前記マスク検出機構の検出結果に基づき、前記マスク搬送装置を制御して、マスクを前記複数のマスク受けに搭載し、またマスクを前記複数のマスク受けから持ち上げて前記マスクホルダへ搬送する制御装置とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
前記マスク検出機構は、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、該移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、該移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを有することを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、
マスクを収納するマスクストッカーに、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを設け、
少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設け、
マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けに搭載して、複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持し、
マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けから持ち上げてマスクホルダへ搬送することを特徴とするプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【請求項４】
マスク検出機構に、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを設け、センサーにより移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在を検出することを特徴とする請求項３に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【請求項１】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、該マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを備え、該複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持して、マスクを収納するマスクストッカーと、
少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に設けられ、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構と、
マスクを載せるハンドリングアームを有するマスク搬送装置と、
前記マスク検出機構の検出結果に基づき、前記マスク搬送装置を制御して、マスクを前記複数のマスク受けに搭載し、またマスクを前記複数のマスク受けから持ち上げて前記マスクホルダへ搬送する制御装置とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
前記マスク検出機構は、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、該移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、該移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを有することを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、
マスクを収納するマスクストッカーに、マスクの下面の縁を支持するマスク支持部と、マスク支持部より盛り上がったマスク落下防止部とを有する複数のマスク受けを設け、
少なくとも１つのマスク受けのマスク支持部に、マスクの下面への接触の有無によりマスクの有無を検出するマスク検出機構を設け、
マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けに搭載して、複数のマスク受けによりマスクの下面の縁を複数箇所で支持し、
マスク検出機構の検出結果に基づき、マスク搬送装置により、マスクを複数のマスク受けから持ち上げてマスクホルダへ搬送することを特徴とするプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【請求項４】
マスク検出機構に、マスクの下面の縁に接触して下方へ移動する移動部材と、移動部材を上方へ付勢する付勢機構と、移動部材の下方への移動を検出するセンサーとを設け、センサーにより移動部材の下方への移動を検出して、マスクの存在を検出することを特徴とする請求項３に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２２０６１７（Ｐ２０１２−２２０６１７Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８４４３２（Ｐ２０１１−８４４３２）
【出願日】平成２３年４月６日（２０１１．４．６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月６日（２０１１．４．６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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