【課題】基板ステージ上の基板の交換を迅速に行う。
【解決手段】 基板ステージ２０ａは、基板ホルダ３０ａから加圧気体を噴出して基板Ｐ_１を浮上させ、基板ホルダ３０ａに内蔵された基板搬出装置７０ａを用いて、基板ホルダ３０ａの上面（基板載置面）をガイド面として基板Ｐ_１を水平面に沿って移動させることにより基板ホルダ３０ａから搬出する。このため、基板Ｐ_１に対する露光処理が終了した後、基板交換のために基板ステージ２０ａを基板交換位置に位置させる前に基板Ｐ_１の搬出動作を開始することができる。次に露光予定の別の基板Ｐ_２は、基板Ｐ_１の搬出動作が行われる際、基板ホルダ３０ａの上方に待機しており、基板Ｐ_１の搬出動作完了後に基板ステージ２０ａが有する数の基板リフト装置４６ａに受け渡される。 （もっと読む）

【課題】基板ステージ上の基板の搬出を迅速に行う。
【解決手段】 基板ホルダ３０ａには、基板Ｐの搬送に用いられる基板トレイ４０ａを収容するＸ溝３１ｘが形成されている。また、Ｘ溝３１ｘ内には、基板トレイ４０ａを押圧して基板トレイ４０ａと共に基板Ｐを移動させる基板搬出装置７０ａが設けられている。このため、基板Ｐに対する露光処理が終了した後、基板Ｐの交換のために基板ステージ２０ａを基板交換位置に位置させる前に基板Ｐの搬出動作を開始することができる。 （もっと読む）

【課題】マスクライブラリを備える両面露光装置において、ワークの露光処理に要する全体の時間を短くし、スループットの低下を防ぐこと。
【解決手段】ワーク搬入搬出部２０に搬送されてきたワークＷを、ワークステージ４に搬送し、ワークＷに、マスクライブラリ６から取り出した第１面（表面）露光用のマスクに形成されたパターンを露光する。そして、反転ステージ部３０でワークＷを反転させ（裏返し）ワーク保管部４０に保管する。このようにて１ロット分のすべてのワークの第１面（表面）を露光する。ついで、マスクを第２面（裏面）露光用のマスクに交換し、ワーク保管部４０から第１面露光済みのワークを取り出し、ワークの第２面（裏面）を露光する。裏面の露光が終わったワークＷは、第１のワーク搬送機構５０ｂにより、ワーク搬入搬出部２０に搬送される。 （もっと読む）

【課題】スキャン露光方式において、複数の露光パターンを１台の装置で効率良く露光するための手段を提供することであり、特に、異種の２つのカラーフィルタパターンを有するカラーフィルタ基板を、異なる２つの色工程にまたがって、１台のスキャン露光装置により停滞無く引き続いて処理するための露光装置及びそれを用いた異種パターンの露光方法を提供すること。
【解決手段】感光層が形成された処理基板に異種パターンを露光する露光装置であって、少なくとも第１の基板搬送手段と、第２の基板搬送手段と、基板受け取りステージと、アライメント手段と、露光部と、基板搬出部と、制御手段と、を具備しており、該露光部が複数の露光ユニットからなる。 （もっと読む）

【課題】露光パターン形成作業の生産性の低下を抑えた露光装置を提供する。
【解決手段】搬入された基板が載置される載置台と、原版を載置台の上方に保持し、原版を水平方向に移動させて原版を載置台上の基板に対して位置決めするとともに、原版を上下方向に移動させて原版を載置台上の基板に対し密着および離間させる原版移動部と、基板の位置と原版の位置を測定するセンサと、原版移動部を制御することにより、基板上に原版を密着させ、原版の基板に対する位置ずれが第１の閾値を超えていたときに原版を基板から一旦離間させ位置調整の上再度密着させる原版移動制御部と、基板に原版を一回目に密着させたときの基板の位置と原版を基板から一旦離間させて基板に原版を再度密着させたときの基板の位置との差分が第２の閾値を超えたときに警告を出力する警告部と、基板に原版を密着させた状態で基板に光を照射し基板を原版の透過光で露光する露光部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ方式を用いて複数のショットを行う露光において、スループットを向上させる。
【解決手段】ガラス基板１ａ，１ｂを固定する複数のチャック１０ａ，１０ｂと、チャック１０ａ，１０ｂに対してガラス基板１ａ，１ｂのロード／アンロードを行うロード／アンロード位置ａ，ｂと、ガラス基板１ａ，１ｂのＸＹ方向へのステップ移動及びガラス基板１ａ，１ｂの露光を行う露光位置と、各チャックを搭載して、ロード／アンロード位置ａ，ｂと露光位置との間を往復して移動し、露光位置でガラス基板１ａ，１ｂのＸＹ方向へのステップ移動を行う複数の独立したステージとを備える。各ステージは、ロード／アンロード位置ａ，ｂと露光位置との間の移動と、露光位置でのＸ方向へのステップ移動とを、共通のＸガイド１１に沿って行うＸステージ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】 上流側での露光処理に影響を与えることなく、感光材料の表裏を反転させるべく設けられたリバース機構を通過する感光材料の移動方向を方向変換させることができ、長尺な感光材料であっても全長に亘って適正に露光処理することのできる露光処理装置を提供する。
【解決手段】 一端を先頭にして搬送されてくる露光処理中の感光材料を受け取って他端を先頭にして感光材料を送り出すリバース機構と、リバース機構を通過した感光材料の移動方向を方向変換させる方向変換案内面を有するガイド手段とを備えた露光処理装置において、ガイド手段は、方向変換された感光材料の移動方向を少なくとも一回以上方向変換させるよう、感光材料を方向変換させる部位に方向変換案内面を更に有し、方向変換案内面は、それぞれの上流側の感光材料の移動軌跡を延長した仮想線に交差するように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】露光工程へ供給し、また露光後の平版刷版を次の工程へ向けて排出するための平版刷版の自動給排装置の構成を簡素化して小型化する。
【解決手段】装填台４４の斜めに配置された支持台６０上に、一方の平版刷版１１表面の記録面側上に他方の平版刷版１１の裏面側を直接接触させて積層することにより平版刷版１１が所定複数枚重ねられて束にされたものを載置し、この平版刷版１１の束における最上部の平版刷版１１を、搬出手段で押圧しつつ搬送方向へ力を作用させることにより引き出された平版刷版１１の先端を供給用搬送路に沿って張架された搬送ベルト１０２下側の部分に対して交差する方向に当てニップローラ１０４で搬送ベルト１０２に押し付けることにより供給用搬送路上を記録装置側へ向けて搬送する。また、ガイドプーリ１０６に張架された搬送ベルト１０２上側の部分に設定された排出用搬送路で平版刷版１１を現像処理装置側へ向けて搬送する。 （もっと読む）

【課題】 用紙載置部の上面と、読取部の下面とが対向するように構成された画像形成装置において、装置の小型化を実現しつつ、かつ良好に用紙搬送を行い得る構成を提供する。
【解決手段】 複合機１は、画像を形成する画像形成部５を備え、画像形成部５の上方には、用紙排出口から排出される用紙を載置可能な排紙トレイ４６が配置されている。さらに、その排紙トレイ４６の上方を覆うように読取部７０が設けられており、排紙トレイ４６の上面４７と、読取部７０の下面７１とが対向するように構成されている。そして、水平方向に対する用紙の排出方向のなす角度を排出角度θとした場合、用紙排出口２４は、排出される用紙３が読取部７０の下面７１に接触するようにこの排出角度θが設定されている。 （もっと読む）